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층상 구조 물질(layered structure material)이 박리된 피스(piece)를 갖는 소재가 부착되는 캐리어(carrier);상기 캐리어를 고정시키는 캐리어 지지부; 및 상기 소재와 마주보도록 기판이 배치되고, 상기 캐리어 지지부에 의해 상기 소재가 부착된 상기 캐리어가 고정된 상태에서 상기 기판이 상기 캐리어 지지부를 향하여 이동되는 방법으로 상기 피스가 상기 기판 상으로 전사될 수 있도록 구성된(configured to) 기판 지지부를 포함하는 층상 구조 물질의 전사 장치
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제1 항에 있어서, 상기 소재는, 상기 캐리어와 부착된 제2 면, 및 상기 피스가 부착된 제2 면을 가지고, 상기 기판 지지부는 상기 캐리어 아래에 배치되어, 상기 기판의 상부면이 상기 소재의 상기 제2 면과 마주보는 것을 포함하는 층상 구조 물질의 전사 장치
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제1 항에 있어서, 상기 기판 지지부는, 지면(ground)에 평행한 제1 방향, 지면에 평행하고 상기 제1 방향과 교차되는 제2 방향, 및 상기 제1 및 제2 방향들에 수직한 제3 방향으로 상기 기판을 이동시키도록 구성되고, 상기 기판의 상부면에 대한 법선을 회전축으로 상기 기판을 회전시키도록 구성되는 것을 포함하는 층상 구조 물질의 전사 장치
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제1 항에 있어서, 상기 캐리어는, 상기 소재가 부착되고 투명한 소재 부착부; 및상기 소재 부착부와 결합되고, 상기 캐리어 지지부에 의해 고정되는 평판부를 포함하는 층상 구조 물질의 전사 장치
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제4 항에 있어서, 상기 소재 부착부 상에 배치된 현미경을 더 포함하는 층상 구조 물질의 전사 장치
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층상 구조 물질(layered structure material)을 준비하는 단계;상기 층상 구조 물질에 제1 소재를 접착시켜, 상기 층상 구조 물질이 기계적으로 박리된 피스(piece)를 상기 제1 소재로 전사하는 단계;상기 제1 소재보다 낮은 접착력을 갖는 제2 소재를 상기 제1 소재에 접착시켜, 상기 피스를 상기 제2 소재로 전사하는 단계; 및상기 제2 소재에 전사된 상기 피스의 위치가 고정된 상태에서, 기판이 상기 제2 소재를 향하여 이동되는 방법으로, 상기 피스가 상기 기판 상에 전사하는 단계를 포함하는 층상 구조 물질의 전사 방법
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제6 항에 있어서, 상기 제2 소재에 전사된 상기 피스를 상기 기판 상에 전사하는 단계는, 상기 피스가 전사된 상기 제2 소재를 고정시키는 단계; 및 상기 기판을 움직여, 상기 기판과 상기 제2 소재를 접착시키는 단계를 포함하는 층상 구조 물질의 전사 방법
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제6 항에 있어서,상기 제2 소재는 투명한 것을 포함하는 층상 구조 물질의 전사 방법
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제6 항에 있어서, 상기 제1 소재는 스카치 테이프를 포함하고, 상기 제2 소재는 PDMS(polydimethylsiloxane)를 포함하는 층상 구조 물질의 전사 방법
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제6 항에 있어서, 상기 층상 구조 물질이 박리되어, 상기 제1 소재로 복수의 상기 피스가 전사되는 경우, 상기 복수의 피스 중에서, 일부가 상기 제2 소재로 전사되고, 나머지 일부는, 상기 제1 소재에 잔존되는 것을 포함하는 층상 구조 물질의 전사 방법
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