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마이크로 렌즈의 굴절률 오차 검출방법에 있어서,(a) 인라인 단일 광축 간섭계를 이용하여 하나의 객체에 대한 복수의 객체 홀로그램영상을 획득하는 단계로서, (a-1) 광원으로부터 출사된 광을 정합 용액에 담겨있는 마이크로 렌즈에 투과시키는 단계; (a-2) 프리즘을 통하여 상기 마이크로 렌즈를 투과한 광에 대한 간섭파장을 생성시키는 단계; (a-3) 적어도 하나의 광변조기를 이용하여 상기 간섭파장의 위상을 천이시키는 단계; 및 (a-4) 상기 위상이 천이된 상기 간섭파장을 전하결합장치에 입사시켜 객체 홀로그램영상을 획득하는 단계;를 포함하며, 상기 (a-1) 내지 상기 (a-4) 단계를 반복하여 복수의 객체 홀로그램영상을 획득하되, 반복시마다 상기 (a-3) 단계에서 천이되는 위상을 다르게 설정하여 위상이 서로 상이한 복수의 객체 홀로그램영상을 획득하는 단계;(b) 상기 복수의 객체 홀로그램영상에 대한 광강도값을 이용하여 상기 복수의 객체 홀로그램영상에 포함된 노이즈를 제거함으로써 상기 객체에 대한 실상 정보를 획득하는 단계;(c) 상기 실상 정보를 이용하여 객체의 위상 정보를 추출하는 단계; 및(d) 상기 객체의 위상 정보를 이용하여 상기 마이크로 렌즈의 굴절률에 대한 설계값과 측정값 간의 굴절률 오차를 계산하여 상기 마이크로 렌즈에 대한 결함존재 여부를 검출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈의 굴절률 오차 검출방법
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제 1 항에 있어서, 상기 노이즈는 상기 각 객체 홀로그램영상에 포함된 DC(Direct Current) 정보와 허상 정보인, 마이크로 렌즈의 굴절률 오차 검출방법
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제 1항에 있어서,상기 객체는 정합 용액과 상기 정합 용액에 담겨있는 마이크로 렌즈의 조합물인 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈의 굴절률 오차 검출방법
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제 1 항에 있어서, 상기 (b) 단계는, (b-1) 상기 복수의 객체 홀로그램영상에 대한 광강도값을 계산하는 단계; 및(b-2) 상기 각각의 광강도값 간의 연산을 통하여 상기 복수의 객체 홀로그램영상에 포함된 DC 정보와 허상 정보를 제거하여 상기 객체에 대한 실상 정보를 획득하는 단계;를 포함하는, 마이크로 렌즈의 굴절률 오차 검출방법
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제 6 항에 있어서, 상기 (b-1) 단계는, 상기 복수의 객체 홀로그램영상의 수식값을 구성하는 2개의 광에 관한 수식값을 이용하여 상기 복수의 객체 홀로그램영상에 대한 광강도값을 획득하는 단계;를 포함하며,상기 2개의 광은 상기 (a) 단계에서 상기 객체 홀로그램영상을 획득하기 위하여 생성되는 간섭파장을 이루는 2개의 광인 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈의 굴절률 오차 검출방법
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제 7 항에 있어서, 상기 (b-2) 단계는, 상기 복수의 객체 홀로그램영상이 제 1 객체 홀로그램영상, 제 2 객체 홀로그램영상, 제 3 객체 홀로그램영상, 제 4 객체 홀로그램영상으로 구성될 때, 상기 제 1 및 제 2 객체 홀로그램영상의 광강도값 간의 가산값과 감산값 간의 차를 산출한 제 1 차이값을 계산하고, 상기 제 3 및 제 4 객체 홀로그램영상의 광강도값 간의 가산값과 감산값 간의 차를 산출한 제 2 차이값을 계산하는 단계; 및상기 제 1 및 제 2 차이값을 이용하여 상기 복수의 객체 홀로그램영상에 포함된 DC 정보와 허상 정보를 제거하고 상기 객체에 대한 실상 정보를 획득하는 단계;를 포함하는, 마이크로 렌즈의 굴절률 오차 검출방법
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제 1 항에 있어서, 상기 (c) 단계는, 상기 실상 정보의 허수부와 실수부를 이용하여 상기 객체의 위상 정보를 획득하는, 마이크로 렌즈의 굴절률 오차 검출방법
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제 1 항에 있어서,상기 (d) 단계는,상기 (c) 단계의 객체의 위상 정보, 상기 광원에서 출사된 광의 파장 정보, 상기 마이크로 렌즈의 굴절률 설계값, 상기 정합 용액의 굴절률값을 이용하여 상기 굴절률 오차를 계산하는 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈의 굴절률 오차 검출방법
