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내부에 진공압을 제공하는 진공챔버;상기 진공챔버에 내장되어 빔을 하부로 조사하는 빔조사기;상기 빔조사기의 하부에 설치된 상태로 표면에 가공물이 고정되며, 틀체형태로 형성되어 상기 빔조사기의 빔을 관통시키는 픽스쳐;상기 픽스쳐의 하부에 설치되어 상기 진공챔버에 고정되고, 상기 픽스쳐를 다방향으로 이송시키면서 상기 가공물을 설정된 패턴으로 가공시키는 다방향이송기; 및상기 빔조사기의 빔이 도달하는 상기 진공챔버의 바닥면을 냉매의 순환을 통해 냉각시켜서 상기 진공챔버 내부의 과열을 방지하는 바닥쿨러를 포함하고,상기 다방향이송기는,상기 픽스쳐의 하부 외곽을 따라 복수를 이루면서 상기 진공챔버에 설치되어 상기 픽스쳐의 하부를 이동가능하게 지지하고, 상기 픽스쳐를 X축방향, Y축방향으로 이동시키면서 상기 픽스쳐를 수직승강시키는 3축 스테이지;를 포함하여 구성되며,상기 3축 스테이지는,상기 픽스쳐가 고정되는 고정블록과, 상기 고정블록을 수직이동시키는 수직이동가이드와, 상기 수직이동가이드를 X축방향으로 수평이동시키는 X축이동가이드와, 상기 X축이동가이드를 Y축방향으로 수평이동시키는 Y축이동가이드를 포함하여 구성되며, 상기 고정블록, 상기 수직이동가이드, 상기 X축이동가이드 및 상기 Y축이동가이드가 한 조를 이루면서 4개 조가 구비되어 상기 픽스쳐의 외곽 모서리부에 각각 설치되고,상기 다방향이송기 및 상기 픽스쳐는,상기 진공챔버의 외부에서 고정판의 상면에 조립된 후, 상기 고정판이 상기 진공챔버의 바닥면에 고정됨에 따라 상기 진공챔버의 내부에 일괄적으로 설치되는 것을 특징으로 하는 가공물의 다방향 제어구조 및 방열구조를 갖는 비접촉 가공장치
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