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적어도 하나 이상의 가열부를 갖는 지지부;상기 지지부 상에 위치되고, 그 내부에 오일을 담는 오일 챔버;시료가 로딩되는 반응 공간을 갖고, 상기 반응 공간이 상기 오일에 잠기도록 제공되는 시료 챔버; 그리고상기 시료 챔버를 상기 오일 내에서 움직이도록 하는 구동부를 포함하되,상기 시료 챔버는, 상기 시료 챔버의 온도를 측정하는 온도 센서를 포함하는 마이크로 가열 장치
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제 1 항에 있어서,상기 마이크로 가열 장치는, 상기 시료 챔버 및 상기 구동부를 제어하는 제어부를 더 포함하고,상기 제어부는, 상기 시료 챔버를 상기 오일 챔버를 따라 이동시키고, 상기 온도 센서의 측정 온도가 기설정된 설정 온도에 도달하면 상기 시료 챔버를 정지시키도록 상기 구동부를 제어하는 마이크로 가열 장치
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제 2 항에 있어서,상기 제어부는, 상기 시료 챔버를 정지시킨 후 설정 시간이 지나면, 상기 시료 챔버를 다시 상기 오일 챔버를 따라 이동시키도록 상기 구동부를 제어하는 마이크로 가열 장치
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제 3 항에 있어서,상기 오일 챔버는 상기 가열부 상에 링 형상으로 제공되는 마이크로 가열 장치
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제 4 항에 있어서,상기 적어도 하나 이상의 가열부는 복수 개로 제공되고,상기 복수 개의 상기 가열부는 상기 링 형상을 따라 배치되는 마이크로 가열 장치
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제 5 항에 있어서,상기 구동부는:상기 시료 챔버를 지지하는 홀더부; 상기 홀더부를 움직이는 모터; 그리고상기 모터가 상기 오일 챔버를 따라 움직이도록 가이드하는 가이드 레일을 포함하는 마이크로 가열 장치
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제 6 항에 있어서,상기 오일 챔버는 제 1 반경을 갖고, 상기 가이드 레일은 상기 오일 챔버와 동일한 중심을 갖고 상기 제 1 반경보다 큰 제 2 반경을 갖는 링 형상으로 제공되는 마이크로 가열 장치
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제 6 항에 있어서,상기 가이드 레일은 상기 오일 챔버의 외측면을 따라 형성된 마이크로 가열 장치
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제 8 항에 있어서,상기 반응 공간의 표면은 소수성 처리된 마이크로 가열 장치
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제 9 항에 있어서,상기 온도 센서는 금속, 금속 화합물 열전대, 그리고 금속 산화물 중 적어도 어느 하나를 포함하는 마이크로 가열 장치
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제 10 항에 있어서,상기 반응 공간은 상기 기판에 형성되고, 상기 시료 챔버는 상기 반응 공간의 상부를 덮는 덮개를 더 포함하는 마이크로 가열 장치
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제 2 항에 있어서,상기 제어부는, 상기 시료 챔버를 정지시킨 후 상기 측정 온도가 상기 설정 온도를 벗어나면, 상기 시료 챔버를 다시 상기 오일 챔버를 따라 이동시키도록 상기 구동부를 제어하는 마이크로 가열 장치
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