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대면적 고밀도 플라즈마 발생방법(Method of generating large area and high density plasma)

  • 기술번호 : KST2016018602
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 대면적 플라즈마 발생에 있어서 매우 넓고 두꺼운 유전체 윈도우의 사용을 회피하고 균일한 대면적 플라즈마를 얻는 방법을 제공하기 위한 것으로서, (a) 챔버의 상부로부터 전력이 투입되어 플라즈마를 발생시킴에 있어서 분리되어 있는 2개 이상의 유전체를 사용하는 단계와, (b) 상기 분리된 유전체를 통해 라디오 주파수의 전력과 초고주파 전력을 공간적으로 분리하여 전력을 투입하는 단계를 포함하여 이루어지는데 있다.
Int. CL H05H 1/46 (2006.01) H05H 1/24 (2006.01) H01J 37/32 (2006.01)
CPC H05H 1/2406(2013.01) H05H 1/2406(2013.01) H05H 1/2406(2013.01) H05H 1/2406(2013.01)
출원번호/일자 1020150055994 (2015.04.21)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0125164 (2016.10.31) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이호준 대한민국 부산시 금정구
2 한문기 대한민국 경상남도 김해시 함박로 **
3 손의정 대한민국 부산광역시 북구
4 서권상 대한민국 부산광역시 금정구
5 차주홍 대한민국 부산광역시 동래구
6 윤용수 대한민국 부산광역시 금정구
7 위성석 대한민국 부산광역시 영도구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정기택 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
2 오위환 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
3 나성곤 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.04.21 수리 (Accepted) 1-1-2015-0387043-94
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 챔버의 상부로부터 전력이 투입되어 플라즈마를 발생시킴에 있어서 분리되어 있는 2개 이상의 유전체를 사용하는 단계와,(b) 상기 분리된 유전체를 통해 라디오 주파수의 전력과 초고주파 전력을 공간적으로 분리하여 전력을 투입하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대면적 고밀도 플라즈마 발생방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 챔버의 중심부로는 유도결합플라즈마(ICP, Inductively Coupled Plasma)의 형태를 가지며, 챔버의 상부 주변부로는 초고주파 플라즈마(MWP, Microwave Plasma)의 형태를 가지는 플라즈마 장비 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 대면적 고밀도 플라즈마 발생방법
3 3
제 2 항에 있어서,상기 ICP 및 MWP 전력을 동시에 투입하거나, 시간적으로 완전히 분리하여 투입하거나, 일부 기간은 동시에, 일부 기간은 분리되어 투입하는 것을 특징으로 하는 대면적 고밀도 플라즈마 발생방법
4 4
챔버의 상단부로부터 전력을 공급하는 형태에 있어서, (A) 전력의 투입영역을 주변부와 중심부로 분리하는 단계와,(B) 중심부에는 수 ~ 수십 MHz의 라디오 주파수를 인가하여 플라즈마와 자기장으로 전력을 결합하는 단계와,(C) 주변부에는 수 GHz의 초고주파 전력을 투입하여 플라즈마를 발생키는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대면적 고밀도 플라즈마 발생방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 부산대학교 산학협력단 지역혁신인력양성사업 고전압전원 기반 산업용 플라즈마 응용시스템 개발 및 플라즈마 모듈 설계 엔지니어 양성