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빛을 원편광시켜 인디케이터로 입사하고, 상기 인디케이터를 투과하여 반사된 빛을 분석하여 열 분포를 영상화하는 현미경부; 및조사 대상 상부에 위치하고, 열에 의한 열응력이 발생하는 인디케이터를 포함하고, 상기 입사된 빛은,상기 인디케이터를 투과할 때, 상기 조사 대상에서 발생하는 열에 의한 상기 인디케이터의 열응력에 의해 변화되고,상기 현미경부는 상기 반사된 빛을 상기 인디케이터의 축에 대해 제1 각도 및 제2 각도로 분광하는 분광기 및 상기 제1 각도에서 측정된 밝기변화와 상기 제2 각도에서 측정된 밝기변화로부터 2차원 응력 분석을 통해 상기 조사대상의 열분포를 영상화하는 CCD를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 현미경
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제 1 항에 있어서,상기 입사된 빛은,상기 인디케이터의 열응력에 따른 광탄성 효과에 의해 복굴절이 발생하는 것을 특징으로 하는 광학 현미경
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제 1 항에 있어서,상기 인디케이터는,상기 조사 대상과 접촉 또는 비접촉하는 것을 특징으로 하는 광학 현미경
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제 1 항에 있어서,상기 인디케이터 하부에 빛을 반사하는 반사층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 현미경
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제 4 항에 있어서,상기 반사층은 금속 박막 또는 유전 거울인 것을 특징으로 하는 광학 현미경
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제 1 항에 있어서,상기 현미경부는,빛을 방출하는 광원;상기 광원에서 방출된 빛을 선편광시키는 선편광부; 및상기 선편광된 빛을 원편광시키는 원편광부;를 포함하는 광학 현미경
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제 1 항에 있어서,상기 분광기는,상기 인디케이터의 축에 대해 45도와 90도 분광하고,상기 CCD는,상기 45도에서 측정된 밝기변화와 상기 90도에서 측정된 밝기변화로부터 2차원 응력 분석을 통해 상기 조사 대상의 열 분포를 영상화하는 것을 특징으로 하는 광학 현미경
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제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항의 광학 현미경을 이용하여 열 분포를 영상화하는 열 분포 영상장치
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빛을 원편광시켜 인디케이터로 입사하는 단계; 및상기 인디케이터를 투과하여 반사된 빛을 분석하여 열 분포를 영상화하는 단계를 포함하고, 상기 입사된 빛은,조사 대상 상부에 위치하고, 열에 의한 열응력이 발생하는 상기 인디케이터를 투과할 때, 상기 조사 대상에서 발생하는 열에 의한 상기 인디케이터의 열응력에 의해 변화되며, 상기 반사된 빛을 상기 인디케이터의 축에 대해 제1 각도 및 제2 각도로 분광하는 단계;및 상기 제1 각도에서 측정된 밝기변화와 상기 제2 각도에서 측정된 밝기변화로부터 2차원 응력 분석을 통해 상기 조사대상의 열 분포를 영상화하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 열 분포 영상화 방법
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제 9 항에 있어서,상기 빛을 원편광시켜 인디케이터로 입사하는 단계는,광원에서 방출된 빛을 선편광시키는 단계; 및상기 선편광된 빛을 원편광시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 열 분포 영상화 방법
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제 9 항에 있어서,상기 반사된 빛을 분석하여 열 분포를 영상화하는 단계는,상기 반사된 빛을 상기 인디케이터의 축에 대해 45도와 90도 분광하는 단계; 및상기 45도에서 측정된 밝기변화와 상기 90도에서 측정된 밝기변화로부터 2차원 응력 분석을 통해 상기 조사 대상의 열 분포를 영상화하는 단계를 포함하는 열 분포 영상화 방법
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