맞춤기술찾기

이전대상기술

마이크로 공압 밸브 소자 및 그 제조방법(Micro Valve device and the fabricating method thereof)

  • 기술번호 : KST2016016051
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 밸브 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 마이크로 밸브 소자는 유체 채널 및 유체 챔버가 형성된 유체 채널층과, 상기 유체 채널층 위에 적층된 밸브 다이어프램, 및 상기 밸브 다이어프램 위에 적층되며 공압 채널과 밸브 챔버가 형성된 밸브 챔버층을 포함하여 형성되고, 특히 상기 유체 채널 및 상기 유체 챔버는 바닥면이 반원형상(semicircular)으로 형성된다. 따라서 외부에서 압축공기가 유입되면 상기 밸브 챔버의 팽창에 따라 상기 밸브 다이어프램의 한쪽 면이 상기 유체 채널의 바닥면과 접촉하기 때문에, 유체 채널에 흐르는 유체를 외부로 누설시키지 않으면서 완전하게 차단할 수 있는 이점이 있다.
Int. CL B01L 3/00 (2006.01) G01N 35/00 (2006.01)
CPC B01L 3/502738(2013.01) B01L 3/502738(2013.01) B01L 3/502738(2013.01) B01L 3/502738(2013.01)
출원번호/일자 1020150025735 (2015.02.24)
출원인 인제대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0103347 (2016.09.01) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.02.24)
심사청구항수 7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 인제대학교 산학협력단 대한민국 경남 김해시 인제로 *

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 정옥찬 대한민국 부산광역시 북구
2 오창규 대한민국 경상남도 창원시 마산회원구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김종선 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로*길 **, 광성빌딩 **층 (역삼동)(케이엘피특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주식회사 마이크로디바이스랩 경상남도 김해시 인제로 ***
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.02.24 수리 (Accepted) 1-1-2015-0181453-24
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.09.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.11.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0069056-60
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.05.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0335835-66
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2016-0667372-24
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2016-0768357-30
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.08.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0768378-99
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0919987-28
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.01.18 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0064109-46
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2017-0064067-16
11 등록결정서
Decision to Grant Registration
2017.02.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0098776-56
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.06.26 수리 (Accepted) 4-1-2017-5100061-64
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2017-5214791-60
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5082225-25
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149036-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
실리콘 웨이퍼 상부면에 유체 채널 및 챔버 형상을 가지는 SU-8 구조물을 위치시킨 후, 폴리디메틸 실록산(PDMS)을 소정 두께로 부어 경화시켜 PDMS 구조물을 형성하는 단계; 상기 실리콘 웨이퍼와 상기 SU-8 구조물을 제거한 후, 상기 PDMS 구조물의 하부면에 글래스 기판(glass substrate)을 접합시켜 상기 SU-8 구조물이 제거된 홈을 형성하는 단계; 상기 PDMS 구조물의 상부면에 액상의 PDMS을 도포한 후 열 경화 과정을 수행함으로써, 상기 액상의 PDMS을 열경화시킴과 동시에 상기 홈 내부의 공기를 열팽창시키는 단계; 및상기 PDMS 구조물과 상기 글래스 기판을 제거하여 반원통 형상의 유체 채널과 반구형 형상의 챔버를 형성한 후, 상기 유체 채널과 상기 챔버가 밀폐되도록 상기 열경화된 PDMS 위에 밸브 다이어프램과 밸브 챔버층을 순차 결합하는 단계를 포함하는 마이크로 공압 밸브 소자의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 챔버와 상기 유체 채널의 높이는 각각 125㎛ 및 40㎛로 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 공압 밸브 소자의 제조방법
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 열 경화과정은 100℃에서 30분간 진행되는 것을 특징으로 하는 마이크로 공압 밸브 소자의 제조방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 밸브 다이어프램 및 상기 마이크로 공압 밸브 소자는 PDMS으로 제조되는 것을 특징으로 하는 마이크로 공압 밸브 소자의 제조방법
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 챔버의 직경보다 외부 압축 공기 유입에 따라 상기 밸브 다이어프램의 변형을 유도하는 상기 밸브 챔버의 직경이 더 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 공압 밸브 소자의 제조방법
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 챔버 및 상기 밸브 챔버의 직경은 각각 650㎛, 900㎛이고, 상기 유체 채널과 공압 채널의 폭은 250㎛으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 공압 밸브 소자의 제조방법
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 유체 채널과 상기 공압 채널은 서로 수직되게 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 공압 밸브 소자의 제조방법
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 인제대학교 일반연구자지원 압타머 대량 생산을 위한 미세 유체 플랫폼 개발