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내부에 진공압을 제공하는 진공챔버;상기 진공챔버에 내장되어 빔을 하부로 조사하는 빔조사기;상기 빔조사기의 하부에 설치된 상태로 표면에 가공물이 고정되는 픽스쳐;상기 픽스쳐의 하부에서 상기 픽스쳐를 지지하면서 Y축방향으로 이동가능하게 설치되어 상기 픽스쳐와 함께 Y축방향으로 이동하는 Y축스테이지;상기 Y축스테이지의 하부에 배치된 상태로 상기 Y축스테이지가 Y축방향으로 이동가능하게 결합되고, 상기 진공챔버에 X축방향으로 이동가능하게 결합되어 상기 Y축스테이지와 함께 X축방향으로 이동하는 X축스테이지;상기 Y축스테이지와 상기 X축스테이지에 제각기 이동력을 제공하는 이송유닛; 및상기 빔조사기의 빔을 상기 X축스테이지나 상기 Y축스테이지에 직접 조사됨이 없이 상기 진공챔버의 바닥면으로 안내하면서 상기 바닥면을 냉각시켜서 상기 진공챔버 내부의 과열을 방지하는 과열방지부를 포함하며,상기 과열방지부는,상기 Y축스테이지에 구멍형태로 관통형성되어 상기 Y축스테이지가 상기 픽스쳐와 함께 Y축방향 또는 X축방향으로 이동함에 따라 상기 빔조사기의 빔을 상기 X축스테이지로 투과시키는 Y축관통홀;상기 X축스테이지의 X축 방향을 따라 틈새형태로 관통형성되어 상기 X축스테이지가 X축방향으로 이동함에 따라 상기 Y축관통홀을 관통한 상기 빔을 상기 진공챔버의 바닥면으로 투과시키는 X축슬릿; 및상기 빔이 도달하는 상기 진공챔버의 바닥면을 냉각시키는 바닥쿨러를 포함하는 것을 특징으로 하는 방열구조를 갖는 빔을 이용한 비접촉 가공장치
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청구항 1에 있어서,상기 X축슬릿은,상기 X축스테이지의 이동거리에 대응하는 길이로 형성되고,상기 Y축관통홀은,상기 X축슬릿의 길이에 대응하는 길이를 가지면서 상기 Y축스테이지의 이동거리에 대응하는 폭으로 형성되는 것을 특징으로 하는 방열구조를 갖는 빔을 이용한 비접촉 가공장치
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청구항 1에 있어서,상기 바닥쿨러는,상기 바닥면에 설치되면서 상기 빔이 도달하는 부위의 외측면에 설치되고, 냉매를 관류시키면서 상기 바닥면을 냉매와 열교환시키는 쿨링챔버; 및상기 쿨링챔버에 냉매를 순환시키면서 상기 쿨링챔버에서 열교환된 냉매를 저온상태로 재공급하는 냉매순환펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 방열구조를 갖는 빔을 이용한 비접촉 가공장치
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청구항 1에 있어서,상기 과열방지부는,상기 Y축스테이지와 상기 픽스쳐의 사이에 개재되어 상기 Y축스테이지와 상기 픽스쳐 사이의 열전달을 차단하는 열차단패드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방열구조를 갖는 빔을 이용한 비접촉 가공장치
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청구항 1에 있어서,상기 이송유닛은,상기 Y축스테이지 및 상기 X축스테이지의 이동방향을 따라 각각 고정되어 상기 Y축스테이지 및 상기 X축스테이지와 함께 이동하는 LM가이드; 및상기 X축스테이지 및 상기 진공챔버에 각각 고정된 상태로 상기 각각의 LM가이드에 제각기 결합되어 상기 LM가이드를 이동시키면서 상기 Y축스테이지 및 상기 X축스테이지를 각각 이동시키는 LM모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 방열구조를 갖는 빔을 이용한 비접촉 가공장치
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청구항 1에 있어서,상기 이송유닛은,상기 X축스테이지 및 상기 진공챔버에 각각 고정된 상태로 상기 Y축스테이지 및 상기 X축스테이지의 이동방향을 따라 각각 회전가능하게 설치되어 상기 Y축스테이지 및 상기 X축스테이지의 이동경로를 제공하는 볼스크류;상기 각각의 볼스크류에 나사결합된 상태로 상기 Y축스테이지 및 상기 X축스테이지에 각각 고정되어 상기 볼스크류의 회전에 의해 상기 Y축스테이지 및 상기 X축스테이지와 함께 이동하는 볼너트; 및상기 각각의 볼스크류에 회전력을 제공하는 서보모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 방열구조를 갖는 빔을 이용한 비접촉 가공장치
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