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서로 동일한 형태로 투영되도록 상하 방향으로 중첩되어 배치된 두 쌍의 제1 전극 패턴들;상기 제1 전극 패턴들 각각과 서로 맞물리는(interdigitated) 형태로 배치되고 서로 동일한 형태로 투영되도록 상하 방향으로 중첩되어 배치되며 상기 제1 전극 패턴들에 인가된 전압과 반대 극성의 전압이 인가되는 두 쌍의 제2 전극 패턴들;한 쌍의 제1 전극 패턴들 사이에 배치된 제1 압전체; 및상기 제1 압전체와 마주하여 배치되고, 한 쌍의 제1 전극 패턴들 사이에 배치된 제2 압전체를 포함하고,상기 제1 압전체의 압전 활성 영역의 분극 방향은 상기 제2 압전체의 압전 활성 영역의 분극 방향은 서로 반대이고,상기 두 쌍의 제1 전극 패턴들 및 상기 두 쌍의 제 2 전극 패턴들에 교류 전압이 인가되며, 이 경우 상기 교류 전압은 상기 두 쌍의 제 1 전극 패턴들 모두에 동일 극성의 전압이 인가되고 상기 두 쌍의 제2 전극 패턴들 모두에 서로 동일 극성의 전압이 인가되며,분극 과정에서 인가된 전압과 반대 극성의 전압이 인가되는 한 쌍의 제1 전극 패턴들 사이에 배치된 제1 압전체는 수평 방향으로 수축되고, 분극 과정에서 인가된 전압과 동일 극성의 전압이 인가되는 한 쌍의 제1 전극 패턴들 사이에 배치된 제2 압전체는 수평 방향으로 연신되며,분극 과정에서 인가된 전압과 반대 극성의 전압이 인가되는 제1 및 제2 전극 패턴들이 형성된 압전체를 향해서 휘어지는 것을 특징으로 하는,휘어짐 특성이 우수한 압전 액츄에이터
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제1항에 있어서,서로 마주하는 제1 및 제2 압전체들의 측면들 각각에 형성된 제1 전극 패턴들 사이에 배치된 더미 필름을 더 포함하는 것을 특징으로 하는,휘어짐 특성이 우수한 압전 액츄에이터
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제1항에 있어서,상기 제1 및 제2 전극 패턴들 각각은압전체의 표면에 배치된 표면 전극부와, 상기 표면 전극부와 연결되고 압전체의 내부로 삽입된 내부 전극부를 포함하는 것을 특징으로 하는,휘어짐 특성이 우수한 압전 액츄에이터
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제5항에 있어서,상기 제1 및 제2 압전체들 각각은상기 내부 전극부가 삽입되도록 표면에서부터 내부를 향해 합입된 홀들을 포함하는 것을 특징으로 하는,휘어짐 특성이 우수한 압전 액츄에이터
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제1항에 있어서,상기 제1 및 제2 전극 패턴들 각각은 압전체의 표면에 배치된 표면 전극부를 포함하고,압전체를 중심으로 양측 표면에 서로 마주하도록 배치된 상기 제1 및 제2 전극 패턴들의 표면 전극부들끼리는 압전체의 내부를 관통하는 연결 전극부를 통해서 서로 연결된 것을 특징으로 하는,휘어짐 특성이 우수한 압전 액츄에이터
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제1항에 있어서,상기 제1 및 제2 압전체들 각각은압전 세라믹 또는 세라믹/폴리머 복합체로 형성된 것을 특징으로 하는,휘어짐 특성이 우수한 압전 액츄에이터
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제1항에 있어서,상기 제1 및 제2 압전체들 각각은제1 방향으로 연장된 복수개의 압전 세라믹 로드들이 상기 제1 방향과 반대인 제2 방향으로 서로 연결된 구조의 파이버 컴포지트 구조체인 것을 특징으로 하는,휘어짐 특성이 우수한 압전 액츄에이터
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제9항에 있어서,상기 압전 세라믹 로드들 각각은복수개의 압전 세라믹들이 상기 제1 방향으로 나란히 배열되어 압전 세라믹들 사이에 배치된 연결 패턴에 의해 연결된 것을 특징으로 하는,휘어짐 특성이 우수한 압전 액츄에이터
