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하이퍼렌즈 제조 방법 및 제조 장치(MANUFACTURING METHOD OF HYPER-LENS AND MANUFACTURING APPARATUS FOR HYPER-LENS)

  • 기술번호 : KST2016018821
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 하이퍼렌즈를 단시간에 대량으로 제조 가능한 하이퍼렌즈 제조 방법 및 제조 장치가 개시된다. 상기 하이퍼렌즈 제조 방법은 하나 이상의 돌출 구조체를 포함한 돌기 패턴이 형성된 마스터 몰드를 렌즈기판 상에 제공하는 단계; 상기 마스터 몰드를 상기 렌즈기판에 가압하여 상기 렌즈기판의 일면에 상기 돌기 패턴에 대응되는 함몰 패턴을 임프린팅하는 단계; 상기 마스터 몰드를 상기 렌즈기판으로부터 이형시키는 단계; 및 상기 함몰 패턴 내부에 렌즈층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) B29D 11/00 (2006.01)
CPC B29D 11/00778(2013.01) B29D 11/00778(2013.01) B29D 11/00778(2013.01) B29D 11/00778(2013.01) B29D 11/00778(2013.01)
출원번호/일자 1020150057381 (2015.04.23)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0126386 (2016.11.02) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.04.23)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김민경 대한민국 부산광역시 동래구
2 김인기 대한민국 경기도 김포시 김포한강*로 **, ***
3 윤관호 대한민국 경상남도 창원시 성산구
4 노준석 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 류원림 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동, 명지빌딩) *층(인벤트고특허법률사무소)
2 박창선 대한민국 서울특별시 송파구 송파대로 ***, A동 ***-*호 (문정동, 송파 테라타워*)(태창특허법률사무소)
3 유장현 대한민국 서울특별시 강남구 남부순환로 ****(도곡동) ****호(로드맵특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.04.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-0398069-27
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.11.10 수리 (Accepted) 1-1-2015-1092184-16
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.03.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.05.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0057066-97
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.05.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0350133-20
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.06.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0625985-28
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.06.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-0625945-13
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.10.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0708710-17
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2016.10.12 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0986655-99
10 등록결정서
Decision to Grant Registration
2016.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0785420-10
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
복수의 돌출 구조체를 포함한 돌기 패턴이 형성된 마스터 몰드를 렌즈기판 상에 제공하는 단계;상기 마스터 몰드를 상기 렌즈기판에 가압하여 상기 렌즈기판의 일면에 상기 돌기 패턴에 대응되는 복수의 함몰 패턴을 임프린팅하는 단계;상기 마스터 몰드를 상기 렌즈기판으로부터 이형시키는 단계; 및상기 복수의 함몰 패턴 내부에 렌즈층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 렌즈층을 형성하는 단계는,상기 렌즈기판의 상기 일면에 복수의 유전체층 및 복수의 금속층을 교대로 형성하는 단계를 포함하며,상기 복수의 유전체층 및 복수의 금속층을 교대로 형성하는 단계는,실리콘(Si)을 스퍼터링(sputtering)하는 단계와, 은(Ag)을 전자빔 증착하는 단계를 포함하고,상기 돌출 구조체는,측면이 외측으로 볼록한 곡면으로 형성되고, 원형의 바닥면을 갖는 뿔형의 모양으로 형성되며, 상기 측면과 상기 바닥면 사이의 각도가 45도이고, 상기 바닥면의 직경이 높이의 2배인 모양으로 형성되고,상기 복수의 함몰 패턴은 각각의 상기 돌출 구조체에 눌려 내측으로 함몰된 복수의 반구형 함몰부를 포함하는하이퍼렌즈의 제조 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 복수의 돌출 구조체는 서로 일정 간격을 두고 격자형으로 배열된 하이퍼렌즈의 제조 방법
3 3
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4 4
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5 5
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6 6
제 1 항에 있어서,상기 렌즈기판은 석영으로 이루어지고,상기 마스터 몰드는 사파이어로 이루어지는 하이퍼렌즈의 제조 방법
7 7
제 6 항에 있어서,상기 함몰 패턴을 임프린팅하는 단계는,상기 마스터 몰드를 0
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10 10
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11 11
제 1 항에 있어서,상기 함몰 패턴의 사이로 상기 렌즈기판을 절단하여 복수의 하이퍼렌즈를 만드는 단계를 더 포함하는 하이퍼렌즈의 제조 방법
12 12
제 1 항에 있어서,상기 마스터 몰드를 제공하는 단계에 앞서 상기 마스터 몰드를 제조하는 단계를 추가로 포함하고,상기 마스터 몰드를 제조하는 단계는,몰드기판 상에 레지스트를 코팅하는 단계;상기 레지스트에 전자빔을 조사하여 개구 패턴을 형성하는 단계;상기 개구 패턴 내에 금속의 마스크층을 형성하는 단계;상기 레지스트를 제거하는 단계;상기 마스크층을 식각 마스크로 이용하여 상기 몰드기판을 식각함으로써 상기 몰드기판에 상기 돌기 패턴을 형성하는 단계; 및상기 마스크층을 제거하는 단계를 포함하는 하이퍼렌즈의 제조 방법
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순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 포항공과대학교 산학협력단 선도연구센터지원사업 ERC 국부투사영상과 햅틱기반 수술용 로봇기술 연구센터
2 미래창조과학부 고려대학교 산학협력단 (포항공과대학교 산학협력단 위탁과제) 미래유망 융합기술 파이오니아 사업 (단위/협동연구 과제명) 20nm급 3차원테라스케일 메타물질 구현을 위한 공정, 소재 기술 개발(위탁과제명) 스케일러블 나노공정 개발을 통한 가시광-근적외선용 메타표면 구현