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마찰대전 발전소자에 있어서, 임베디드된 제1 전극층(20)을 포함하는 제1 기판(10);상기 제1 기판의 제1 표면에 적층된 폴리머층(50);상기 폴리머층에 적층된 제2 전극층(40); 및 상기 제2 전극층에 적층된 제2 기판(30);을 포함하고,상기 제1 전극층(20)이, 상기 제1 기판의 제1 표면에 음각으로 형성된 소정 패턴 내에 형성되고, 상기 제1 전극층과 상기 폴리머층 사이에 공간이 존재하는 것을 특징으로 하는 마찰대전 발전소자
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제 1 항에 있어서, 상기 마찰대전 발전소자에 외부의 압력이 가해지지 않은 상태에서 상기 폴리머층과 상기 제1 전극층이 전기적으로 접촉하지 않고, 외부의 압력이 가해지면 상기 폴리머층과 상기 제1 전극층이 전기적으로 접촉하는 것을 특징으로 하는 마찰대전 발전소자
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제 1 항에 있어서, 상기 제1 전극층이 메쉬 형상의 패턴으로 상기 제1 기판에 임베디드된 것을 특징으로 하는 마찰대전 발전소자
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제 1 항에 있어서, 상기 제1 기판 또는 제2 기판 중 적어도 하나가, 폴리에틸렌 테레프타레이트(PET), 폴리다이메틸실록세인(PDMS), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 폴리우레탄(PUA), 폴리이미드 (polyimide), SU-8 폴리머, 플라스틱 필름, 직물(textile), 섬유(fiber), 웨이퍼, 및 글래스로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 마찰대전 발전소자
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제 1 항에 있어서,상기 폴리머층이, 폴리이미드 또는 폴리이미드를 포함하는 공중합체, 폴리아크릴산 또는 폴리아크릴산을 포함하는 공중합체, 폴리스티렌 또는 폴리스티렌을 포함하는 공중합체, 폴리설파이트 또는 폴리설파이트를 포함하는 공중합체, 폴리아믹산 또는 폴리아믹산을 포함하는 공중합체, 폴리아민 또는 폴리아민을 포함하는 공중합체, 폴리비닐 알콜, 폴리 알릴아민, 폴리아크릴산, 폴리다이메틸실록세인(PDMS), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), SU-8 폴리머, 및 폴리우레탄(PUA)으로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 마찰대전 발전소자
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마찰대전 발전소자를 제조하는 방법에 있어서, 제1 기판(10)의 제1 표면에 소정 패턴을 음각 형성하는 단계; 상기 음각 형성된 패턴 내에 제1 전극층(20)을 형성하는 단계; 및 제2 전극층(40)과 폴리머층(50)이 차례로 적층된 제2 기판(30)을, 상기 폴리머층이 상기 제1 기판의 제1 표면과 접하도록 하여, 상기 제1 기판(10)과 부착하는 단계;를 포함하고, 상기 제1 전극층의 표면이 상기 제1 기판의 제1 표면 보다 낮은 것을 특징으로 하는 마찰대전 발전소자의 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 제1 기판에 소정 패턴을 음각 형성하고 제1 전극층을 형성하는 단계가, 열형 롤 임프린팅, 핫 엠보싱, 나노임프린트 리소그래피, UV 임프린팅, 몰딩, 및 레이저 스크라이빙 중 어느 하나의 방법을 이용하는 것을 특징으로 하는 마찰대전 발전소자의 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 제1 기판 또는 제2 기판 중 적어도 하나가, 폴리에틸렌 테레프타레이트(PET), 폴리다이메틸실록세인(PDMS), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 폴리우레탄(PUA), 폴리이미드 (polyimide), SU-8 폴리머, 플라스틱 필름, 직물(textile), 섬유(fiber), 웨이퍼, 및 글래스로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 마찰대전 발전소자의 제조방법
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제 7 항에 있어서,상기 폴리머층이, 폴리이미드 또는 폴리이미드를 포함하는 공중합체, 폴리아크릴산 또는 폴리아크릴산을 포함하는 공중합체, 폴리스티렌 또는 폴리스티렌을 포함하는 공중합체, 폴리설파이트 또는 폴리설파이트를 포함하는 공중합체, 폴리아믹산 또는 폴리아믹산을 포함하는 공중합체, 폴리아민 또는 폴리아민을 포함하는 공중합체, 폴리비닐 알콜, 폴리 알릴아민, 폴리아크릴산, 폴리다이메틸실록세인(PDMS), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), SU-8 폴리머, 및 폴리우레탄(PUA)으로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 마찰대전 발전소자의 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 마찰대전 발전소자에 외부의 압력이 가해지면 상기 폴리머층과 상기 제1 전극층이 전기적으로 접촉하는 것을 특징으로 하는 마찰대전 발전소자의 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 음각 형성된 패턴이 메쉬 형상의 패턴인 것을 특징으로 하는 마찰대전 발전소자의 제조방법
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