| 1 |
1
컴퓨터에서 수행되는 플렉서블 다층 박막 내구성 평가 방법으로서, 상기 컴퓨터가, 다층 박막을 구성하는 박막들에 대한 나노 압입 시험(nano-indentation test)에 따른 하중-깊이 곡선을 획득하는 단계; 상기 하중-깊이 곡선의 형상으로부터 각 박막들의 탄성계수들을 산출하는 단계; 상기 다층 박막의 두께 상에서 중립축 위치-탄성계수비 관계를 도출하는 단계;및 상기 도출된 중립축 위치-탄성계수비 관계와, 상기 다층 박막을 구성하는 박막들의 탄성계수들로부터 획득된 탄성계수비 측정값에 따라, 중립축 위치를 결정하는 단계를 포함하고,상기 탄성계수비는 다층 박막 중 하부 박막의 탄성계수에 대한 상부 박막의 탄성계수의 비로 정의되며,탄성계수비의 변화에 따른 변형률 에너지 밀도의 분포와 상기 다층 박막을 구성하는 박막들의 탄성계수들에서 획득된 상기 탄성계수비 측정값에 따라, 상기 다층 박막을 구성하는 박막들의 경계면 위치에서 변형률 에너지 밀도를 추정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 다층 박막 내구성 평가 방법
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서, 상기 각 박막들의 탄성계수들은 다음 수학식에 기초하여 산출되고, 여기서 는 압입 시험(indentation test)으로 산출된 탄성계수(Elastic modulus)이고, π는 원주율, S는 도 3에 나타난 바와 같이 하중 제거 단계에서 나타나는 하중-깊이 곡선의 초기 기울기, Ap는 최대 하중 인가 시의 투영 접촉 면적(Projected Contact Area)인 것을 특징으로 하는 플렉서블 다층 박막 내구성 평가 방법
|
| 3 |
3
청구항 1에 있어서, 상기 중립축 위치는 다음 수학식에 기초하여 산출되고, 여기서 h는 중립축 위치, i는 박막의 순번, yci는 i 번째 박막의 중심면 높이(centroid), Ai는 i 번째 박막의 유효 단면적인 것을 특징으로 하는 플렉서블 다층 박막 내구성 평가 방법
|
| 4 |
4
청구항 1에 있어서, 탄성계수비의 변화에 따른 내부응력의 분포와 상기 다층 박막을 구성하는 박막들의 탄성계수들에서 획득된 상기 탄성계수비 측정값에 따라, 상기 다층 박막을 구성하는 박막들의 경계면 위치에서 내부응력을 추정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 다층 박막 내구성 평가 방법
|
| 5 |
5
청구항 4에 있어서, 탄성계수비와 내부응력 사이의 관계는 다음 수학식에 기초하여 산출되고, 여기서 는 경계면 위치에서 내부응력이고, 와 는 각각 경계면 위치를 사이에 둔 하부 박막과 상부 박막에서 분포하는 내부응력이며, M은 외부에서 인가되는 모멘트이고, IT는 중립축을 기준으로 전체 단면적의 관성 모멘트(moment of inertia)이며, y는 중립축으로부터 거리이고, n은 탄성계수비인 것을 특징으로 하는 플렉서블 다층 박막 내구성 평가 방법
|
| 6 |
6
삭제
|
| 7 |
7
청구항 1에 있어서, 탄성계수비와 변형률 에너지 밀도 사이의 관계는 다음 수학식에 기초하여 산출되고, 여기서 는 다층 박막의 경계면 위치에서 평균 변형률 에너지 밀도이고, 와 는 각각 경계면 위치를 사이에 둔 하부 박막과 상부 박막에서 분포하는 내부응력이며, E1과 E2는 각각 하부 박막과 상부 박막의 탄성계수들이며, n은 탄성계수비(E2/E1)인 것을 특징으로 하는 플렉서블 다층 박막 내구성 평가 방법
|
| 8 |
8
청구항 1에 있어서, 상기 다층 박막을 구성하는 박막들의 경계면 위치 및 상기 중립축 위치에 기초하여 내구성을 수치화하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 다층 박막 내구성 평가 방법
|
| 9 |
9
하드웨어를 이용하여 청구항 1 내지 청구항 5 또는 청구항 7 내지 청구항 8 중 어느 한 청구항에 따른 플렉서블 다층 박막 내구성 평가 방법의 각 단계들을 수행하도록 구성된 프로그램이 기록된 기록 매체
|
| 10 |
10
다층 박막을 구성하는 박막들에 대한 나노 압입 시험에 따른 하중-깊이 곡선을 획득하는 나노 압입 시험 처리부; 상기 하중-깊이 곡선의 형상으로부터 각 박막들의 탄성계수들을 산출하는 탄성계수 산출부; 및 상기 다층 박막의 두께 상에서 중립축 위치-탄성계수비 관계를 도출하고, 상기 도출된 중립축 위치-탄성계수비 관계와, 상기 다층 박막을 구성하는 박막들의 탄성계수들로부터 획득된 탄성계수비 측정값에 따라, 중립축 위치를 결정하는 내구성 평가부를 포함하고,상기 탄성계수비는 다층 박막 중 하부 박막의 탄성계수에 대한 상부 박막의 탄성계수의 비로 정의되며,상기 내구성 평가부는, 탄성계수비의 변화에 따른 변형률 에너지 밀도의 분포와 상기 다층 박막을 구성하는 박막들의 탄성계수들에서 획득된 상기 탄성계수비 측정값에 따라, 상기 다층 박막을 구성하는 박막들의 경계면 위치에서 변형률 에너지 밀도를 추정하도록 동작하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 다층 박막 내구성 평가 장치
|
| 11 |
11
청구항 10에 있어서, 상기 내구성 평가부는,탄성계수비의 변화에 따른 내부응력의 분포와 상기 다층 박막을 구성하는 박막들의 탄성계수들에서 획득된 상기 탄성계수비 측정값에 따라, 상기 다층 박막을 구성하는 박막들의 경계면 위치에서 내부응력을 추정하도록 동작하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 다층 박막 내구성 평가 장치
|
| 12 |
12
삭제
|
| 13 |
13
청구항 10에 있어서, 상기 내구성 평가부는상기 다층 박막을 구성하는 박막들의 경계면 위치 및 상기 중립축 위치에 기초하여 내구성을 수치화하도록 동작하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 다층 박막 내구성 평가 장치
|
