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결함 검출 장치(DEVICE FOR DETECTING DEFECTS)

  • 기술번호 : KST2016016866
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시예에 따른 결함 검출 장치는 피검사체가 로딩되는 스테이지, 및 상기 스테이지 전방에 배치되는 검출부를 포함할 수 있다. 상기 검출부는 몸체부, 및 상기 몸체부의 하부에 결합되어 일 방향을 따라 정렬된 제 1 검출부, 식각부 및 제 2 검출부를 포함할 수 있다. 상기 몸체부는 상기 일 방향을 따라 직선 이동되도록 구성될 수 있다.상기 제 1 검출부는, 상기 몸체부의 상기 직선 이동에 따라 상기 피검사체의 일 영역을 제 1 스캐닝하도록 구성되고, 상기 식각부는, 상기 제 1 검출부의 이동경로를 따라 이동하여 상기 제 1 스캐닝된 상기 일 영역을 식각하도록 구성되고, 상기 제 2 검출부는, 상기 식각부의 이동경로를 따라 이동하여 상기 식각된 일 영역을 제 2 스캐닝하도록 구성될 수 있다.
Int. CL H01L 21/3065 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01) H01L 51/56 (2006.01)
CPC H01L 22/12(2013.01) H01L 22/12(2013.01) H01L 22/12(2013.01)
출원번호/일자 1020150032541 (2015.03.09)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0110601 (2016.09.22) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황치선 대한민국 대전시 유성구
2 이현구 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.03.09 수리 (Accepted) 1-1-2015-0228804-93
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번호 청구항
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피검사체가 로딩되는 스테이지; 및상기 스테이지 전방에 배치되는 검출부를 포함하고,상기 검출부는 몸체부, 및 상기 몸체부의 하부에 결합되어 일 방향을 따라 정렬된 제 1 검출부, 식각부 및 제 2 검출부를 포함하되, 상기 몸체부는 상기 일 방향을 따라 직선 이동되도록 구성되고,상기 제 1 검출부는, 상기 몸체부의 상기 직선 이동에 따라 상기 피검사체의 일 영역을 제 1 스캐닝하도록 구성되고,상기 식각부는, 상기 제 1 검출부의 이동경로를 따라 이동하여 상기 제 1 스캐닝된 상기 일 영역을 식각하도록 구성되고,상기 제 2 검출부는, 상기 식각부의 이동경로를 따라 이동하여 상기 식각된 일 영역을 제 2 스캐닝하도록 구성되는 결함 검출 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 주성엔지니어링(주) 산업원천기술개발사업(디스플레이) AMOLED 박막봉지용 Non-ALD 방식 저결함, 고생산성 무기박막 Passivation 장비 개발