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아조벤젠 결합 PVDF필름을 이용하는 압전소자 및 그 제조방법(Piezoelectric device using PVDF film bonded with azobenzene and manufacturing method thereof)

기술번호 : KST2016017706
담당센터 : 서울동부기술혁신센터
전화번호 : 02-2155-3662

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 아조벤젠 결합 PVDF필름을 이용하는 압전소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 일예와 관련된 압전소자는 제 1 전극층; 제 2 전극층; 및 상기 제 1 전극층과 상기 제 2 전극층 사이에 위치하는 PVDF계 폴리머 필름;을 포함하고, 상기 PVDF계 폴리머 필름은 아조벤젠 및 PVDF가 결합된 PVDF-아조벤젠 폴리머 필름일 수 있다.
Int. CL	H01L 35/02 (2006.01) H01L 35/24 (2006.01) H01L 35/14 (2006.01) H01L 35/34 (2006.01) H01L 35/12 (2006.01)
CPC	H01L 35/02(2013.01) H01L 35/02(2013.01) H01L 35/02(2013.01) H01L 35/02(2013.01) H01L 35/02(2013.01)
출원번호/일자	1020150044569 (2015.03.30)
출원인	서울시립대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2016-0116603 (2016.10.10) 문서열기
공고번호/일자	문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2015.03.30)
심사청구항수	45

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	서울시립대학교 산학협력단	대한민국	서울특별시 동대문구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	박병은	대한민국	서울특별시 양천구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	특허법인 아이퍼스	대한민국	서울특별시 강남구 삼성로*길, *층(대치동 삼성빌딩)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	서울시립대학교 산학협력단	대한민국	서울특별시 동대문구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2015.03.30	수리 (Accepted)	1-1-2015-0311621-60
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2015.12.08	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2016.03.01	수리 (Accepted)	9-1-2016-0010321-39
4	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2016.05.31	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2016-0398404-12
5	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2016.06.02	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2016-0533381-82
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2016.06.02	수리 (Accepted)	1-1-2016-0533395-10
7	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2016.08.08	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2016-0569529-76
8	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2016.09.19	수리 (Accepted)	1-1-2016-0901310-38
9	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2016.09.19	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2016-0901309-92
10	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2017.01.17	수리 (Accepted)	4-1-2017-5009116-18
11	등록결정서 Decision to grant	2017.01.23	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2017-0056164-51
12	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.09.10	수리 (Accepted)	4-1-2019-5191631-69

