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재가 남지 않는 환형 유기 폴리올 및 이를 이용한 반응형 기공형성제, 이를 이용하여 제조된 초저유전박막(ASH-FREE CYCLIC ORGANIC POLYOL, REACTIVE POROGENS USING THE ASH-FREE CYCLIC ORGANIC POLYOL, AND NANOPOROUS ULTRA LOW DIELECTRIC FILM BY USING THE SAME)

  • 기술번호 : KST2016016199
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 환형의 유기 폴리올을 이용한 반응형 기공형성제와 이를 이용하여 제조된 초저유전박막에 관한 것으로서, 더욱 자세하게는 500℃ 이내의 온도에서 완전히 열분해되는 특성을 갖는 환형의 유기 폴리올 화합물로, 상기 환형의 유기 화합물의 말단 하이드록시기를 알킬알콕시실란의 반응성기로 치환하여 반응형 기공형성제로 사용하면 열처리 시 탄소 잔여물을 남기지 않으면서도 유기실리케이트의 졸-겔 반응에 참여하여 상분리를 억제함으로써 균일한 크기의 기공 형성이 가능하므로 기공률 대비 기계적 물성이 우수한 초저유전박막을 형성하게 되는 신규의 환형 유기 폴리올 및 상기 재가남지 않는 환형 유기 폴리올을 이용한 반응형 기공형성제 및 이를 이용하여 제조된 초저유전박막에 관한 것이다.
Int. CL C07F 7/08 (2006.01) C09D 7/12 (2006.01) B05D 3/02 (2006.01) H01L 21/205 (2006.01) C09D 183/04 (2006.01)
CPC C07F 7/1892(2013.01) C07F 7/1892(2013.01) C07F 7/1892(2013.01) C07F 7/1892(2013.01) C07F 7/1892(2013.01) C07F 7/1892(2013.01)
출원번호/일자 1020160023501 (2016.02.26)
출원인 서강대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0105345 (2016.09.06) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020150028611   |   2015.02.27
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.02.26)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이희우 대한민국 서울특별시 마포구
2 조성민 대한민국 인천광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인엠에이피에스 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 (역삼동, 한동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.02.26 수리 (Accepted) 1-1-2016-0192661-17
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.11 수리 (Accepted) 4-1-2017-5005781-67
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.03.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.03.21 수리 (Accepted) 9-1-2017-0009099-07
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.03.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0220537-36
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-0504813-70
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.05.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0504842-94
8 등록결정서
Decision to grant		 2017.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0684077-95
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5014626-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
중심 탄소 단일 고리를 포함하는 환형 유기 폴리올 화합물로서,상기 중심 탄소 단일 고리의 탄소수는 3 내지 10 이고,상기 중심 탄소 단일 고리는 1개 이상의 하이드록시기를 가지며,상기 중심 탄소 단일 고리의 상기 1개 이상의 하이드록시기의 수소 원자가 알콕시실릴알킬렌기에 의하여 치환된 것이며,상기 알콕시실릴알킬렌기는 1개 내지 3개의 알콕시를 가지고, 상기 알콕시의 탄소수는 1 내지 6이고,상기 알콕시실릴알킬렌기에서 상기 알킬렌의 탄소수는 1 내지 5인,환형 유기 폴리올 화합물
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 따른 환형 유기 폴리올 화합물을 포함하는, 반응형 기공형성제로서,상기 환형 유기 폴리올 화합물은 500℃ 이내의 온도 조건에서 완전 열분해되어 탄소 잔여물을 남기지 않는 것인,반응형 기공형성제
4 4
삭제
5 5
매트릭스-함유 용액과 반응형 기공형성제 (reactive porogen)-함유 용액을 혼합한 혼합 조성물에 있어서,상기 매트릭스로서 유기실리케이트 전구체 10 ~ 90 부피%, 및상기 기공형성용 템플레이트로서 제 3 항에 따른 기공형성제 10 ~ 90 부피%를 포함하는, 박막 형성용 조성물
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 매트릭스는 알킬트리알콕시실란(alkyltrialkoxysilane)과 비스(트리알콕시실릴)알칸 [bis(trialkoxysilyl)alkane]의 단일중합체 또는 공중합체를 포함하는 것인, 박막 형성용 조성물
7 7
제 5 항 또는 제 6 항에 따른 조성물을 기재에 코팅 후 열처리하는 공정에 의하여 형성된, 초저유전 박막
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 초저유전 박막은 상기 환형 유기 폴리올 화합물과 상기 유기실리케이트와의 졸-젤 반응에 의해 형성된 나노기공을 포함하고, 재를 포함하지 않는 것인, 초저유전 박막
9 9
제 5 항 또는 제 6 항에 따른 조성물을 기재에 코팅 후 열처리하는 공정에 의하여 박막을 형성하는 것을 포함하는, 초저유전 박막의 제조 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US10047109 US 미국 FAMILY
2 US20160251381 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US10047109 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US2016251381 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 서강대학교 산학협력단 원천기술개발사업 글로벌프론티어연구개발사업 다차원 나노구조 연료전지용 막-전극 접합체 기술 개발
2 미래창조과학부 서강대학교 산학협력단 기후변화대응기술개발사업 양성자, 전자, 활성수소 수송체 개발
3 산업통상자원부 서강대학교 산학협력단 에너지인력양성사업-연구개발고급인력지원-고급트랙 [RCMS]고효율 에너지 나노소재공정 고급트랙