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서로 다른 데이터 수를 기준으로 측정 데이터를 1회 이상 스무딩하는 단계;상기 스무딩 전의 측정 데이터와 상기 스무딩된 측정 데이터의 편차를 얻는 단계; 및상기 편차에 기초하여 최적 기준 데이터 수를 결정하는 단계;를 포함하는, 최적 기준 데이터 수 결정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 서로 다른 데이터 수를 기준으로 측정 데이터를 스무딩하는 단계는,제1 데이터 수를 기준으로 상기 측정 데이터를 스무딩하는 단계; 및상기 제1 데이터 수보다 작은 데이터 수들을 기준으로 상기 측정 데이터를 스무딩하는 단계;를 포함하되,상기 제1 데이터 수는, 측정 데이터 프로파일의 폭에 대응하는 데이터 개수 또는 측정 데이터 프로파일의 폭에 대응하는 데이터 개수의 절반 이하의 값이거나, 또는 측정 데이터 프로파일에서 동일한 값을 갖는 측정 데이터 수의 최대값인, 최적 기준 데이터 수 결정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 스무딩 전의 측정 데이터와 상기 스무딩된 측정 데이터의 편차를 얻는 단계는,상기 스무딩 전의 측정 데이터와 특정 데이터 수를 기준으로 스무딩된 측정 데이터의 편차들의 크기를 이용하여 계산되는 편차지표를 얻는 단계를 포함하는, 최적 기준 데이터 수 결정 방법
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제 3 항에 있어서,상기 편차에 기초하여 최적 기준 데이터 수를 결정하는 단계는,기준 데이터 수에 따른 상기 편차지표의 변화율을 계산하는 단계; 및상기 편차지표의 변화율이 가장 작은 양수일 때 또는 최소일 때의 기준 데이터 수를 기초로 상기 최적 기준 데이터 수를 결정하는 단계;를 포함하는, 최적 기준 데이터 수 결정 방법
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제 3 항에 있어서,상기 편차지표는, 상기 편차들의 RMS (Root Mean Square) 값 또는 상기 편차들의 절대값의 평균인, 최적 기준 데이터 수 결정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 스무딩은 이동평균법(moving average) 또는 사비츠키-골레이 피팅(Savitzky-Golay fitting)인, 최적 기준 데이터 수 결정 방법
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7
스무딩을 위한 기준 데이터 수를 결정하는 기준 데이터 수 결정부;상기 기준 데이터 수 결정부에서 결정된 데이터수를 기준으로 측정 데이터를 1회 이상 스무딩하는 스무딩부;상기 스무딩 전의 측정 데이터와 상기 스무딩된 측정 데이터의 편차를 계산하는 편차계산부; 및상기 편차계산부에서 계산된 편차에 기초하여 최적 기준 데이터 수를 결정하는 최적 기준 데이터 수 결정부;를 포함하는, 측정 데이터 스무딩 장치
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8
제 7 항에 있어서,상기 기준 데이터 수 결정부는, 측정 데이터 프로파일의 폭에 대응하는 데이터 개수 또는 측정 데이터 프로파일의 폭에 대응하는 데이터 개수의 절반 이하의 값으로 결정하거나, 또는 동일한 값을 갖는 데이터 수의 최대값을 제1 기준 데이터 수로 결정하며, 상기 제1 기준 데이터 수보다 작은 값을 제2 기준 데이터 수로 결정하는, 측정 데이터 스무딩 장치
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9
제 7 항에 있어서,상기 편차계산부는, 상기 스무딩 전의 측정 데이터와 특정 데이터 수를 기준으로 스무딩된 측정 데이터의 편차들의 크기를 이용하여 계산되는 편차지표를 얻는, 측정 데이터 스무딩 장치
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10
