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스테이지부에 장착된 피검사체에 대하여 동축조명을 수행하는 동축조명부, 상기 피검사체를 중심으로 회동 가능하게 장착되어 상기 피검사체에 경사조명을 수행하는 경사조명부, 피검사체의 촬영부와 대향하는 반대측면을 조사하는 후방조명부 또는 상부에 돔개구부가 형성된 돔의 내부에서 피검사체에 돔조명을 수행하는 돔조명부 중 하나 이상을 포함하는 조명부;상기 피검사체를 중심으로 회전 가능하게 장착되어 상기 조명부에 의해 조사된 하이브리드 조명에 의한 하이브리드조명표면검사를 위해 상기 피검사체를 촬영하는 촬영부; 및상기 피검사체에 대한 하이브리드조명표면검사를 제어하는 표면검사장치제어부;를 포함하여 구성되는 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 표면검사장치제어부는 상기 동축조명부 또는 경사조명부에 의해 상기 피검사체에 조명광이 조사된 후 상기 피검사체에서 반사된 조명광이 상기 촬영부에 직접 입사되도록 상기 조명부와 상기 촬영부의 위치를 조절하여 상기 피검사체의 표면을 촬영한 후, 촬영된 표면 영상을 분석하여 상기 피검사체의 표면을 검사하는 명시야조명검사;를 수행하도록 구성되는 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 표면검사장치제어부는,상기 동축조명부 또는 경사조명부에 의해 상기 피검사체에 조사된 후 반사된 조명광의 영역 밖에서 상기 피검사체를 촬영한 후, 촬영된 표면 영상을 분석하여 피검사체의 표면을 검사하는 암시야조명검사;를 수행하도록 구성되는 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 표면검사장치제어부는,상기 경사조명부에 의해 상기 피검사체를 중심으로 대칭을 이루는 경사 방향의 다수의 경사조명광이 조사된 후, 피검사체에서 반사된 조명광이 상기 피검사체의 검사 대상면에 대향하여 배치되는 상기 촬영부에 직접 입사되도록 상기 경사조명부와 상기 촬영부의 위치를 조절하여 상기 피검사체의 표면을 촬영한 후, 촬영된 표면 영상을 분석하여 상기 피검사체의 표면을 검사하는 경사전방조명검사;를 수행하도록 구성되는 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 표면검사장치제어부는,상기 경사조명부에 의해 상기 피검사체에 경사 방향의 조명광이 조사된 후, 피검사체에서 반사된 조명광이 상기 피검사체의 검사 대상면에 대향하여 배치되는 상기 촬영부에 직접 입사되도록 상기 경사조명부와 상기 촬영부의 위치를 조절하여 상기 피검사체의 표면을 촬영한 후, 촬영된 표면 영상을 분석하여 상기 피검사체의 표면을 검사하는 방향성전방조명검사;를 수행하도록 구성되는 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 표면검사장치제어부는,상기 돔조명부에 의해 상기 피검사체에 조명광이 조사된 후, 피검사체에서 반사된 조명광이 상기 피검사체의 검사 대상면에 대향하여 배치되는 상기 촬영부에 직접 입사되도록 상기 촬영부의 위치를 조절하여 상기 피검사체의 표면을 촬영한 후, 촬영된 표면 영상을 분석하여 상기 피검사체의 표면을 검사하는 돔조명검사;를 수행하도록 구성되는 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치
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7
청구항 1에 있어서, 상기 표면검사장치제어부는,상기 동축조명부에 의한 조명광이 하프미러에 의해 상기 피검사체에 조사된 후, 피검사체에서 반사된 조명광이 상기 촬영부에 직접 입사되도록 상기 동축조명부에 의한 조명과 상기 촬영부로 입사되는 반사광이 동일한 축에 위치되도록 하여 상기 피검사체의 표면을 촬영한 후, 촬영된 표면 영상을 분석하여 상기 피검사체의 표면을 검사하는 동축조명검사;를 수행하도록 구성되는 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치
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8