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제1항에 있어서,상기 제1 및 제2 전극 패턴들은상기 제1 및 제2 압전체들 상에 직접 증착/식각, 레이저 플레이팅, 스크린 프린팅, 잉크젯 프린팅 또는 스퍼터링에 의해 형성된 것을 특징으로 하는,휘어짐 특성이 우수한 압전 액츄에이터
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제1 압전체의 양측면들에 서로 동일한 형태로 투영되도록 상하 방향으로 중첩되어 배치된 한 쌍의 제1 전극 패턴들에 서로 동일 극성의 제1 전압을 인가하고, 상기 제1 전극 패턴들 각각과 서로 맞물리는(interdigitated) 형태로 배치되고 서로 동일한 형태로 투영되도록 상하 방향으로 중첩되어 배치된 제2 전극 패턴들에 상기 제1 전압과 반대 극성의 제2 전압을 인가하여 상기 제1 압전체를 분극시키는 단계;상기 제1 압전체와 마주하는 제2 압전체의 양측면들에 서로 동일한 형태로 투영되도록 상하 방향으로 중첩되어 배치된 한 쌍의 제1 전극 패턴들에 상기 제2 전압을 인가하고, 상기 제2 전압이 인가된 제1 전극 패턴들 각각과 서로 맞물리는 형태로 배치되고 서로 동일한 형태로 투영되도록 상하 방향으로 중첩되어 배치된 제2 전극 패턴들에 상기 제1 전압을 인가하여 상기 제2 압전체를 분극시키는 단계; 및상기 제1 및 제2 압전체의 제1 전극 패턴들에 상기 제1 전압과 동일 극성의 제3 전압을 인가하고, 상기 제1 및 제2 압전체의 제2 전극 패턴들에 상기 제2 전압과 동일 극성의 제4 전압을 인가하여 구동시키는 단계를 포함하고,상기 구동시키는 단계를 통해, 분극 과정에서 인가된 전압과 반대 극성의 전압이 인가되는 한 쌍의 제1 전극 패턴들 사이에 배치된 제1 압전체는 수평 방향으로 수축되고, 분극 과정에서 인가된 전압과 동일 극성의 전압이 인가되는 한 쌍의 제1 전극 패턴들 사이에 배치된 제2 압전체는 수평 방향으로 연신되며,분극 과정에서 인가된 전압과 반대 극성의 전압이 인가되는 제1 및 제2 전극 패턴들이 형성된 압전체를 향해서 휘어지는 것을 특징으로 하는,휘어짐 특성이 우수한 압전 액츄에이터의 구동 방법
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제12항에 있어서,상기 제1 압전체와 상기 제2 압전체 상에 배치된 전극 패턴들 각각은압전체의 표면에 배치된 표면 전극부와, 상기 표면 전극부와 연결되고 상기 압전체의 내부로 삽입된 내부 전극부를 포함하고,상기 분극시키는 단계에서, 상기 내부 전극부에 의해서 압전체의 압전 활성 영역이 확장되는 것을 특징으로 하는,휘어짐 특성이 우수한 압전 액츄에이터의 구동 방법
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제12항에 있어서,상기 제1 압전체와 상기 제2 압전체 상에 배치된 전극 패턴들 각각은 압전체의 표면에 배치된 표면 전극부를 포함하고,서로 상하 방향으로 마주하여 배치된 표면 전극부들은 압전체를 관통하는 연결 전극부에 의해서 연결되며,상기 분극시키는 단계에서, 상기 연결 전극부에 의해서 압전체의 압전 활성 영역이 확장되는 것을 특징으로 하는,휘어짐 특성이 우수한 압전 액츄에이터의 구동 방법
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제12항에 있어서,상기 제1 압전체를 분극시키는 단계 및 상기 제2 압전체를 분극시키는 단계에서는 직류 전압을 인가하고,상기 구동시키는 단계에서는 교류 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는,휘어짐 특성이 우수한 압전 액츄에이터의 구동 방법
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