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저항 변화 메모리를 분석장치로 분석함에 있어서, 상기 저항 변화 메모리와 상기 분석장치와 사이에 소정의 저항값을 갖는 저항을 직렬로 연결한 후, 분석하는 것을 특징으로 하는 저항 변화 메모리의 특성 분석방법
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제1항에 있어서,상기 분석장치는 주파수가 변화되는 교류 전압을 인가할 수 있는 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 저항 변화 메모리의 특성 분석방법
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제2항에 있어서,상기 분석장치는 임피던스 측정 장치인 것을 특징으로 하는 저항 변화 메모리의 특성 분석방법
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제2항에 있어서,상기 저항의 저항범위는, 상기 저항 변화 메모리가 저항값이 낮은 상태(low resistance stage, LRS)에 있을 때, 상기 주파수가 변화되는 교류 전압을 인가할 수 있는 장치로부터 흐르는 전류에 의해, 상기 저항 변화 메모리가 파괴되지 않도록 하는 범위인 것을 특징으로 하는 저항 변화 메모리의 특성 분석방법
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제4항에 있어서,상기 저항범위는 500~2000Ω인 것을 특징으로 하는 저항 변화 메모리의 특성 분석방법
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제2항에 있어서,상기 분석은, (a) 전압을 인가하기 전에 포밍 전단계의 임피던스를 측정하는 단계와,(b) 양 전압을 인가하여 상기 저항 변화 메모리가 저항값이 낮은 상태(low resistance stage, LRS)에서의 임피던스를 측정하는 단계와,(c) 음 전압을 인가하여 상기 저항 변화 메모리가 저항값이 높은 상태(High resistance stage, HRS)에서의 임피던스를 측정하는 단계를 포함하는 저항 변화 메모리의 특성 분석방법
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제6항에 있어서,상기 (a) 내지 (c) 단계의 임피던스 측정은 온도를 변화시켜가면서 행해지는 것을 특징으로 하는 저항 변화 메모리의 특성 분석방법
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저항 변화 메모리의 소정 특성을 분석할 수 있는 분석장치와,상기 분석장치와 연결되며 상기 저항 변화 메모리의 전극에 접촉하는 프로브와,상기 분석장치와 상기 프로브 사이에 직렬로 연결되는 저항을 포함하는 것을 특징으로 하는 저항 변화 메모리의 분석장치
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제8항에 있어서,상기 분석장치는 주파수가 변화되는 교류 전압을 인가할 수 있는 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 저항 변화 메모리의 분석장치
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제8항에 있어서,상기 프로브는 Pt 또는 Au를 포함하는 것을 특징으로 하는 저항 변화 메모리의 분석장치
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