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다수의 단위 셀들을 구비하는 포토다이오드 어레이 상에 형성된 섬광 소자에 있어서,기재 상에 형성된 제 1 형광체를 포함하는 복수의 제1 미세 기둥들; 상기 제1 미세 기둥들의 사이를 메우고, 제2 형광체 및 바인더의 혼합물을 포함하는 제2 미세기둥들;상기 제1 미세 기둥들 및 제2 미세기둥들의 경계면에 위치하는 반사막; 및상기 제1 미세 기둥들 및 제2 미세 기둥들의 상부 표면을 덮는 보호막을 포함하는 엑스선 검출기용 섬광 소자
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제 1 항에 있어서,상기 제1 미세 기둥의 두께는 50 ㎛ 내지 1,000 ㎛인 것인, 엑스선 검출기용 섬광 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 반사막은 금속막, 유기 절연막, 또는 무기 절연막을 포함하는 것인, 엑스선 검출기용 섬광 소자
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제 3 항에 있어서,상기 반사막은 페릴린(parylene), PMMA, 실리카, Al, Cr, Pt, Au, Cu, Ni, V, Ti, Mo, W, Co, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 엑스선 검출기용 섬광 소자
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 형광체는 희유 금속, 희토류 금속, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 금속의 산화물 또는 황산화물을 포함하는 것인, 엑스선 검출기용 섬광 소자
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 형광체는 희유 금속, 희토류 금속, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 금속의 산화물 또는 황산화물을 포함하는 것인, 엑스선 검출기용 섬광 소자
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제 1 항에 있어서,상기 바인더는 폴리디메틸실록산, 폴리비닐아세테이트, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 엑스선 검출기용 섬광 소자
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8
제 1 항에 있어서,상기 보호막은 열경화성 수지, 광경화성 수지, 폴리머 수지, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 것을 포함하는 것인, 엑스선 검출기용 섬광 소자
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제 1 항에 있어서,상기 엑스선 검출기용 섬광 소자에 엑스선을 조사하여 가시광선을 발생시키는 것인, 엑스선 검출기용 섬광 소자
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기재에 제 1 형광체 분체 페이스트를 도포하는 단계;몰드를 이용하여 상기 페이스트를 압인하여 상기 기재 상에 복수의 제1 미세 기둥을 형성하는 단계; 상기 몰드를 탈리하는 단계; 상기 제1 미세 기둥의 표면에 반사막을 형성하는 단계; 상기 제1 미세 기둥 사이의 기재 상에 제 2 형광체 분체 및 바인더의 혼합물을 충진하여 제2 미세 기둥들을 형성하는 단계; 및상기 제1 미세 기둥 및 제2 미세 기둥의 표면 상에 보호막을 형성한 후, 경화시키는 단계를 포함하는, 엑스선 검출기용 섬광 소자의 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 제 1 형광체는 희유 금속, 희토류 금속, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 엑스선 검출기용 섬광 소자의 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 제 2 형광체는 희유 금속, 희토류 금속, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 엑스선 검출기용 섬광 소자의 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 제1 미세 기둥 사이의 기재 상에 상기 제 2 형광체 분체 및 상기 바인더의 혼합물층을 충진한 후, 경화하는 단계를 추가 포함하는, 엑스선 검출기용 섬광 소자의 제조 방법
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제 13 항에 있어서,상기 경화는 40℃ 내지 150℃에서 수행되는 것인, 엑스선 검출기용 섬광 소자의 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 반사막은 금속막, 유기 절연막, 또는 무기 절연막을 포함하는 것인, 엑스선 검출기용 섬광 소자의 제조 방법
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제 15 항에 있어서,상기 반사막은 페릴린(parylene), PMMA, 실리카, Al, Cr, Pt, Au, Cu, Ni, V, Ti, Mo, W, Co, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 엑스선 검출기용 섬광 소자의 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 제1 미세 기둥의 표면에 상기 반사막을 형성하는 것은, 침적, 기상증착, 또는 진공증착에 의해 수행되는 것인, 엑스선 검출기용 섬광 소자의 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 제 1 형광체 분체 및 상기 제 2 형광체 분체의 크기는 0
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제 10 항에 있어서,상기 바인더는 상기 제 2 형광체 분체 및 상기 바인더의 혼합물층의 총 부피에 대하여 1 부피% 내지 10 부피% 포함되는 것인, 엑스선 검출기용 섬광 소자의 제조 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 보호막은 열경화성 수지, 광경화성 수지, 폴리머 수지, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 것을 포함하는 것인, 엑스선 검출기용 섬광 소자의 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 보호막을 경화하는 것은 UV 조사에 의해 수행되는 것인, 엑스선 검출기용 섬광 소자의 제조 방법
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