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하부 캐리어 운반층;상기 하부 캐리어 운반층 상에 위치되고, 실리콘 나노 결정을 포함하는 실리콘 탄화막(SiC)을 포함하는 광전변환층;상기 광전변환층 상의 상부 캐리어 운반층; 및상기 상부 캐리어 운반층 상의 투명 전도성 전극을 포함하는 광 감지기
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제1항에 있어서,상기 광전변환층은 1nm 이상 10μm 이하의 두께를 갖고, 상기 실리콘 나노 결정은 1nm 이상 20nm 이하의 크기를 갖는광 감지기
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제1항에 있어서,상기 실리콘 나노 결정의 크기에 따라 상기 광 감지기 내로 유입되는 광의 파장이 결정되는 광 감지기
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실리콘 나노 결정을 포함하는 실리콘 탄화막을 포함하는 광 감지기;상기 광 감지기 상에 형성되고, 바이오 물질과 반응하는 반응막; 및상기 반응막을 투과하여 상기 광 감지기의 내부로 유입되는 광을 발생하는 광원을 포함하는 광 바이오 센서
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제4항에 있어서,상기 반응막과 상기 광 감지기 사이에 개재된 투명 반응막을 더 포함하는 광 바이오 센서
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제5항에 있어서,상기 투명 반응막은 쿼츠 또는 유리를 포함하는광 바이오 센서
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제4항에 있어서,상기 광원의 하부에 위치되고, 상기 광원으로부터 발생된 광이 상기 광 감지기에 균일하게 유입되도록 상기 광을 분산시키는 광 분산기를 더 포함하는 광 바이오 센서
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제4항에 있어서,상기 광 감지기는, 하부 캐리어 운반층;상기 하부 캐리어 운반층 상에 위치되고, 상기 실리콘 나노 결정을 포함하는 상기 실리콘 탄화막(SiC)을 포함하는 광전변환층;상기 광전변환층 상의 상부 캐리어 운반층; 및상기 상부 캐리어 운반층 상의 투명 전도성 전극을 포함하는광 바이오 센서
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제4항에 있어서,상기 바이오 물질의 반응에 따라 상기 광 감지기로 유입되는 광량이 변화되어, 상기 광 감지기의 전기적 신호가 변화되는광 바이오 센서
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제4항에 있어서,상기 실리콘 나노 결정의 크기에 따라 상기 광 감지기 내로 유입되는 광의 파장이 결정되는광 바이오 센서
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제4항에 있어서,상기 반응막은 상기 바이오 물질과 결합이 가능한 유기물 또는 무기물을 포함하는광 바이오 센서
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제4항에 있어서,상기 반응막은 상기 바이오 물질과 반응하는 프루브가 고정된광 바이오 센서
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제4항에 있어서,상기 바이오 물질은 DNA, 단백질 또는 효소를 포함하는광 바이오 센서
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