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챔버 내에 형성된 기재가 로딩되는 로딩부;상기 로딩부 하단에 위치하고, 측정 물질을 주입하는 가스 유입부;상기 로딩부 상단에 위치하고, 상기 기재를 투과한 상기 측정 물질의 투과도를 측정하는 가스 검출부를 포함하는, 수분 투과도의 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 측정 물질은 삼중 수소, 이중 수소, 물, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 수분 투과도의 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 로딩부는 조립식 홀더를 포함하는 것인, 수분 투과도의 측정 장치
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제 3 항에 있어서,상기 조립식 홀더는 고정 볼트를 포함하는 상부 고정 유닛 및 하부 고정 유닛을 포함하고, 상기 고정 볼트에 의해 상기 상부 고정 유닛 및 상기 하부 고정 유닛이 고정되는 것인, 수분 투과도의 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 챔버의 내부 또는 외부에 가열부를 추가 포함하는 것인, 수분 투과도의 측정 장치
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제 5 항에 있어서,상기 가열부에 의해 상기 챔버의 온도가 100℃ 이하의 온도로서 가열되는 것인, 수분 투과도의 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 챔버의 일 측면에 전처리 챔버를 추가 포함하는 것인, 수분 투과도의 측정 장치
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제 7 항에 있어서,상기 전처리 챔버는 펌프; 및,상기 전처리 챔버의 내부 또는 외부에 배치된 전처리 챔버 가열부를 포함하며,상기 전처리 챔버는 상기 챔버와 게이트 밸브에 의해 연결된 것인, 수분 투과도의 측정 장치
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챔버 내 조립식 홀더에 의해 기재를 로딩부에 로딩하는 단계;가스유입부에 측정 물질을 포함하는 물 분자를 유입시켜 상기 기재에 투과시키는 단계; 및,상기 기재를 투과한 측정 물질을 포함하는 물 분자의 수분 투과도를 가스 검출부에 의해 측정하는 단계를 포함하는, 수분 투과도의 측정 방법
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10
제 9 항에 있어서,상기 측정 물질은 삼중 수소, 이중 수소, 물, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 수분 투과도의 측정 방법
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제 9 항에 있어서,상기 조립식 홀더는 고정 볼트를 포함하는 상부 고정 유닛 및 하부 고정 유닛을 포함하고, 상기 고정 볼트에 의해 상기 상부 고정 유닛 및 상기 하부 고정 유닛이 고정되는 것인, 수분 투과도의 측정 방법
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제 9 항에 있어서, 상기 기재를 로딩한 후 가열부에 의해 상기 챔버를 가열하는 단계를 추가 포함하는 것인, 수분 투과도의 측정 방법
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제 9 항에 있어서,상기 기재는 상기 기재를 상기 로딩부에 로딩하는 단계 전에 수분을 제거하는 것 또는 상기 수분 투과도 측정 후 방사능 물질을 제거하는 것을 추가 포함하는 것인, 수분 투과도의 측정 방법
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