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패턴 구조물의 제조 방법(METHOD OF MANUFACTURING A PATTERN STRUCTURE)

  • 기술번호 : KST2016019347
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 패턴 구조물의 제조 방법에 있어서, 베이스 상에 폴리머막을 형성한 후, 상기 폴리머막 상에 금속 나노 물질을 정렬한다. 이후, 상기 금속 나노 물질이 정렬된 상기 폴리머막을 제1 패턴이 형성된 가압 몰드를 이용하여 열가압하여, 상기 금속 나노 물질이 상부에 고정되며 상기 제1 패턴에 대응되는 제2 패턴을 갖는 폴리머 패턴을 형성한다.
Int. CL H01L 31/0224 (2006.01.01) H01B 13/00 (2006.01.01) H01L 31/0236 (2006.01.01) H01L 31/18 (2006.01.01)
CPC H01L 31/0224(2013.01) H01L 31/0224(2013.01) H01L 31/0224(2013.01) H01L 31/0224(2013.01) H01L 31/0224(2013.01)
출원번호/일자 1020150064708 (2015.05.08)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0132279 (2016.11.17) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020150164113;
심사청구여부/일자 Y (2020.05.08)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이헌 대한민국 서울특별시 서초구
2 김양두 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이동건 대한민국 서울특별시 강남구 논현로***길 *, *층 ***호 (논현동)(차암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.05.08 수리 (Accepted) 1-1-2015-0444396-66
2 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2015.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-1141154-85
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2019.04.17 수리 (Accepted) 1-1-2019-0394261-43
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
5 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
 2020.05.08 수리 (Accepted) 1-1-2020-0469754-01
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2020.06.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
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번호 청구항
1 1
베이스 상에 폴리머막을 형성하는 단계; 상기 폴리머막 상에 금속 나노 물질을 정렬하는 단계; 및상기 금속 나노 물질이 정렬된 상기 폴리머막을 제1 패턴이 형성된 가압 몰드를 이용하여 열가압하여, 상기 금속 나노 물질이 상부에 고정되며 상기 제1 패턴에 대응되는 제2 패턴을 갖는 폴리머 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 패턴 구조물의 제조 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 가압 몰드에는 요철 형상의 제1 패턴이 형성된 것을 특징으로 하는 패턴 구조물의 제조 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 가압 몰드는 원통형 형상을 갖고 회전하고,상기 폴리머막은 수평 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 패턴 구조물의 제조 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 폴리머막 상에 금속 나노 물질을 정렬하는 단계는상기 폴리머막 상에 금속 나노 와이어가 분산된 용액을 코팅하여 상기 폴리머막 상에 나노 와이어 코팅층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 구조물의 제조 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 폴리머막 상에 금속 나노 물질을 정렬하는 단계는, 그 돌출부에 금속 패턴이 형성된 트랜스퍼 몰드를 준비하는 단계; 및상기 트랜스퍼 몰드를 이용하여 상기 금속 패턴을 상기 폴리머막 상에 전사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 구조물의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR1020160131850 KR 대한민국 FAMILY

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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 고려대학교 산학협력단 미래유망파이오니어 사업 20nm급 3차원 테라스케일 메타물질 구현을 위한 공정·소재 기술 개발