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질량분석기를 이용한 디플럭스 세정제의 조성확인 및 정량분석 방법(Identification and quantitative analysis method of detergent deflux composition using mass spectrometry)

  • 기술번호 : KST2016017085
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 질량분석기를 이용한 디플럭스 세정제의 조성확인 및 정량분석 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 질량분석기를 이용하여 반도체 공정에서 플럭스의 제거에 사용되는 디플럭스 세정제들의 조성을 확인하고 각 조성 물질의 함량을 정량분석 하는 방법에 관한 것이다.본 발명은 성분과 함량이 알려지지 않은 디플럭스 구성 성분 및 함량을 기체 혹은 액체크로마토그래피-질량분석기를 사용하여 찾아냄으로서, 디플럭스 종류에 따라 성능 및 효율 차이의 원인을 규명할 수 있을 뿐만 아니라 더 효과적인 디플럭스 제조 연구에 이용될 수 있다.
Int. CL G01N 30/72 (2006.01)
CPC G01N 30/7206(2013.01)
출원번호/일자 1020150039181 (2015.03.20)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0112827 (2016.09.28) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.03.20)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조성희 대한민국 대전광역시 서구
2 김종혁 대한민국 대전광역시 유성구
3 박나현 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한라특허법인(유한) 대한민국 서울시 서초구 강남대로 ***(서초동, 남강빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-0277630-83
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.10.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.12.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0078245-04
4 대리인선임신고서
Report on Appointment of Agent
2015.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-5033520-42
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2016-0080360-20
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2016-0083864-44
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.12.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0875768-15
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.01.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0010229-17
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.01.04 수리 (Accepted) 1-1-2017-0010228-72
10 등록결정서
Decision to grant
2017.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0147239-99
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
글리콜에테르 그룹 함유 성분과 아민 그룹 함유 성분이 포함된 디플럭스 세정제에 대하여 기체크로마토그래피-질량분석기를 사용하여 디플럭스의 각 성분들의 머무름 시간과 질량 스펙트라(mass spectra)를 얻는 단계; 액체크로마토그래피-질량분석기를 이용하여 디플럭스 각 성분들의 모이온(preccusir ion) 값을 통한 분자량을 예측하는 단계; 상기 두 단계를 통해 예측된 성분들을 기체크로마토그래피-고분해능 질량분석기를 사용하여 실험값과 이론값을 비교하는 단계; 예측된 성분들의 표준물질을 사용하여 디플럭스 각 성분들을 확인하는 단계; 및 기체크로마토그래피-질량분석기 혹은 액체크로마토그래피-질량분석기를 사용하여 디플럭스 각 성분들의 함량을 동시 정량 분석하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 질량분석기를 이용한 디플럭스 세정제의 조성확인 및 정량분석 방법
2 2
청구항 1에 있어서, 디플럭스 세정제에 포함되는 글리콜에테르 그룹 함유 성분이 N-부틸다이에탄올아민(BDEA) 및 N-메틸다이에탄올아민(MDEA)으로 이루어진 군으로부터 선택되고, 상기 아민 그룹 함유 성분이 2-에틸아미노에탄올, 다이에틸렌 글리콜 모노 n-부틸 에테르(DEG) 및 트라이에틸렌 글리콜 모노 n-부틸 에테르(TEG)로 이루어진 군으로부터 선택되는 것임을 특징으로 하는 디플럭스 세정제의 조성확인 및 정량분석 방법
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 기체크로마토그래피의 컬럼은 DB-1HT를 사용함을 특징으로 하는 디플럭스 세정제의 조성확인 및 정량분석 방법
4 4
청구항 1에 있어서, 상기 액체크로마토그래피의 이동상으로 사용되는 전개용매는 10 mM 아세트산암모늄 완충용액과 아세토니트릴을 사용함을 특징으로 하는 디플럭스 세정제의 조성확인 및 정량분석 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 정량 분석 단계는 선택 이온 모니터링(Selected Ion Monitoring) 모드에서 정량하는 함을 특징으로 하는 디플럭스 세정제의 조성확인 및 정량분석 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 기체 크마토그래피의 온도 조건은 디플럭스 내 아민을 함유한 그룹의 성분을 분리시키기 위하여 25~35℃로 0
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청구항 1에 있어서, 디플럭스 제품의 성능 및 효율 차이의 원인을 규명하는 단계를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 디플럭스 세정제의 조성확인 및 정량분석 방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국화학연구원 기관고유사업 화학분석기술 지원사업
2 산업계 한국화학연구원 산업계수탁과제 Deflux 물질의 화학 조성분석 및 공정 메커니즘 비교 해석