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 제 1 전극층;제 2 전극층; 및상기 제 1 전극층과 상기 제 2 전극층 사이에 위치하는 PVDF계 폴리머 필름;을 포함하고,상기 PVDF계 폴리머 필름은 아조벤젠 및 PVDF가 결합된 PVDF-아조벤젠 폴리머 필름인 것을 특징으로 하는, 압전소자
2	2 제 1항에 있어서,상기 PVDF-아조벤젠 폴리머 필름은 PVDF와 아조벤젠인 용해된 용액의 용매가 증발되어 제조되는 것을 특징으로 하는 압전소자
3	3 제 2항에 있어서,상기 용매는 극성 용매인 것을 특징으로 하는, 압전소자
4	4 제 3항에 있어서,상기 극성 용매는 에틸아세테이트, THF(Tetrahydrofuran), 부틸 알콜(butyl alcohol), IPA(isopropyl antipyrine), 아세톤(acetone) 및 아세토니트릴(acetonitrile) 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는, 압전소자
5	5 제 2항에 있어서,상기 용액은 탄소나노튜브(CNT)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 압전소자
6	6 제 5 항에 있어서,상기 탄소나노튜브는 상기 용액에 대하여 0
7	7 제 2항에 있어서,상기 용액은 메탈 파티클을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 압전소자
8	8 제 2항에 있어서,상기 용매가 증발될 시 상기 용액 위로 기체의 유동이 형성되는 것을 특징으로 하는 압전소자
9	9 제 8항에 있어서, 상기 기체는 불활성 기체인 것을 특징으로 하는 압전소자
10	10 제 1항에 있어서, 상기 전극층은 알루미늄, 백금 및 금 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자
11	11 내부 전극을 포함하는 복수의 전극층; 및복수의 PVDF계 폴리머 필름층;을 포함하고,상기 복수의 전극층 및 상기 복수의 PVDF계 폴리머 필름층은 서로의 상부에 교호적으로 적층되고,상기 PVDF계 폴리머 필름은 아조벤젠 및 PVDF가 결합된 PVDF-아조벤젠 폴리머 필름인 것을 특징으로 하는, 적층 압전소자
12	12 제 11항에 있어서,상기 PVDF-아조벤젠 폴리머 필름은 PVDF와 아조벤젠인 용해된 용액의 용매가 증발되어 제조되는 것을 특징으로 하는 적층 압전소자
13	13 제 12항에 있어서,상기 용매는 극성 용매인 것을 특징으로 하는, 적층 압전소자
14	14 제 13항에 있어서,상기 극성 용매는 에틸아세테이트, THF(Tetrahydrofuran), 부틸 알콜(butyl alcohol), IPA(isopropyl antipyrine), 아세톤(acetone) 및 아세토니트릴(acetonitrile) 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는, 적층 압전소자
15	15 제 12항에 있어서,상기 용액은 탄소나노튜브(CNT)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 적층 압전소자
16	16 제 15 항에 있어서,상기 탄소나노튜브는 상기 용액에 대하여 0
17	17 제 12항에 있어서,상기 용액은 메탈 파티클을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 적층 압전소자
18	18 제 12항에 있어서,상기 용매가 증발될 시 상기 용액 위로 기체의 유동이 형성되는 것을 특징으로 하는 적층 압전소자
19	19 제 18항에 있어서, 상기 기체는 불활성 기체인 것을 특징으로 하는 적층 압전소자
20	20 제 11항에 있어서, 상기 전극층은 알루미늄, 백금 및 금 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 압전소자
21	21 제 11항에 있어서,상기 내부 전극이 상기 내부 전극이 Ag 및 Pd를 함유하며, Pd의 중량 M2에 대한 Ag의 중량 M1의 중량비 M1/M2가 0
22	22 제 11항에 있어서,상기 내부 전극이 Ni 및 Cu 중 하나 이상을 함유하는 적층 압전소자
23	23 압전재료층을 구비하는 단계;상기 압전재료층의 일면에 제 1 전극층을 증착하는 단계; 및상기 압전재료층의 타면에 제 2 전극층을 증착하는 단계;를 포함하되,상기 압전재료층은 PVDF-아조벤젠 폴리머 필름층이고,상기 압전재료층을 구비하는 단계는,PVDF와 아조벤젠을 중합하여 PVDF-아조벤젠 폴리머 용액을 제조하는 제 1 단계;상기 PVDF-아조벤젠 폴리머 용액을 기판 상에 도포하는 제 2 단계;상기 PVDF-아조벤젠 폴리머 용액의 용매를 증발시켜 PVDF-아조벤젠 폴리머 필름을 형성하는 제 3 단계; 및상기 기판을 상기 PVDF-아조벤젠 폴리머 필름으로부터 분리하는 제 4 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 제조 방법
24	24 제 23 항에 있어서,제 1 단계는,PVDF 용액과 아조벤젠 용액을 혼합하는 방법, PVDF 용액에 아조벤젠을 분산시키는 방법 및 아조벤젠 용액에 PVDF를 분산시키는 방법 중 어느 하나의 방법을 사용하는 것을 특징으로 하는 압전소자 제조 방법
25	25 제 24 항에 있어서,상기 PVDF 용액의 용매는 MIBK (methyl isobutyl ketone), MEK (methyl ethyl ketone),NMP(N-Methyl-2-pyrrolidone), DMF (dimethylformamide) 및 DME(dimethyl ether) 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 압전소자 제조 방법
26	26 제 24 항에 있어서,상기 아조벤젠 용액의 용매는, 극성 용매인 것을 특징으로 하는 압전소자 제조 방법
27	27 제 26 항에 있어서,상기 아조벤젠 용액의 용매는, 에틸아세테이트, THF(Tetrahydrofuran), 부틸 알콜(butyl alcohol), IPA(isopropyl antipyrine), 아세톤(acetone) 및 아세토니트릴(acetonitrile) 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 압전소자 제조 방법
28	28 제 23 항에 있어서,상기 제 1 단계는,상기 PVDF-아조벤젠 폴리머 용액에 탄소나노튜브(CNT)를 분산시키는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 제조 방법
