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유기전자소자의 보호막 결함 검사 방법(DEFECTS INSPECTION METHOD IN PASSIVATION LAYER OF ORGANIC ELECTRONIC DEVICE)

  • 기술번호 : KST2016017169
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 상술한 기술적 과제들을 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 유기전자소자의 보호막 결함 검사 방법은 기판 상의 투명전극, 상기 투명전극 상의 유기물층, 상기 유기물층 상의 금속 전극, 상기 금속 전극 상의 광발광층, 및 상기 광발광층 상의 보호막을 포함하는 유기전자소자에 검사광을 조사하는 것, 및 상기 검사광의 조사에 의해 상기 광발광층에서 생성된 방출광을 검출하는 것을 포함할 수 있다. 상기 보호막은 그의 내부 또는 상면에 결함을 포함하되, 상기 방출광은 상기 결함을 투과하는 제 1 방출광, 및 결함을 포함하지 않는 영역을 투과하는 제 2 방출광을 포함할 수 있다. 상기 결함은 상기 제 1 및 2 방출광들의 세기의 차이에 의해 검출될 수 있다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01.01) H01L 51/56 (2006.01.01)
CPC H01L 22/12(2013.01) H01L 22/12(2013.01)
출원번호/일자 1020150038333 (2015.03.19)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0113407 (2016.09.29) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.10.18)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이현구 대한민국 대전광역시 유성구
2 황치선 대한민국 대전시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2015-0270998-50
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2019.10.18 수리 (Accepted) 1-1-2019-1066153-95
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.10.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-1066152-49
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2020.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2020.06.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0067611-88
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.08.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0565610-12
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.09.15 수리 (Accepted) 1-1-2020-0978839-88
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.09.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0978840-24
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번호 청구항
1 1
기판 상의 투명전극, 상기 투명전극 상의 유기물층, 상기 유기물층 상의 금속 전극, 상기 금속 전극 상의 광발광층, 및 상기 광발광층 상의 보호막을 포함하는 유기전자소자에 검사광을 조사하는 것; 및상기 검사광의 조사에 의해 상기 광발광층에서 생성된 방출광을 검출하는 것을 포함하고,상기 보호막은 그의 내부 또는 상면에 결함을 포함하되, 상기 방출광은 상기 결함을 투과하는 제 1 방출광, 및 결함을 포함하지 않는 영역을 투과하는 제 2 방출광을 포함하고, 상기 결함은 상기 제 1 및 2 방출광들의 세기의 차이에 의해 검출되는 유기전자소자의 보호막 결함 검사 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 주성엔지니어링(주) 산업원천기술개발사업(디스플레이) AMOLED 박막봉지용 Non-ALD 방식 저결함, 고생산성 무기박막 Passivation 장비 개발