| 1 |
1
전자현미경용 홀더장치에 있어서,액추에이터와;상기 액추에이터를 지지하는 액추에이터지지부와, 상기 액추에이터의 선단부로부터 이격된 위치에서 시편을 지지하는 시편안착부를 갖는 프레임과;상기 액추에이터에 지지되어 인출되는 프로브본체와 상기 프로브본체로부터 연장되어 상기 시편을 향해 광을 조사하는 광조사첨단부를 가지며, 상기 액추에이터로부터의 상기 프로브본체 인출방향과 상기 광조사첨단부의 광조사방향이 소정의 절곡각도를 이루는 광섬유프로브를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자현미경용 홀더장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 광섬유프로부는,상기 프로브본체와 상기 광조사첨단부 사이에 배치되는 절곡부를 갖는 것을 특징으로 하는 전자현미경용 홀더장치
|
| 3 |
3
상기 광조사첨단부는 말단으로 갈수록 단면적이 작아지는 것을 특징으로 하는 전자현미경용 홀더장치
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 프레임은,상기 시편안착부를 가로방향 평면상에서 이동시킬 수 있는 제1보조 액추에이터를 갖는 것을 특징으로 하는 전자현미경용 홀더장치
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 광섬유프로브가 관통하는 관통홀을 가지고 상기 액추에이터의 선단부에 설치되는 연결부를 더 포함하며,상기 연결부에는 상기 광섬유프로브와 연결되어 상기 광섬유프로브를 가로방향 평면상에서 이동시킬 수 있는 제2보조 액추에이터가 설치되는 것을 특징으로 하는 전자현미경용 홀더장치
|
