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압력 또는 진동 센서;상기 압력 또는 진동 센서 상에 배치된 베이스층;상기 베이스층 상에 배치되고 제1 주기를 갖는 다수 개의 메인 탄성체 패턴들; 및상기 베이스층 상에 배치되고 상기 제1 주기에 비해 짧은 제2 주기를 갖는 다수 개의 서브 탄성체 패턴들을 구비하는 서브 탄성체 패턴 그룹을 포함하고,상기 탄성체 패턴들의 영률(Young's modulus)은 상기 베이스층의 영률에 비해 크고 상기 베이스층의 변형률이 상기 탄성체 패턴들에 비해 큰 촉각 센서
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제1항에 있어서,상기 베이스층의 영률은 10 kPa ~ 0
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제1항에 있어서,상기 탄성체 패턴들과 상기 베이스층은 PET(Polyethylene terephthalate), PU(Polyurethane), PUA(Polyurethane acrylate), PI(Polyimide), PEN(Polyethylene naphthalate), 에폭시 레진, PDMS(Polydimethylsiloxane), 폴리에스테르, PTFE(Polytetrafluoroethylene), LDPE(Low-density polyethylene), HDPE(High-density polyethylene), 실리콘 고무(silicone rubber), Ecoflex(바스프 사), 폴리프로필렌(Polypropylene), 폴리스티렌(Polystyrene) 또는 이들의 복합체로 이루어진 군에서 선택되는 촉각 센서
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제1항에 있어서,상기 서브 탄성체 그룹은 상기 하나의 메인 탄성체 패턴 상에 배치된 촉각 센서
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제5항에 있어서,상기 서브 탄성체 그룹에 포함된 상기 서브 탄성체 패턴들의 영률은 상기 메인 탄성체 패턴의 영률과 같거나 큰 촉각 센서
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제5항에 있어서,상기 서브 탄성체 그룹에 포함된 상기 서브 탄성체 패턴들과 상기 메인 탄성체 패턴 사이에 배치된 접착층을 더 포함하는 촉각 센서
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제1항에 있어서,상기 서브 탄성체 그룹은 상기 메인 탄성체 패턴들 사이에 배치된 촉각 센서
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제1항에 있어서,상기 메인 탄성체 패턴들과 상기 서브 탄성체 패턴들은 라인 형태를 갖는 촉각 센서
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제9항에 있어서,상기 탄성체 패턴들은 동심원 형태 또는 인간의 지문 형태를 갖는 촉각 센서
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제1항에 있어서,상기 메인 탄성체 패턴들과 상기 서브 탄성체 패턴들 중 적어도 한 종류의 탄성체 패턴들은 아일랜드 형태를 갖는 촉각 센서
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제1항에 있어서,상기 압력 또는 진동 센서는 박막 형태를 갖는 촉각 센서
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제1항에 있어서,상기 탄성체 패턴들과 상기 베이스층 사이에 배치된 접착층을 더 포함하는 촉각 센서
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제1항에 있어서,상기 센서 하부에 위치하는 기판을 더 포함하고,상기 기판은 탄성체인 촉각 센서
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압력 또는 진동 센서, 상기 압력 또는 진동 센서 상에 배치된 베이스층, 상기 베이스층 상에 배치되고 제1 주기를 갖는 다수 개의 메인 탄성체 패턴들, 및 상기 베이스층 상에 배치되고 상기 제1 주기에 비해 짧은 제2 주기를 갖는 다수 개의 서브 탄성체 패턴들을 구비하는 서브 탄성체 패턴 그룹을 포함하는 촉각 센서 상에 대상 물체를 문지르는 단계;상기 촉각 센서의 출력 신호로부터 신호크기-주파수 그래프를 얻는 단계;상기 신호크기-주파수 그래프의 피크들로부터 상기 대상물체의 표면 거칠기 주기에 의한 주파수값을 얻는 단계; 및상기 대상물체의 표면 거칠기 주기에 의한 주파수값을 사용하여 상기 대상물체의 표면 거칠기 주기를 구하는 단계를 포함하는 촉각 센서를 사용하여 대상 물체 표면 특성을 측정하는 방법
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제15항에 있어서,상기 신호크기-주파수 그래프의 피크들로부터 상기 탄성체 패턴의 주기에 의한 주파수값을 더 얻고,상기 대상물체의 표면 거칠기 주기는 상기 탄성체 패턴의 주기에 의한 주파수값 및 상기 대상물체의 표면 거칠기 주기에 의한 주파수값을 사용하여 구하는 촉각 센서를 사용하여 대상 물체 표면 특성을 측정하는 방법
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