제 9 항에 있어서,상기 최적 기준 데이터 수 결정부는, 기준 데이터 수에 따른 상기 편차지표의 변화율을 계산하는 편차 변화율 계산부를 포함하며, 상기 편차지표의 변화율이 가장 작은 양수일 때 또는 최소일 때의 기준 데이터 수를 상기 최적 기준 데이터 수로 결정하는, 측정 데이터 스무딩 장치
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11
제 9 항에 있어서,상기 편차지표는, 상기 편차들의 RMS (Root Mean Square) 값 또는 상기 편차들의 절대값의 평균인, 측정 데이터 스무딩 장치
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12
제 7 항에 있어서,상기 스무딩은 이동평균법 또는 사비츠키-골레이 피팅(Savitzky-Golay fitting)인, 측정 데이터 스무딩 장치
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13
측정 데이터와 상기 측정 데이터를 스무딩(smoothing)하여 얻어지는 스무딩된 데이터의 편차들을 얻는 단계;상기 편차들을 기초로 기준편차를 얻는 단계; 및상기 기준편차에 기초하여 상기 측정 데이터를 보정하는 단계를 포함하되,상기 편차들을 얻는 단계는, 제1항에 기재된 최적 기준 데이터 수 결정 방법에 의해 결정된 최적 기준 데이터 수를 기준으로 상기 측정 데이터를 스무딩하여 상기 스무딩된 데이터를 얻는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 측정 데이터의 보정 방법
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삭제
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제 13 항에 있어서,상기 편차들을 기초로 기준편차를 얻는 단계는, 상기 편차들 중 양의 값을 갖는 편차들의 평균인 제1평균을 계산하는 단계; 상기 제1평균을 기초로 제1기준편차를 결정하는 단계; 상기 편차들 중 음의 값을 갖는 편차들의 평균인 제2평균을 계산하는 단계; 및 상기 제2평균을 기초로 제2기준편차를 결정하는 단계;를 포함하고,상기 기준편차에 기초하여 상기 측정 데이터를 보정하는 단계는, 상기 양의 값을 갖는 편차들을 상기 제1기준편차와 비교하는 단계; 상기 측정 데이터 중 상기 스무딩된 데이터와의 편차가 양의 값을 가지면서 상기 제1기준편차 이상인 제1 불량 데이터를 보정하는 단계; 상기 음의 값을 갖는 편차들을 상기 제2기준편차와 비교하는 단계; 및 상기 측정 데이터 중 상기 스무딩된 데이터와의 편차가 음의 값을 가지면서 절대값이 상기 제2기준편차의 절대값 이상인 제2 불량 데이터를 보정하는 단계;를 포함하는, 측정 데이터의 보정 방법
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16
제 13 항에 있어서,상기 편차들을 기초로 기준편차를 얻는 단계는, 상기 편차들의 절대값의 평균을 계산하는 단계; 및 상기 편차들의 절대값의 평균을 기초로 상기 기준편차를 결정하는 단계;를 포함하고,상기 기준편차에 기초하여 상기 측정 데이터를 보정하는 단계는, 상기 편차들의 절대값과 상기 기준편차를 비교하는 단계; 및 상기 측정 데이터 중 상기 스무딩된 데이터와의 편차가 양의 값을 가지면서 상기 기준편차 이상인 제1 불량 데이터를 보정하는 단계; 및 상기 측정 데이터 중 상기 스무딩된 데이터와의 편차가 음의 값을 가지면서 절대값이 상기 기준편차 이상인 제2 불량 데이터를 보정하는 단계;를 포함하는, 측정 데이터의 보정 방법
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제 15 항 또는 제 16 항에 있어서,상기 제1 불량 데이터를 보정하는 단계는, 상기 편차들 중 양의 값을 가지면서 절대값이 최대인 제1최대편차를 구하는 단계; 및 상기 제1최대편차에 기초하여 상기 제1 불량 데이터를 보정하는 단계;를 포함하며,상기 제2 불량 데이터를 보정하는 단계는, 상기 편차들 중 음의 값을 가지면서 절대값이 최대인 제2최대편차를 구하는 단계; 및 상기 제2최대편차에 기초하여 상기 제2 불량 데이터를 보정하는 단계;를 포함하는, 측정 데이터의 보정 방법