청구항 1에 있어서, 상기 표면검사장치제어부는,상기 후방조명부에 의해 상기 피검사체의 배면에서 조명광이 조사된 후, 피검사체를 투과한 조명광이 상기 촬영부에 입사되도록 상기 후방조명부와 상기 촬영부의 위치를 조절하여 상기 피검사체의 표면을 촬영한 후, 촬영된 표면 영상을 분석하여 상기 피검사체의 표면을 검사하는 후방조명검사;를 수행하도록 구성되는 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 표면검사장치제어부는,상기 경사조명부의 하나 이상의 경사조명광원에 의해 상기 피검사체에 대하여 경사 방향으로 확산되는 조명광이 조사된 후, 상기 촬영부가 상기 피검사체를 촬영하도록 상기 경사조명부와 상기 촬영부의 위치를 조절하여 상기 피검사체의 표면을 촬영한 후, 촬영된 표면 영상을 분석하여 상기 피검사체의 표면을 검사하는 확산전방조명검사;를 수행하도록 구성되는 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치
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10
청구항 1에 있어서, 상기 표면검사장치제어부는,상기 경사조명부는 레이저 또는 광섬유에 의한 선조명을 수행하도록 구성되어, 상기 피검사체에 선 조명의 조명광을 조사하면서 상기 피검사체를 촬영한 후, 촬영된 표면 영상을 분석하여 상기 피검사체의 3차원 특성을 검사하는 구조조명검사;를 수행하도록 구성되는 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치
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11
청구항 1에 있어서, 상기 동축조명부는,상기 피검사체의 검사를 위한 동축조명광을 조사하는 동축조명광원; 및상기 동축조명광원의 빛을 상기 피검사체의 검사 대상면으로 반사시킨 후, 상기 피검사체에서 반사된 동축조명광이 상기 촬영부로 입사되도록 투과시키는 하프미러;를 포함하여 구성되는 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치
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12
청구항 1에 있어서, 상기 경사조명부는상기 피검사체의 검사 대상 표면에 대하여 경상 방향의 경사조명을 수행하는 하나 이상의 경사조명광원;상기 각각의 경사조명광원을 상기 피검사체를 중심으로 회전시키도록 지지하는 하나 이상의 경사조명광원지지대; 및 상기 각각의 경사조명광원을 상기 피검사체를 중심으로 회전시키도록 상기 경사조명광원지지대를 회전시키는 경사조명광원지지대회전기;를 포함하여 구성되는 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치
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13
청구항 1에 있어서, 상기 돔조명부는,상부에 돔개구부가 형성된 돔; 및상기 돔의 내측면에서 상기 피검사체에 돔조명을 수행하도록 방사상으로 배치되는 다수의 돔조명광원;을 포함하여 구성되는 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치
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14
청구항 1에 있어서, 상기 촬영부는,상기 피검사체를 촬영하는 카메라;상기 카메라를 상기 피검사체를 중심으로 회전시키고, 상기 피검사체와의 거리 조절 가능하게 이송시키도록 상기 카메라를 지지하는 카메라이송지지대; 및상기 카메라이송지지대를 회전 가능하게 지지하며 회전시키는 카메라이송지지대회전기;를 포함하여 구성되는 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치
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15
청구항 1에 있어서, 상기 촬영부의 아날로그 촬영 신호를 디지털로 변환하여 상기 표면검사장치제어부로 전송하도록 상기 촬영부와 상기 표면검사장치제어부 사이에서 촬영된 영상데이터의 송신을 매개하는 프레임그래버;를 더 포함하여 구성되는 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 스테이지부는,상기 피검사체를 고정시키는 피검사체홀더; 및상기 피검사체홀더를 지지하며 피검사체의 위치를 이동시키도록 위치 이동되는 스테이지;를 포함하여 구성되는 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 스테이지부에 장착된 상기 피검사체를 검사 위치에 위치되도록 상기 스테이지부의 구동을 제어하는 스테이지제어부;를 더 포함하여 구성되는 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치
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