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용존산소 측정 센서로서:내부에 밀폐된 공간을 제공하는 용기부;상기 용기부 상에 배치된 전극을 포함하는 전기분해부; 및상기 용기부의 공간 내에 배치된 감지부;를 포함하고,피측정 용액 내에 배치된 상태에서 상기 전기분해부에 전기가 인가되어 발생되는 전기분해에 의해 상기 용기부의 일부가 개방되고, 개방된 부위를 통해 상기 용기부의 공간 내로 피측정 용액이 투입되어 상기 감지부에 접촉됨으로써 측정이 이루어지는 용존산소 측정 센서
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청구항 1에 있어서,상기 전기분해부의 전극이 배치되는 용기부의 부위는 박막으로 형성된 것인, 용존산소 측정 센서
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청구항 2에 있어서, 상기 용기부는:바닥부와 측벽부를 포함하여, 내부에 홈 형태의 공간을 제공하고 상부가 개구된 용기몸체; 및개구된 부위에 배치된 덮개부;를 포함하고,상기 박막은 상기 덮개부에 배치된 것인, 용존산소 측정 센서
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청구항 2에 있어서,상기 감지부는 전해질, 작동전극, 상대전극, 및 기준전극을 포함하는 것인, 용존산소 측정 센서
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청구항 4에 있어서,상기 감지부는 상기 용기부의 밀폐된 공간 외부로 노출된, 전극들을 위한 단자들 및 배선들을 더 포함하는 것인, 용존산소 측정 센서
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청구항 2에 있어서,상기 전기분해부는 양전극과 음전극의 전극쌍을 하나 이상 포함하고, 상기 양전극과 상기 음전극은 하나 이상의 막대부위를 포함하며, 상기 양전극의 막대부위와 상기 음전극의 막대부위는 교번적인 배열이 되도록 서로 삽입된 것인, 용존산소 측정 센서
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청구항 2에 있어서,상기 박막은 산화막인 것인, 용존산소 측정 센서
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선행하는 청구항 중 어느 하나의 개별 용존산소 측정 센서를 다수개 포함하는 용존산소 측정 장치
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청구항 8에 있어서,상기 다수개의 용존산소 측정 센서들은 각각 고유 식별이 가능하도록 어레이로 배열되어 선택적인 동작이 가능한 것인, 용존산소 측정 장치
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청구항 8에 있어서,상기 센서들의 일부 또는 전부가 바닥부를 공유하는 것인, 용존산소 측정 장치
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용존산소 측정 센서 제조방법으로서:(a) 바닥부와 측벽부를 포함하는 용기몸체와, 상기 용기몸체 내에 적어도 전해질과 센서 전극들이 수용된 감지부를 포함하는 하부구조를 준비하는 단계;(b) 전기분해부가 형성된 덮개부를 준비하는 단계; 및(c) 상기 하부구조에 상기 덮개부를 결합하여 용기부를 형성하는 단계;를 포함하는, 용존 산소 측정 센서의 제조 방법
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청구항 11에 있어서,상기 결합된 구조가 피측정 용액 내에 배치된 상태에서 상기 전기분해부에 전기가 인가되어 발생되는 전기분해에 의해 상기 덮개부의 해당 부위가 개방되고, 개방된 부위를 통해 상기 용기부의 공간 내로 피측정 용액이 투입되어 그 내부의 감지부에 접촉됨으로써 측정이 이루어지는 것인, 용존산소 측정 장치의 제조 방법
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청구항 11에 있어서, 상기 단계 (a)는;(a1) 상기 바닥부를 이루는 베이스판에 작동전극, 상대전극 및 기준전극을 포함하는 센서 전극군과, 센서 전극군을 위한 단자와 배선을 형성하는 단계; 및(a2) 상기 적어도 센서 전극군을 포함하도록 측벽부를 상기 바닥부에 결합하는 단계;를 포함하는, 용존 산소 측정 센서의 제조 방법
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청구항 11에 있어서, 상기 단계 (b)는: (b1) 기판 상에 박막을 형성하는 단계;(b2) 상기 기판 상면의 상기 박막 상에 전기분해부를 형성하는 단계; 및(b3) 상기 기판의 하면 측에서 상기 기판의 일부분을 선택적으로 제거하는 단계;를 포함하고,상기 단계 (b3)에서 상기 기판의 일부분을 선택적으로 제거하는 것은 상기 박막의 하면을 노출시키는 것인, 용존 산소 측정 센서의 제조 방법
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청구항 14에 있어서,상기 기판이 선택적으로 제거되는 부위는 상기 전기분해부의 양극과 음극이 대면하면서 배치된 전극쌍 부위에 대응하는 것인, 용존 산소 측정 센서의 제조 방법
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