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압전 물질을 포함하는 압전막; 및상기 압전막의 상측에 배치되고, 카본 나노 구조를 갖는 제1 막; 을 포함하는, 압전 소자
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제 1 항에 있어서,상기 압전막은 징크 옥사이드(ZnOx)를 포함하는, 압전 소자
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제 2 항에 있어서,상기 제1 막은 카본 나노 튜브 또는 그래핀을 포함하는, 압전 소자
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제 2 항에 있어서,상기 압전막의 하측에 배치되고, 상기 압전막의 결정성을 향상시키는 제2 막; 을 더 포함하는, 압전 소자
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제 4 항에 있어서,상기 제2 막은 크롬을 포함하는 제1 보조막; 및 크롬 옥사이드(CrOx)를 포함하는 제2 보조막; 을 포함하는, 압전 소자
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6
제 4 항에 있어서,상기 제1 막의 상측에 배치되고, 몰리브덴 옥사이드(MoOx)를 포함하는 제3 막; 을 더 포함하는, 압전 소자
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7
제 6 항에 있어서,상기 제1 내지 제3 막 및 상기 압전막은 투명 또는 반투명한, 압전 소자
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카본 나노 튜브(Carbon Nano Tube)를 포함하는, 제1 막;징크 옥사이드(ZnOx)를 포함하는, 압전막; 및크롬(Cr) 및 크롬 옥사이드(CrOx)를 포함하는, 제2 막; 을 포함하는, 압전 소자
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9
제 8 항에 있어서,상기 제2 막은 크롬을 포함하는 제1 보조막; 및 크롬 옥사이드를 포함하는 제2 보조막; 을 포함하는, 압전 소자
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10
제 9 항에 있어서,몰리브덴 옥사이드(MoOx)를 포함하는 제3 막; 을 더 포함하는, 압전 소자
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11
제 10 항에 있어서,상기 제1 내지 제3 막 및 상기 압전막은 투명 또는 반투명한, 압전 소자
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12
가요성을 갖는 제1 및 제2 피막;제1 및 제2 전극; 및상기 제1 및 제2 전극 사이에 배치된 적어도 하나의 압전 소자; 를 포함하되,상기 적어도 하나의 압전 소자는, 압전 물질을 포함하는 압전막; 및 상기 압전막의 상측에 배치되고, 카본 나노 구조를 갖는 제1 막; 을 포함하는, 압전 센서
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13
제 12 항에 있어서,상기 압전막은 징크 옥사이드(ZnOx)를 포함하고, 상기 제1 막은 카본 나노 튜브 또는 그래핀을 포함하는, 압전 센서
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제 13 항에 있어서, 상기 압전 소자는, 상기 압전막의 하측에 배치되고, 상기 압전막의 결정성을 향상시키는 제2 막; 을 더 포함하되, 상기 제2 막은, 크롬을 포함하는 제1 보조막; 및 크롬 옥사이드를 포함하는 제2 보조막; 을 포함하는, 압전 센서
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제 14 항에 있어서,상기 압전 소자는, 상기 제1 막의 상측에 배치되고, 몰리브덴 옥사이드(MoOx)를 포함하는 제3 막; 을 더 포함하는, 압전 센서
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제 15 항에 있어서,상기 압전 소자는 투명 또는 반투명한, 압전 센서
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제 12 항에 있어서,상기 제1 및 제2 전극은 서펜틴(serpentine) 구조로 패터닝되어 형성되는, 압전 센서
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제 12 항에 있어서,상기 제1 및 제2 피막은, 폴리 이미드(poly imid)를 포함하며, 서펜틴 구조로 패터닝되어 형성되는, 압전 센서
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웨어러블 디바이스에 있어서,상기 웨어러블 디바이스에 대한 유저 입력을 센싱하는 압전 센서; 및상기 압전 센서와 통신을 수행하여 상기 유저 입력을 디텍트하고, 상기 디텍트한 유저 입력에 대응하는 커맨드를 수행하는, 프로세서; 를 포함하되,상기 압전 센서는,가요성을 갖는 제1 및 제2 피막;제1 및 제2 전극; 및압전 물질을 포함하는 압전막 및 카본 나노 구조를 갖는 제1 막을 포함하며, 상기 제1 및 제2 전극 사이에 배치되는, 적어도 하나의 압전 소자; 를 포함하는, 웨어러블 디바이스
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20
제 19 항에 있어서,상기 압전막은 징크 옥사이드(ZnOx)를 포함하고, 상기 제1 막은 카본 나노 튜브 또는 그래핀을 포함하는, 웨어러블 디바이스
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제 20 항에 있어서, 상기 압전 소자는,상기 압전막의 하측에 배치되고, 상기 압전막의 결정성을 향상시키는 제2 막; 을 더 포함하되,상기 제2 막은, 크롬을 포함하는 제1 보조막; 및 크롬 옥사이드를 포함하는 제2 보조막; 을 포함하는, 웨어러블 디바이스
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제 21 항에 있어서,상기 압전 소자는,상기 제1 막의 상측에 배치되고, 몰리브덴 옥사이드(MoOx)를 포함하는 제3 막; 을 더 포함하는, 웨어러블 디바이스
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제 19 항에 있어서,상기 적어도 하나의 압전 소자는 투명 또는 반투명한, 웨어러블 디바이스
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제 19 항에 있어서,상기 제1 및 제2 전극은 서펜틴 구조로 패터닝되어 형성되는, 웨어러블 디바이스
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제 19 항에 있어서,상기 베이스 막은, 폴리 이미드(poly imid)를 포함하며, 서펜틴 구조로 패터닝되어 형성되는, 압전 센서
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제 19 항에 있어서,상기 유저 입력은 제스쳐 입력인, 웨어러블 디바이스
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