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진공 상태를 유지하는 내부관과 저온의 성능 테스트용 유체가 주입되는 외부관을 포함하고, 중이온 빔의 가속 속도를 증가시키는 복수개의 중이온 가속관;상기 복수개의 중이온 가속관을 수납하여 보호하고, 일측면에 연결된 진공 펌프를 통하여 내부를 진공 상태로 형성하는 진공 모듈;상기 복수개의 중이온 가속관에 상기 성능 테스트용 유체를 제공하는 파이프 모듈; 및상기 복수개의 중이온 가속관을 지지하도록 상기 진공 모듈 내부에 설치되는 서포트 모듈;을 포함하고,상기 복수개의 중이온 가속관 각각의 외곽면에 외압으로 인해 발생하는 탄성 변형을 방지하는 튜너가 설치되며, 상기 파이프 모듈은 상기 복수개의 중이온 가속관으로 상기 성능 테스트용 유체를 공급하거나 기화된 성능 테스트용 유체를 배출하는 파이프 라인; 및 상기 파이프 라인에 연결되어 상기 성능 테스트용 유체의 투입 또는 배출을 보충해 주는 리저버;를 포함하고,상기 리저버는 리저버 몸체;상기 리저버 몸체에 형성되어 상기 성능 테스트용 유체를 공급받는 인렛포트;상기 인렛포트와 이격되도록 상기 리저버 몸체에 형성되어 기화된 헬륨을 배출하는 아웃렛포트; 및 상기 리저버 몸체의 내부에서 상기 인렛포트와 상기 아웃렛포트의 경계 부분에 설치되는 배플;을 포함하며,상기 배플은 일측에 상기 리저버 몸체 내를 통과하는 헬륨의 양을 검지하기 위한 레벨 게이지가 설치되고, 상기 리저버 몸체의 내경보다 작은 직경을 갖도록 형성되어 상기 리저버 몸체 일부분이 연통되는 것을 특징으로 하는 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치
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진공 상태를 유지하는 내부관과 저온의 성능 테스트용 유체가 주입되는 외부관을 포함하고, 중이온 빔의 가속 속도를 증가시키는 복수개의 중이온 가속관;상기 복수개의 중이온 가속관을 수납하여 보호하고, 일측면에 연결된 진공 펌프를 통하여 내부를 진공 상태로 형성하는 진공 모듈;상기 복수개의 중이온 가속관에 성능 테스트용 유체를 제공하는 파이프 모듈;상기 복수개의 중이온 가속관을 지지하도록 상기 진공 모듈 내부에 설치되는 서포트 모듈;상기 진공 모듈의 내부에 설치되어 전자파를 차폐하는 마그네틱 쉴드; 및상기 마그네틱 쉴드의 내부에 설치되며, 상기 진공 모듈 내부에 냉매를 순환시켜 상기 진공 모듈 내부의 저온 상태를 활성화하기 위한 써멀 쉴드;를 포함하고,상기 복수개의 중이온 가속관 각각의 외곽면에 외압으로 인해 발생하는 탄성 변형을 방지하는 튜너가 설치되며, 상기 파이프 모듈은 상기 복수개의 중이온 가속관으로 상기 성능 테스트용 유체를 공급하거나 기화된 성능 테스트용 유체를 배출하는 파이프 라인; 및 상기 파이프 라인에 연결되어 상기 성능 테스트용 유체의 투입 또는 배출을 보충해 주는 리저버;를 포함하고,상기 리저버는 리저버 몸체;상기 리저버 몸체에 형성되어 상기 성능 테스트용 유체를 공급받는 인렛포트;상기 인렛포트와 이격되도록 상기 리저버 몸체에 형성되어 기화된 헬륨을 배출하는 아웃렛포트; 및 상기 리저버 몸체의 내부에서 상기 인렛포트와 상기 아웃렛포트의 경계 부분에 설치되는 배플;을 포함하며,상기 배플은 일측에 상기 리저버 몸체 내를 통과하는 헬륨의 양을 검지하기 위한 레벨 게이지가 설치되고, 상기 리저버 몸체의 내경보다 작은 직경을 갖도록 형성되어 상기 리저버 몸체 일부분이 연통되는 것을 특징으로 하는 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 진공 모듈은 상기 진공 펌프에 연결된 일측면에 진공 포트가 형성된 진공 챔버; 및상기 진공 포트와 상기 진공 펌프 사이에 설치되어 상기 진공 펌프로부터 상기 진공 챔버로 전달되는 진동을 제거하는 벨로우즈;를 포함하는 것을 특징으로 하는 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치
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제3항에 있어서,상기 진공 펌프는상기 진공 챔버의 내부를 저압 진공 상태로 형성시키는 제1 진공 펌프; 및상기 복수개의 중이온 가속관의 내부를 진공 상태로 형성시키는 제2 진공 펌프;를 포함하는 것을 특징으로 하는 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 리저버는 공정 진행시 요구되는 설정 온도의 헬륨을 저장하는 메인 리저버; 및 상기 설정 온도에서 벗어난 헬륨을 저장하는 서브 리저버;를 포함하며,상기 메인 리저버와 상기 서브 리저버 사이에 헬륨의 온도를 상기 설정 온도에 맞게 열교환시켜 주는 열 교환기가 설치되는 것을 특징으로 하는 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 서포트 모듈은 상기 복수개의 중이온 가속관 각각을 감싸는 서포트 몸체; 및 상기 서포트 몸체와 상기 진공 모듈을 연결해 주는 서포트 바;를 포함하는 것을 특징으로 하는 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치
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제8항에 있어서,상기 서포트 모듈은 상기 서포트 바에 결합되어 상기 서포트 바의 길이를 조절하는 길이 조절 부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 성능 테스트용 유체는 액체 헬륨인 것을 특징으로 하는 중이온 가속기의 복수개의 반파형 가속관 저온 유지 장치
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