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가열상태의 회전하는 드럼에 권선된 금속기판-완충층의 표면에 증착되는 초전도층을 포함하는 초전도 다층박막 제조방법에 있어서,상기 초전도층은,상기 드럼에 자속고정물질 및 초전도물질을 증착하여 제1자속고정점을 포함하는 제1초전도층을 형성하는 단계와;상기 드럼의 온도 및 회전속도를 증가시켜 상기 드럼에 자속고정물질 및 초전도물질을 증착하여 제2자속고정점을 포함하는 제2초전도층을 형성하는 단계를 포함하며,상기 제1자속고정점은 점 형상의 0차원자속고정점(Point pinning center)이고, 상기 제2자속고정점은 기둥 형상의 1차원자속고정점(Columnar pinning center)인 것을 특징으로 하는 초전도 다층박막 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제1초전도층을 형성하는 단계 및 상기 제2초전도층을 형성하는 단계는,듀얼챔버를 이용한 동시증발법(Evaporation using drum in dual chamber, EDDC)을 사용하는 자속고정점 형성장치를 통해 형성되는 것을 특징으로 하는 초전도 다층박막 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제1초전도층을 형성하는 단계에서 상기 드럼은 500 내지 750℃로 가열되며,상기 제2초전도층을 형성하는 단계에서 상기 드럼은 800 내지 900℃로 승온되는 것을 특징으로 하는 초전도 다층박막 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제1초전도층을 형성하는 단계에서 상기 드럼은 10 내지 90RPM으로 회전하며,상기 제2초전도층을 형성하는 단계에서 상기 드럼은 100 내지 200RPM으로 회전하는 것을 특징으로 하는 초전도 다층박막 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제1초전도층 및 상기 제2초전도층은 각각 복수 개로 이루어지며,복수의 상기 제1초전도층 및 상기 제2초전도층은 교대로 적층되는 것을 특징으로 하는 초전도 다층박막 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제1초전도층 및 상기 제2초전도층은 각각 0
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제 1항에 있어서,상기 자속고정물질은 스퍼터링(Sputtering)에 의해 증착되며,상기 초전도물질은 증발(Evaporation)에 의해 증착되는 것을 특징으로 하는 초전도 다층박막 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 자속고정물질은,바륨하프늄옥사이드하프늄(BaHfO3), 바륨진크옥사이드(BaSnO3), 지르코늄(Zr), 바륨지르코네이트(BaZrO3), 산화마그네슘(MgO) 및이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 특징으로 하는 초전도 다층박막 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 초전도물질은,희토류원소-바륨-구리-산소(RE-Ba-Cu-O) 계를 사용하며,상기 희토류원소(RE)는 이트륨(Y), 사마륨(Sm), 가돌리늄(Gd), 카드뮴(Cd), 네오디뮴(Nd), 홀뮴(Ho) 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 특징으로 하는 초전도 다층박막 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 제1초전도층은 상기 초전도물질 100원자수에 대하여 상기 제1자속고정점이 1 내지 20원자수로 포함되며,상기 제2초전도층은 상기 초전도물질 100원자수에 대하여 상기 제2자속고정점이 1 내지 20원자수로 포함되는 것을 특징으로 하는 초전도 다층박막 제조방법
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금속기판-완충층-초전도층을 포함하는 초전도 다층박막에 있어서,상기 초전도층은,점 형상의 0차원자속고정점(Point pinning center)을 가지는 제1초전도층과;기둥 형상의 1차원자속고정점(Columnar pinning center)을 가지는 제2초전도층을 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도 다층박막
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