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요약 |
본 발명의 실시예에 따른 입자 빔 발생장치는 입사광을 생성하는 제 1 광원, 상기 입사광을 타깃에 집속하는 제 1 집광부, 레이저 빔을 생성하는 제 2 광원, 상기 레이저 빔을 상기 타깃에 집속하는 제 2 집광부, 및 상기 입자 빔을 검출하는 검출부를 포함할 수 있다. 상기 레이저 빔에 의해 상기 타깃은 입자 빔을 생성할 수 있다. 상기 타깃은 상기 입사광의 조사에 의해 내부에 전자-정공 쌍을 형성시키는 광전도성 물질을 포함할 수 있다.
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Int. CL |
H01J 37/04 (2006.01) H01J 37/08 (2006.01) H01J 37/34 (2006.01) H01J 37/06 (2006.01) H05H 6/00 (2006.01) A61B 18/20 (2006.01)
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CPC |
H01J 37/073(2013.01) H01J 37/073(2013.01) H01J 37/073(2013.01) H01J 37/073(2013.01)
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출원번호/일자 |
1020150045198
(2015.03.31)
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출원인 |
한국전자통신연구원
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등록번호/일자 |
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공개번호/일자 |
10-2016-0116859
(2016.10.10)
문서열기
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공고번호/일자 |
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국제출원번호/일자 |
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국제공개번호/일자 |
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우선권정보 |
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법적상태 |
공개 |
심사진행상태 |
수리 |
심판사항 |
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구분 |
신규 |
원출원번호/일자 |
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관련 출원번호 |
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심사청구여부/일자 |
N
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심사청구항수 |
1 |