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표면기능화를 이용한 초박막 연속 금속 박막의 제조방법(MANUFACTURING METHOD OF ULTRATHIN CONTINUOUS METAL FILM USING SURFACE FUNCTIONALIZATION)

  • 기술번호 : KST2016018462
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 금속 코팅층 형성 방법은 증착 억제제(deposition inhibitor)를 사용하여 이미 기판상에 증착된 금속 표면에 추가적인 금속의 증착을 억제하고 금속이 증착되어 있지 않은 기판 표면으로 금속의 증착을 유도함으로써, 균일하면서도 얇은 두께를 지닌 백금 코팅층을 형성할 수 있다.
Int. CL C23C 16/04 (2006.01.01) C23C 16/06 (2006.01.01) C23C 16/02 (2006.01.01) C23C 16/455 (2006.01.01)
CPC C23C 16/04(2013.01) C23C 16/04(2013.01) C23C 16/04(2013.01) C23C 16/04(2013.01)
출원번호/일자 1020150053357 (2015.04.15)
출원인 인천대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1672984-0000 (2016.10.31)
공개번호/일자 10-2016-0123165 (2016.10.25) 문서열기
공고번호/일자 (20161104) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.04.15)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인천대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 연수구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이한보람 대한민국 서울특별시 강서구
2 김현구 대한민국 인천광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 남앤남 대한민국 서울특별시 중구 서소문로 ** (서소문동, 정안빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인천대학교 산학협력단 인천광역시 연수구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2015-0368315-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.10.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.12.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0079184-85
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.02.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0116292-48
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.04.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0370334-12
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.04.18 수리 (Accepted) 1-1-2016-0370342-88
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.06.10 수리 (Accepted) 4-1-2016-5075573-17
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.08.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0552788-97
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.09.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0940522-69
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-0940521-13
11 등록결정서
Decision to grant
2016.10.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0773721-11
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.14 수리 (Accepted) 4-1-2019-5212872-93
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번호 청구항
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기판상에 금속 전구체를 공급하는 단계;남아있는 금속 전구체를 퍼징(purging)하는 단계;반응가스를 공급하여 금속 전구체와 반응시키는 단계;남아있는 반응물을 퍼징하는 단계; 및증착 억제제로서 1-옥탄티올을 공급하는 단계를 포함하고,상기 1-옥탄티올은 머리 부분의 티올그룹이 금속 표면에만 선택적으로 결합하고 1-옥탄티올 말단의 메틸 그룹에 의해 금속 표면이 화학적으로 비활성화 되어, 금속핵이 기판 상의 1-옥탄티올로 코팅된 금속 표면 위가 아닌 기판상의 금속이 증착되지 않은 부분으로 증착되는 것을 특징으로 하는,원자층 증착법을 이용한 금속 코팅층의 형성 방법
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제 6항에 있어서,상기 금속 전구체가 백금(Pt), 금(Au), 은(Ag), 루테늄(Ru), 이리듐(Ir) 또는 이들의 하나 이상의 조합을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
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10 10
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12 12
제 6항에 있어서,상기 반응가스가 O2를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 코팅층의 형성 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (중소기업청) 인천대학교 도약기술개발사업 상용화 고품위 Pt/C 촉매전극 개발을 위한 원자층 증착법 공정 및 장비 개발