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마이크로 렌즈의 굴절률 오차 검출장치에 있어서,인라인 단일 광축 간섭계를 이용하여 하나의 객체에 대한 복수의 객체 홀로그램영상을 획득하는 것으로서, 광원; 상기 광원으로부터 출사된 광이 입사하는 정합 용액에 담겨있는 마이크로 렌즈; 상기 마이크로 렌즈를 투과한 광을 평면파로 변환하는 대물렌즈 및 볼록렌즈; 상기 대물렌즈 및 볼록렌즈를 투과한 광 중 일부광을 반사시켜 반사광을 형성하고, 나머지 광을 투과시켜 투과광을 형성하여, 상기 반사광과 투과광이 동일한 영역에서 만나도록 하여 간섭파장을 생성하는 간섭파장 생성부; 상기 생성된 간섭파장의 위상을 천이시키되, 각 객체 홀로그램영상을 획득하기 위한 간섭파장이 입사될 때마다 상기 간섭파장을 천이시키는 위상 각도를 다르게 설정하는 적어도 하나의 광변조기; 및 상기 적어도 하나의 광변조기로부터 출사된 간섭파장으로부터 객체 홀로그램영상을 획득하되, 위상이 서로 다른 복수의 간섭파장으로부터 복수의 객체홀로그램 영상을 획득하는 전하결합장치;를 포함하는 객체 홀로그램영상 획득부;상기 복수의 객체 홀로그램영상에 대한 광강도값을 이용하여 상기 복수의 객체 홀로그램영상에 포함된 노이즈를 제거함으로써 상기 객체에 대한 실상 정보를 획득하는 실상 정보 획득부;상기 실상 정보를 이용하여 객체의 위상 정보를 추출하는 객체 위상 정보 추출부; 및상기 객체의 위상 정보를 이용하여 상기 마이크로 렌즈의 굴절률에 대한 설계값과 측정값 간의 굴절률 오차를 계산하여 상기 마이크로 렌즈에 대한 결함존재 여부를 검출하는 굴절률 오차 검출부;를 포함하며,상기 복수의 객체 홀로그램영상 각각은 서로 다른 위상을 갖는, 마이크로 렌즈의 굴절률 오차 검출장치
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제 11 항에 있어서, 상기 노이즈는 상기 각 객체 홀로그램영상에 포함된 DC(Direct Current) 정보와 허상 정보인, 마이크로 렌즈의 굴절률 오차 검출장치
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제 11항에 있어서,상기 객체는 정합 용액과 상기 정합 용액에 담겨있는 마이크로 렌즈의 조합물인 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈의 굴절률 오차 검출장치
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제 11 항에 있어서,상기 간섭파장 생성부는 프리즘으로 구성되어, 프리즘의 일 면에서 간섭파장을 생성하는, 마이크로 렌즈의 굴절률 오차 검출장치
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제 11 항에 있어서,상기 실상 정보 획득부는,상기 복수의 객체 홀로그램영상에 대한 광강도값을 계산하는 광강도 계산부; 및상기 각각의 광강도값 간의 연산을 통하여 상기 복수의 객체 홀로그램영상에 포함된 DC 정보와 허상 정보를 제거하여 상기 객체에 대한 실상 정보를 획득하는 노이즈 제거부;를 포함하는, 마이크로 렌즈의 굴절률 오차 검출장치
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제 17 항에 있어서, 상기 광강도 계산부는, 상기 복수의 객체 홀로그램영상을 형성하는 상기 반사광과 투과광에 관한 수식값을 이용하여 상기 복수의 객체 홀로그램영상에 대한 광강도값을 획득하는, 마이크로 렌즈의 굴절률 오차 검출장치
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제 18 항에 있어서, 상기 노이즈 제거부는, 상기 복수의 객체 홀로그램영상이 제 1 객체 홀로그램영상, 제 2 객체 홀로그램영상, 제 3 객체 홀로그램영상, 제 4 객체 홀로그램영상으로 구성될 때, 상기 제 1 및 제 2 객체 홀로그램영상의 광강도값 간의 가산값과 감산값 간의 차를 산출한 제 1 차이값을 계산하고, 상기 제 3 및 제 4 객체 홀로그램영상의 광강도값 간의 가산값과 감산값 간의 차를 산출한 제 2 차이값을 계산하고, 상기 제 1 및 제 2 차이값을 이용하여 상기 복수의 객체 홀로그램영상에 포함된 DC 정보와 허상 정보를 제거하고 상기 객체에 대한 실상 정보를 획득하는, 마이크로 렌즈의 굴절률 오차 검출장치
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제 11 항에 있어서, 상기 객체 위상 정보 추출부는, 상기 실상 정보의 허수부와 실수부를 이용하여 상기 객체의 위상 정보를 획득하는, 마이크로 렌즈의 굴절률 오차 검출장치
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제 11 항에 있어서,상기 굴절률 오차 검출부는,상기 객체의 위상 정보, 상기 광원에서 출사된 광의 파장 정보, 상기 마이크로 렌즈의 굴절률 설계값, 상기 정합 용액의 굴절률값을 이용하여 상기 굴절률 오차를 계산하는, 마이크로 렌즈의 굴절률 오차 검출장치
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