29	29 제 28 항에 있어서,상기 탄소나노튜브는 상기 PVDF-아조벤젠 폴리머 용액에 대하여 0
30	30 제 23 항에 있어서,상기 제 1 단계는,상기 PVDF-아조벤젠 폴리머 용액에 메탈 파티클(metal particle)을 분산시키는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 제조 방법
31	31 제 23 항에 있어서,상기 제 1 단계 후,상기 PVDF-아조벤젠 폴리머 용액에 가시광선을 조사하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 제조 방법
32	32 제 23 항에 있어서,제 2 단계에서,어플리케이터를 사용하는 방법, 바코터를 사용하는 방법 및 스핀 코팅 방법 중 적어도 하나의 방법을 사용하는 것을 특징으로 하는 압전소자 제조 방법
33	33 제 23 항에 있어서,상기 기판은 친수성 코팅 처리된 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 압전소자 제조 방법
34	34 제 33 항에 있어서,상기 기판은 유리 또는 폴리머로 이루어진 것을 특징으로 하는 압전소자 제조 방법
35	35 제 23 항에 있어서,상기 제 3 단계에서,상기 PVDF-아조벤젠 폴리머 용액 위로 기체의 유동을 만들어 상기 용매의 균일한 휘발을 유도하는 것을 특징으로 하는 압전소자 제조 방법
36	36 제 35 항에 있어서,상기 기체는 불활성 기체인 것을 특징으로 하는 압전소자 제조 방법
37	37 제 23 항에 있어서,상기 제 3 단계 후,상기 PVDF-아조벤젠 폴리머 필름에 지지막을 접합하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 제조 방법
38	38 제 37 항에 있어서,상기 지지막은 실리콘 일래스토머(silicone elastomer) 및 PDMS(polydimethylsiloxane) 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 제조 방법
39	39 제 38 항에 있어서,상기 지지막은 PET(polyethylene terephthalate) 필름 상에 실리콘 일래스토머(silicone elastomer) 및 PDMS(polydimethylsiloxane) 중 적어도 하나를 코팅하여 형성되는 것을 특징으로 하는 압전소자 제조 방법
40	40 제 23 항에 있어서,상기 제 4 단계 전,상기 PVDF-아조벤젠 폴리머 필름과 상기 기판 사이의 접착력을 약화시키는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자 제조 방법
41	41 제 40 항에 있어서,상기 PVDF-아조벤젠 폴리머 필름과 상기 기판 사이의 접착력을 약화시키는 단계에서,상기 기판과 상기 PVDF-아조벤젠 폴리머 필름에 습윤 환경을 제공하는 것을 특징으로 하는 압전소자 제조 방법
42	42 제 41 항에 있어서,상기 습윤 환경은 물, 증류수(distilled water), 탈이온수(deionized water) 또는 IPA(isopropyl alcohol)을 사용하는 것을 특징으로 하는 압전소자 제조 방법
43	43 제 23 항에 있어서,상기 제 4 단계 후,풀림(annealing) 공정을 더 수행하는 것을 특징으로 하는 압전소자 제조 방법
44	44 제 23 항에 있어서,상기 제 4 단계 후,폴링(electrical poling) 공정을 더 수행하는 것을 특징으로 하는 압전소자 제조 방법
45	45 압전소자 제조 방법을 수행하기 위하여 디지털 처리 장치에 의해 실행될 수 있는 명령어들의 프로그램이 유형적으로 구현되어 있고, 상기 디지털 처리 장치에 의해 판독될 수 있는 기록매체에 있어서,상기 압전소자 제조 방법은,압전재료층을 구비하는 단계;상기 압전재료층의 일면에 제 1 전극층을 증착하는 단계; 및상기 압전재료층의 타면에 제 2 전극층을 증착하는 단계;를 포함하되,상기 압전재료층은 PVDF-아조벤젠 폴리머 필름층이고,상기 압전재료층을 구비하는 단계는,PVDF와 아조벤젠을 중합하여 PVDF-아조벤젠 폴리머 용액을 제조하는 제 1 단계;상기 PVDF-아조벤젠 폴리머 용액을 기판 상에 도포하는 제 2 단계;상기 PVDF-아조벤젠 폴리머 용액의 용매를 증발시켜 PVDF-아조벤젠 폴리머 필름을 형성하는 제 3 단계; 및상기 기판을 상기 PVDF-아조벤젠 폴리머 필름으로부터 분리하는 제 4 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기록매체

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2015.03.30	수리 (Accepted)	1-1-2015-0311621-60
2	선행기술조사의뢰서	2015.12.08	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2016.03.01	수리 (Accepted)	9-1-2016-0010321-39
4	의견제출통지서	2016.05.31	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2016-0398404-12
5	[명세서등 보정]보정서	2016.06.02	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2016-0533381-82
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2016.06.02	수리 (Accepted)	1-1-2016-0533395-10
7	의견제출통지서	2016.08.08	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2016-0569529-76
8	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2016.09.19	수리 (Accepted)	1-1-2016-0901310-38
9	[명세서등 보정]보정서	2016.09.19	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2016-0901309-92
10	출원인정보변경(경정)신고서	2017.01.17	수리 (Accepted)	4-1-2017-5009116-18
11	등록결정서	2017.01.23	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2017-0056164-51
12	출원인정보변경(경정)신고서	2019.09.10	수리 (Accepted)	4-1-2019-5191631-69

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