맞춤기술찾기
이전대상기술
UV 마운팅 공정을 이용한 사파이어 웨이퍼 그라인딩 방법(Grinding method of sapphire wafer using UV mounting process)
- 기술번호 : KST2016017251
- 담당센터 : 경기기술혁신센터
- 전화번호 : 031-8006-1570
| 요약 | 본 발명은 물리적인 압력을 가하여 연마를 하는 것이 아니라, 웨이퍼의 고유형상을 유지하도록 하면서 그라인딩하여 양면이 균일한 형상을 가질 수 있는 마운팅 및 그라인딩 방법에 관한 것으로서, 자외선(UV)이 투과될 수 있는 투명한 소재의 진공척 위에 PET 필름을 올려놓고 진공으로 PET 필름을 파지하는 단계; 파지된 PET 필름위에 UV 경화수지를 토출하고 사파이어 웨이퍼를 올려놓는 단계; 사파이어 웨이퍼 상면을 프레스로 가압하여 UV 경화수지가 확산되어 기판의 뒷면 전체에 골고루 퍼지도록 하는 단계; 프레스를 제거하여 사파이어 웨이퍼가 원래 형상으로 복귀하면서 상기 PET 필름과의 들뜬 공간을 상기 UV 경화수지가 채우는 단계; 사파이어 기판과 PET 필름사이의 들뜬 빈 공간에 채워진 UV 경화수지에 UV 광원을 조사하여 경화하여 UV 마운팅하는 단계; UV 마운팅된 사파이어 웨이퍼 앞면을 연마하여 평탄화하는 단계; 앞면 연마가 완료된 후 세척하고 PET 필름과 UV 경화수지를 제거하는 단계 및 PET 필름이 제거된 사파이어 웨이퍼를 뒤집어 뒷면을 앞면과 동일한 조건으로 연마하여 평탄화하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/304 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) H01L 33/00 (2010.01) |
| CPC | H01L 21/02024(2013.01) H01L 21/02024(2013.01) H01L 21/02024(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020150039899 (2015.03.23) |
| 출원인 | 경기대학교 산학협력단 |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2016-0113799 (2016.10.04) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 공개 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2015.03.23) |
| 심사청구항수 | 4 |