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베이스 기재;상기 베이스 기재의 상부에 위치하는 다수 개의 배리어층;을 포함하되,상기 베이스 기재와 인접한 배리어층이 가장 높은 밀도로 형성되고, 상기 베이스 기재와 멀리 떨어질수록 낮은 밀도로 형성되는 것을 특징으로 하는 투명 가스 배리어성 필름
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제 1 항에 있어서,상기 배리어층은 SiOx, SiNx, SiOxNy, AlxOy, AlxNy, NiOx, CoOx, MgO 중 어느 하나의 무기 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 투명 가스 배리어성 필름
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 배리어층은 상기 베이스 기재 상에 화학기상증착법(Chemical Vapor Deposition : CVD)을 이용해 다층으로 형성하는 것을 특징으로 하는 투명 가스 배리어성 필름
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제 3 항에 있어서,상기 배리어층은 지연 시간(delay time)을 두고 증착하는 것을 특징으로 하는 투명 가스 배리어성 필름
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다수 개의 배리어층을 포함하는 투명 가스 배리어성 필름의 제조 방법에 있어서,베이스 기재의 상부에 가장 높은 밀도의 제 1 배리어층을 형성하는 단계;상기 제 1 배리어층의 상부에 상기 제 1 배리어층보다 낮은 밀도의 제 2 배리어층 및 제 3 배리어층을 순차적으로 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 가스 배리어성 필름의 제조 방법
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제 5 항에 있어서,상기 배리어층은 상기 베이스 기재 상에 화학기상증착법(Chemical Vapor Deposition : CVD)을 이용해 다층으로 형성하는 것을 특징으로 하는 투명 가스 배리어성 필름의 제조 방법
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제 6 항에 있어서,상기 배리어층은 지연 시간(delay time)을 두고 증착하는 것을 특징으로 하는 투명 가스 배리어성 필름의 제조 방법
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