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나노구조 팁의 전자빔의 밀도를 향상시키는 전자방출원을 구비한 초소형전자칼럼(MICRO-ELECTRON COLUMN HAVING AN ELECTRON EMITTER IMPROVING THE DENSITY OF AN ELECTRON BEAM EMITTED FROM A NANO STRUCTURE TIP)

  • 기술번호 : KST2016015925
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나노에서 수십 나노 크기의 튜브, 기둥 또는 덩어리 형태의 구조를 가진 나노구조팁을 구비한 초소형전자칼럼에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 전압을 인가하면 끝 부분에 높은 전기장이 형성되어 전자를 용이하게 방출할 수 있는 나노구조팁을 구비하고 있으며, 다른 전자렌즈 부품, 즉 전자렌즈 어퍼처 홀과 정렬이 용이하며 사용이 편리한 초소형전자칼럼에 관한 것이다.본 발명의 초소형전자칼럼은 나노구조팁의 크기가 소스렌즈의 구경보다 큰 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01J 37/063 (2006.01.01) H01J 37/12 (2006.01.01) H01J 37/28 (2006.01.01)
CPC H01J 37/063(2013.01) H01J 37/063(2013.01) H01J 37/063(2013.01) H01J 37/063(2013.01) H01J 37/063(2013.01)
출원번호/일자 1020150024732 (2015.02.20)
출원인 선문대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0102588 (2016.08.31) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020170042862;
심사청구여부/일자 Y (2015.02.20)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 선문대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김 호 섭 대한민국 인천 서구
2 오태식 대한민국 충청남도 천안시 동남구
3 김대욱 대한민국 경기도 성남시 분당구
4 안승준 대한민국 대전광역시 서구
5 김형우 대한민국 서울특별시 광진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-0171006-50
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.02.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.05.20 수리 (Accepted) 9-1-2016-0023210-74
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.06.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0414182-36
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.08.05 수리 (Accepted) 1-1-2016-0761884-72
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.08.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0761885-17
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.12.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0933620-17
8 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.01.31 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0101886-06
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0101885-50
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.03.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0160871-85
11 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2017.04.03 수리 (Accepted) 1-1-2017-0322757-97
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.26 수리 (Accepted) 4-1-2019-5169188-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전자방출원, 소스렌즈, 디플렉터, 및 포커스렌즈를 포함하는 초소형전자칼럼에 있어서,상기 전자방출원은 다수 개의 나노구조팁으로 구성되어 전자들을 방출하며, 그리고 상기 전자방출원에서 방출된 전자들이 상기 소스렌즈의 첫번째 렌즈전극층의 구경내로 잘 인입되도록, 인입전극이 상기 전자방출원과 상기 소스렌즈 사이에 추가로 배치되는 것,을 특징으로 하는 초소형전자칼럼
2 2
제1항에 있어서, 상기 전자방출원을 기준으로 상기 소스렌즈의 첫번째 전자렌즈전극의 구경이 두번째 전자렌즈전극의 구경보다 작은 것,을 특징으로 하는 초소형전자칼럼
3 3
제2항에 있어서, 상기 인입전극이 두 개 이상의 전극편으로 구성되는 것을 특징으로 하는 초소형전자칼럼
4 4
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항의 초소형전자칼럼을 단위 초소형전자칼럼으로 하는 멀티형 초소형전자칼럼
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1 KR101818080 KR 대한민국 FAMILY
2 US09673016 US 미국 FAMILY
3 US20160247658 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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1 US2016247658 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US9673016 US 미국 DOCDBFAMILY
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