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바닥판과 측벽을 구비하여 상부가 개방된 통 형상으로 형성되는 수용조 본체와 상기 바닥판으로부터 상부로 연장되면서 상기 측벽으로부터 상기 수용조 본체의 중심을 지나도록 연장되며 말단부가 상기 측벽의 내면과 이격되는 중앙 차단벽을 구비하며 고체 소스가 소정 높이로 충진되는 수용조와,상기 중앙 차단벽의 일측에 대응되는 위치에 형성되는 유입홀과 상기 중앙 차단벽의 타측에 대응되는 위치에 형성되는 유출홀을 구비하며 상기 수용조의 상부에 결합되는 상부 커버와,상기 유입홀을 관통하여 상기 수용조의 내부로 유입되어 형성되며, 캐리어 가스를 상기 수용조 내부로 유입시키는 유입관과,상기 유출홀을 관통하여 상기 수용조의 내부로 유입되어 형성되며, 상기 고체 소스로부터 증발되어 형성되는 기체 소스와 상기 캐리어 가스를 상기 수용조의 외부로 유출시키는 유출관과,상기 수용조의 상기 고체 소스가 충진되는 영역의 평면 형상에 대응되는 형상의 판상이고, 스테인레스 스틸 또는 스테인레스 스틸의 표면에 테프론이 코팅되어 형성되며, 상기 고체 소스가 증발함에 따라 자중에 의하여 하강하면서 상기 고체 소스의 상부면과 접촉된 상태를 유지하여 상기 고체 소스와 승강판의 하면 사이에 상기 캐리어 가스가 흐르는 공간을 형성하지 않는 승강판 및상기 수용조 외부를 감싸며, 상기 고체 소스를 가열하는 가열 수단을 포함하며,상기 승강판은 상기 유입홀에 대응되는 위치에 형성되는 승강판 유입홀과 상기 유출홀에 대응되는 위치에 형성되는 승강판 유출홀을 포함하며,상기 유입관은 상기 승강판 유입홀을 관통하여 상기 수용조의 내부로 유입되며, 단부가 항상 상기 고체 소스에 잠기도록 상기 바닥판의 상면으로부터 소정 높이까지 연장되어 형성되며,상기 유출관은 상기 승강판 유출홀을 관통하여 상기 수용조의 내부로 유입되며, 단부가 항상 상기 고체 소스에 잠기도록 상기 바닥판의 상면으로부터 소정 높이까지 연장되어 형성되는 것을 특징으로 하는 하드코팅 형성 장치용 증발기
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제 1 항에 있어서,상기 수용조는 상기 중앙 차단벽의 양측에서 상기 중앙 차단벽과 상기 측벽 사이로 상기 측벽으로부터 중앙 차단벽의 연장 방향과 반대 방향으로 상기 유입관과 유출관을 연결하는 직선을 지나도록 연장되며, 말단부가 상기 측벽과 이격되는 중간 차단벽을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 하드코팅 형성 장치용 증발기
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제 2 항에 있어서,상기 중간 차단벽은 중앙 차단벽과 평행하게 연장되어 형성되는 것을 특징으로 하는 하드코팅 형성 장치용 증발기
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제 2 항에 있어서,상기 중간 차단벽은 상기 측벽의 내면과 대향하는 면과의 사이에 중간 차단벽의 연장 방향으로 상기 수용조의 높이 방향으로 연장되는 트렌치 형상의 유입홈과 유출홈이 형성되어 각각 상기 유입관과 유출관이 유입되는 경로를 제공하는 것을 특징으로 하는 하드코팅 형성 장치용 증발기
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제 4 항에 있어서,상기 중간 차단벽은 상기 유입관과 유출관을 연결하는 직선을 지나도록 연장되어 형성되는 것을 특징으로 하는 하드코팅 형성 장치용 증발기
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제 5 항에 있어서,상기 유입홈은 상기 유입관으로부터 유입되는 상기 캐리어 가스가 상기 중간 차단벽의 연장 방향으로 흐르도록 하며, 상기 유출홈은 상기 유출관으로 유출되는 상기 캐리어 가스와 기체 소스가 상기 중간 차단벽의 연장 방향과 반대 방향으로 유입되도록 하는 것을 특징으로 하는 하드코팅 형성 장치용 증발기
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제 2 항에 있어서,상기 상부 커버는 상기 수용조 본체의 측벽과 상기 중앙 차단벽 및 상기 중간 차단벽에 대응되는 위치에 홈 형상으로 형성되는 상부홈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 하드코팅 형성 장치용 증발기
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제 1 항에 있어서,상기 중앙 차단벽은 측벽과 연결되는 부분의 두께가 점차적으로 증가되어 상기 측벽과 연결되는 부분이 곡면을 이루도록 형성되는 것을 특징으로 하는 하드코팅 형성 장치용 증발기
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제 1 항에 있어서,상기 수용조는 테프론 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 하드코팅 형성 장치용 증발기
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제 1 항에 있어서상기 가열 수단은 상기 수용조 본체의 내부에 충진되는 고체 소스를 100 ∼ 200℃의 가열 온도로 가열하는 것을 특징으로 하는 하드코팅 형성 장치용 증발기
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