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베이스 기재; 및상기 베이스 기재의 상부에 형성되는 무기막으로 이루어진 배리어층;을 포함하되,상기 배리어층에는 상기 무기막과 다른 무기 물질로 이루어진 2 내지 10nm의 크기를 갖는 결정성 나노 입자가 5 내지 20%의 비율로 존재하는 것을 특징으로 하는 투명 가스 배리어성 필름
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제 1 항에 있어서,상기 다른 무기 물질은 산화아연(ZnO)인 것을 특징으로 하는 투명 가스 배리어성 필름
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 배리어층 및 결정성 나노 입자는 상기 베이스 기재 상에 화학기상증착법(Chemical Vapor Deposition : CVD)을 이용해 형성되는 것을 특징으로 하는 투명 가스 배리어성 필름
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제 3 항에 있어서,상기 배리어층은 SiOx, SiNx, SiOxNy, AlxOy, AlxNy, NiOx, CoOx, MgO 중 어느 하나 이상의 무기막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 투명 가스 배리어성 필름
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투명 가스 배리어성 필름의 제조 방법에 있어서,베이스 기재를 준비하는 단계; 및상기 베이스 기재의 상부에 무기막으로 이루어진 배리어층을 형성하는 단계;를 포함하되,상기 배리어층에는 상기 무기막과 다른 무기 물질로 이루어진 2 내지 10nm의 크기를 갖는 결정성 나노 입자가 5 내지 20%의 비율로 존재하는 것을 특징으로 하는 투명 가스 배리어성 필름의 제조 방법
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제 5 항에 있어서,상기 다른 무기 물질은 산화아연(ZnO)인 것을 특징으로 하는 투명 가스 배리어성 필름의 제조 방법
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제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 배리어층 및 결정성 나노 입자는 상기 베이스 기재 상에 화학기상증착법(Chemical Vapor Deposition : CVD)을 이용해 형성되는 것을 특징으로 하는 투명 가스 배리어성 필름의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 배리어층은 SiOx, SiNx, SiOxNy, AlxOy, AlxNy, NiOx, CoOx, MgO 중 어느 하나 이상의 무기막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 투명 가스 배리어성 필름의 제조 방법
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제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 따른 투명 가스 배리어성 필름을 포함하는 플렉서블 디스플레이 장치
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