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(1) 투과전자현미경(Transmission Electron Microscope, TEM)을 이용하여 나노 입자의 레퍼런스 크기(reference size, dr)를 측정하는 단계;(2) 단일입자 유도결합 플라즈마 질량분석기(Single Particle Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer, sp-ICP-MS)를 통해 직접적인 피크변환 방법(direct peak conversion method)으로 상기 (1) 단계에서 측정한 나노 입자의 샘플 크기(sample size, ds)를 측정하는 단계; 및(3) 근사법(approximation method)을 이용하여 상기 dr 및 ds가 dr= ds인 나노 입자 크기 조건에서의 나노 입자 밀도를 계산하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 입자의 밀도 분석 방법
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청구항 1에 있어서,상기 dr= ds 인 나노 입자 크기는 20 내지 100 nm인 것을 특징으로 하는 나노 입자의 밀도 분석 방법
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청구항 1에 있어서,상기 직접적인 피크변환 방법(direct peak conversion method)은 농도가 1
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청구항 1에 있어서,상기 직접적인 피크변환 방법(direct peak conversion method)은 시간 분해 스펙트럼(time-resolved spectrum)으로부터 입도 분포(Particle Size Distribution
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청구항 1에 있어서,상기 단일입자 유도결합 플라즈마 질량분석기(Single Particle Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer, sp-ICP-MS)를 이용한 입자의 샘플 크기(sample size, ds)를 측정하는 단계에 선행하여 시스템 파라미터(system parameter)로서 분무(nebulization) 효율, 운송(transportation) 효율 및 변환(conversion) 효율을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 입자의 밀도 분석 방법
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청구항 1에 있어서,상기 나노 입자의 샘플 크기 ds는 하기 수학식 1을 통해 얻는 것을 특징으로 하는 나노 입자의 밀도 분석 방법:003c#수학식 1003e#상기 수학식 1에서 Cm은 원소의 질량 농도(elemental mass concentration), ρ는 나노 입자의 밀도(density of nanoparticles), Nnp는 입자수 농도(particle number concentration)이다
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청구항 5에 있어서, 상기 시스템 파라미터(system parameter)로서 분무(nebulization) 효율, 운송(transportation) 효율, 변환(conversion) 효율과 나노 입자의 크기(ds) 또는 밀도(ρ)의 관계식은 하기 수학식 3으로 표현되는 것을 특징으로 하는 나노 입자의 밀도 분석 방법:003c#수학식 3003e#상기 수학식 3에서 ρ는 입자의 밀도, R은 피크의 통합 수 (integrated counts, counts per sec), Kneb은 분무 효율, Ktrp은 운송 효율, Kconv은 변환 효율, ds는 나노 입자의 직경, Nnp는 입자수 농도이다
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청구항 1에 있어서,상기 (2) 단계의 근사법(approximation method)은 lds-drl =0 일 때까지 반복된 근사 추정을 통해 밀도(ρ)를 측정하는 것을 특징으로 하는 나노 입자의 밀도 분석 방법
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청구항 1의 나노 입자의 밀도 분석 방법을 이용하는 나노 입자의 밀도 분석 장치
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청구항 9에 있어서,상기 나노 입자의 밀도 분석 장치는 실시간(on-line)으로 밀도 측정이 가능한 것을 특징으로 하는 나노 입자의 밀도 분석 장치
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