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반도체 소자 진단장치(DIAGNOSTIC APPARATUS OF SEMICONDUCTOR DEVICE)

  • 기술번호 : KST2016019226
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 소자 진단장치에 관한 것이다. 본 발명은 진단 대상인 반도체 소자와 상기 반도체 소자가 설치된 시스템 사이에 설치되어 상기 시스템으로부터 상기 반도체 소자로의 구동전류의 공급여부를 결정하는 스위치, 상기 스위치의 온-오프(on-off) 동작을 제어하는 스위치 제어기, 상기 스위치 제어기에 의해 상기 스위치가 오프된 경우 상기 반도체 소자로 상기 반도체 소자를 진단하기 위한 진단 입력신호를 공급하는 진단신호 공급기 및 상기 진단 입력신호를 공급받은 반도체 소자가 출력하는 진단 출력신호에 따라 상기 반도체 소자의 상태를 진단하는 상태 진단기를 포함하여 구성된다. 본 발명에 따르면, 시스템 내에서 부품으로 사용되는 반도체 소자를 시스템으로부터 분리하지 않은 상태에서 그 동작 상태를 신뢰성있게 진단할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL G01R 31/26 (2014.01)
CPC G01R 31/2844(2013.01) G01R 31/2844(2013.01) G01R 31/2844(2013.01)
출원번호/일자 1020150064684 (2015.05.08)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0131709 (2016.11.16) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.10.18)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최성순 대한민국 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 다래 대한민국 서울 강남구 테헤란로 ***, **층(역삼동, 한독타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 경기도 성남시 분당구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.05.08 수리 (Accepted) 1-1-2015-0444295-53
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2017.10.18 수리 (Accepted) 1-1-2017-1026097-29
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.03.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.05.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0064929-17
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.05.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0320244-11
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.06.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0641775-92
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2018-0641774-46
8 등록결정서
Decision to grant
2018.10.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0709291-14
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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시스템 내에서 부품으로 사용되는 반도체 소자를 시스템으로부터 분리하지 않은 상태에서 진단하는 장치로서,진단 대상인 반도체 소자와 상기 반도체 소자가 설치된 시스템 사이에 설치되어 상기 시스템으로부터 상기 반도체 소자로의 구동전류의 공급여부를 결정하는 스위치;상기 스위치의 온-오프(on-off) 동작을 제어하는 스위치 제어기;상기 스위치 제어기에 의해 상기 스위치가 오프된 경우 상기 반도체 소자로 상기 반도체 소자를 진단하기 위한 진단 입력신호를 공급하는 진단신호 공급기; 및상기 진단 입력신호를 공급받은 반도체 소자가 출력하는 진단 출력신호에 따라 상기 반도체 소자의 상태를 진단하는 상태 진단기를 포함하고,상기 진단신호 공급기는 상기 반도체 소자의 접합 온도를 평가하기 위한 전류진단신호를 공급하고, 상기 상태 진단기는 전압강하-접합온도 변환 그래프를 참조하여 상기 전류진단신호의 공급에 따른 상기 반도체 소자의 전압 강하값을 상기 접합 온도로 변환하여 상기 반도체 소자의 상태를 진단하고,상기 전류진단신호는 상기 반도체 소자의 문턱전압(threshold voltage)에 오차범위 내에서 대응하는 전류값을 갖고, 상기 전압강하-접합온도 변환 그래프에는 상기 반도체 소자와 동종 소자의 전압 강하값에 대응하는 접합 온도가 특정되어 있는, 반도체 소자 진단장치
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제1항에 있어서,상기 진단신호 공급기는 상기 반도체 소자의 과도응답을 평가하기 위한 펄스진단신호를 공급하고,상기 상태 진단기는 상기 펄스진단신호의 공급에 따른 상기 반도체 소자의 과도응답 특성을 측정하여 상기 반도체 소자의 상태를 진단하는 것을 특징으로 하는, 반도체 소자 진단장치
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중기청 전자부품연구원 (중기청)산연전용기술개발사업(구,산학연컨소시엄사업) 2014 산연전용기술개발사업 사업관리