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18
측정 데이터와 상기 측정 데이터를 스무딩하여 얻어지는 스무딩된 데이터의 편차들을 계산하는 편차계산부;상기 편차들을 기초로, 보정할 데이터를 결정하는 기준편차를 계산하는 기준편차계산부;상기 편차들과 상기 기준편차를 비교하는 편차비교부; 및상기 편차들과 상기 기준편차의 비교 결과에 기초하여 상기 측정 데이터를 보정하는 보정부를 포함하되,상기 편차계산부는, 제7항에 기재된 측정 데이터 스무딩 장치를 포함하는, 측정 데이터의 보정 장치
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19
삭제
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제 18 항에 있어서,상기 기준편차계산부는, 상기 편차들 중 양의 값을 갖는 편차들의 평균인 제1평균 및 상기 편차들 중 음의 값을 갖는 편차들의 평균인 제2평균을 계산하는 평균계산부를 포함하며, 상기 제1평균을 기초로 제1기준편차를 결정하고 상기 제2평균을 기초로 제2기준편차를 결정하고,상기 편차비교부는, 상기 양의 값을 갖는 편차들을 상기 제1기준편차와 비교하고 상기 음의 값을 갖는 편차들을 상기 제2기준편차와 비교하고,상기 보정부는, 상기 측정 데이터 중 상기 스무딩된 데이터와의 편차가 양의 값을 가지면서 상기 제1기준편차 이상인 제1 불량 데이터 및 상기 스무딩된 데이터와의 편차가 음의 값을 가지면서 절대값이 상기 제2기준편차의 절대값 이상인 제2 불량 데이터를 보정하는, 측정 데이터의 보정 장치
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21
제 18 항에 있어서,상기 기준편차계산부는, 상기 편차들의 절대값의 평균을 계산하는 평균계산부를 포함하며, 상기 편차들의 절대값의 평균을 기초로 상기 기준편차를 결정하고,상기 편차비교부는, 상기 편차들의 절대값과 상기 기준편차를 비교하고,상기 보정부는, 상기 측정 데이터 중 상기 스무딩된 데이터와의 편차가 양의 값을 가지면서 상기 기준편차 이상인 제1 불량 데이터 및 상기 스무딩된 데이터와의 편차가 음의 값을 가지면서 절대값이 상기 기준편차 이상인 제2 불량 데이터를 보정하는, 측정 데이터의 보정 장치
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22
제 20 항 또는 제 21 항에 있어서,상기 보정부는, 상기 편차들 중 양의 값을 가지면서 절대값이 최대인 제1최대편차 및 상기 편차들 중 음의 값을 가지면서 절대값이 최대인 제2최대편차를 결정하는 최대편차결정부를 포함하며, 상기 제1 불량 데이터는 상기 제1최대편차의 값에 기초하여 보정하고, 상기 제2 불량 데이터는 상기 제2최대편차의 값에 기초하여 보정하는, 측정 데이터의 보정 장치
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23
측정 데이터를 제13항, 제15항 및 제16항 중 어느 한 항에 기재된 측정 데이터의 보정 방법에 의해 보정하는 단계;보정된 측정 데이터에 대한 최적 기준 데이터 수를 결정하는 단계; 및결정된 최적 기준 데이터 수를 기준으로, 보정된 측정 데이터를 스무딩하는 단계;를 포함하는 측정 데이터의 처리 방법
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측정 데이터를 보정하는 단계;보정된 측정 데이터에 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 최적 기준 데이터 수 결정 방법을 적용하여 최적 기준 데이터 수를 결정하는 단계; 및결정된 최적 기준 데이터 수를 기준으로, 보정된 측정 데이터를 스무딩하는 단계;를 포함하는 측정 데이터의 처리 방법
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