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산화물 박막 리페어 방법 및 산화물 박막 소자(METHOD FOR REPARING OF OXIDE THIN FILM AND OXIDE THIN FILM DEVICE)

  • 기술번호 : KST2016018468
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 산화물 박막 리페어 방법 및 산화물 박막 소자에 관한 것으로, 본 발명의 일 실시 예에 따른 산화물 박막 리페어 방법은, 산화물 박막의 결함 부분에 산화물을 포함하는 리페어링 물질을 형성하여 상기 산화물 박막을 리페어하는 단계;를 포함할 수 있다.
Int. CL H01L 29/786 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC H01L 21/02381(2013.01) H01L 21/02381(2013.01) H01L 21/02381(2013.01) H01L 21/02381(2013.01) H01L 21/02381(2013.01) H01L 21/02381(2013.01) H01L 21/02381(2013.01) H01L 21/02381(2013.01) H01L 21/02381(2013.01) H01L 21/02381(2013.01) H01L 21/02381(2013.01) H01L 21/02381(2013.01)
출원번호/일자 1020150052497 (2015.04.14)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0122902 (2016.10.25) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.04.14)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김현재 대한민국 서울특별시 송파구
2 탁영준 대한민국 서울특별시 서대문구
3 김시준 대한민국 서울특별시 노원구
4 윤석현 대한민국 서울특별시 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소)
2 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-0363039-59
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.09.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.10.08 수리 (Accepted) 9-1-2015-0064272-54
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0207523-13
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.05.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0485816-81
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2016-0485809-61
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0704824-19
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2016-1147679-17
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.11.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1147680-53
10 등록결정서
Decision to grant		 2017.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0203612-19
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번호 청구항
1 1
산화물 박막의 결함 부분에 산화물을 포함하는 리페어링 물질을 형성하여 상기 산화물 박막을 리페어하는 단계;를 포함하고,상기 산화물 박막을 리페어하는 단계는,상기 리페어링 물질을 포함하는 리페어 용액을 상기 결함 부분에 형성하는 단계를 포함하며,상기 리페어 용액은 인듐 전구체, 아연 전구체, 갈륨 전구체 및 주석 전구체 중 적어도 하나를 용매에 녹여 제조된 산화물 박막 리페어 방법
2 2
제1 항에 있어서,상기 산화물 박막을 리페어하는 단계는,상기 결함 부분 중의 돌출 부분을 제거하여 상기 결함 부분을 평탄화하는 단계; 및상기 평탄화된 결함 부분에 상기 리페어링 물질을 형성하는 단계를 포함하는 산화물 박막 리페어 방법
3 3
제1 항에 있어서,상기 산화물 박막을 리페어하는 단계는,상기 결함 부분에 제1 산화물을 포함하는 리페어 용액을 주입하여 제1 리페어링 물질을 형성하는 단계; 및상기 제1 리페어링 물질이 형성된 상기 결함 부분에 제2 산화물을 포함하는 제2 리페어링 물질을 증착하여 상기 산화물 박막을 리페어하는 단계를 포함하는 산화물 박막 리페어 방법
4 4
제1 항에 있어서,상기 산화물 박막을 리페어하는 단계는,상기 결함 부분에 제1 산화물을 포함하는 제1 리페어링 물질을 증착하는 단계; 및상기 제1 리페어링 물질이 증착된 상기 결함 부분에 제2 산화물을 포함하는 리페어 용액을 주입하여 제2 리페어링 물질을 형성하는 단계를 포함하는 산화물 박막 리페어 방법
5 5
제1 항에 있어서,상기 산화물 박막을 리페어하는 단계는,상기 산화물 박막의 결함 부분에 상기 리페어링 물질을 형성하여 리페어층을 형성하는 단계; 및상기 리페어층의 표면을 가공하여 상기 리페어층의 표면을 상기 산화물 박막의 표면 높이와 일치시키는 단계를 포함하는 산화물 박막 리페어 방법
6 6
산화물 박막의 결함 부분에 산화물을 포함하는 리페어링 물질을 형성하여 상기 산화물 박막을 리페어하는 단계를 포함하고,상기 산화물 박막을 리페어하는 단계는,상기 결함 부분의 형상에 대응하는 패턴의 개구부를 갖는 차단필름을 상기 산화물 박막 상에 배치시키는 단계; 및상기 개구부를 통해 상기 결함 부분에 상기 리페어링 물질을 형성하는 단계를 포함하는 산화물 박막 리페어 방법
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
제1 항에 있어서,상기 리페어 용액은,상기 결함 부분의 두께에 따라 상기 리페어 용액의 몰 농도를 조절하여 제조된 산화물 박막 리페어 방법
10 10
제1 항에 있어서,상기 산화물 박막을 리페어하는 단계는,스핀 코팅, 잉크젯 프린팅, 스프레이 코팅 또는 딥코팅 공정에 의해 상기 리페어 용액을 상기 결함 부분에 도포하는 단계;를 포함하는 산화물 박막 리페어 방법
11 11
삭제
12 12
삭제
13 13
삭제
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1 US09978592 US 미국 FAMILY
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1 US2016308034 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US9978592 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 연세대학교 산학협력단 중견연구자지원사업 Printed Lab-on-a-Flex (LOF) 구현을 위한 all-in-one 무기 인쇄 소재 개발