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금속 칼코게나이드 필름의 제조방법(PREPARING METHOD OF METAL CHACOGENIDE FILM)

  • 기술번호 : KST2016019527
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 금속 칼코게나이드 필름의 제조방법에 관한 것으로, 화학 기상 증착법(chemical vapor deposition, CVD) 또는 원자층 증착법(atomic layer deposition, ALD)을 이용하여 높은 광흡수계수를 가지고 있어 태양전지의 광흡수층으로 이용 가능한 금속 칼코게나이드 필름의 제조방법에 관한 것이다.
Int. CL H01L 31/0256 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01)
CPC H01L 31/0324(2013.01) H01L 31/0324(2013.01) H01L 31/0324(2013.01) H01L 31/0324(2013.01)
출원번호/일자 1020150066622 (2015.05.13)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0133727 (2016.11.23) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.05.13)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강성구 대한민국 경상남도 진주
2 이영국 대한민국 대전광역시 유성구
3 정윤장 대한민국 서울특별시 강남구
4 김창균 대한민국 대전광역시 유성구
5 정택모 대한민국 대전광역시 유성구
6 이선숙 대한민국 대전광역시 중구
7 박보근 대한민국 대전광역시 유성구
8 한정환 대한민국 대전광역시 서구
9 정석종 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2015-0458589-43
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0875467-43
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2016-0140059-88
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.02.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0140046-95
5 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2016.06.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0457055-98
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.08.23 수리 (Accepted) 1-1-2016-0817084-10
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.08.23 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0817072-62
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2016.12.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0882570-47
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 표시되는 금속 전구체와 칼코겐 원소를 포함 하는 반응물질을 기판 상에 접촉시켜 금속 칼코게나이드 필름을 제조하는 방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 칼코겐 원소를 포함 하는 반응물질은 S2, Se2, Te2, H2S, H2Se 및 H2Te 에서 선택되는 어느 하나 이상인 금속 칼코게나이드 필름을 제조하는 방법
3 3
제 2항에 있어서, 상기 금속 칼코게나이드 필름은 CuS, Cu2S, Cu2Se, SnS, SnS2, SnSe, Cu2SnS3, Cu3SnS4, CuZnSnS4 및 CuZnSnSe2의 조성으로 구성된 그룹 중에서 선택되는 어느 하나 이상인 금속 칼코게나이드 필름을 제조하는 방법
4 4
제 1항에 있어서,금속 전구체와 칼코겐 원소를 포함 하는 반응물질을 동시에 접촉시켜 화학기상증착법 (CVD)으로 금속 칼코게나이드 필름을 제조하거나 상기 금속 전구체와 칼코겐 원소를 포함 하는 반응물질을 교대로 접촉시켜 원자층 증착법 (ALD)으로 금속 칼코게나이드 필름을 제조하는 방법
5 5
제 1항에 있어서,상기 기판은 규소, 산화규소, 산화알루미늄, 산화마그네슘, 탄화규소, 질화규소, 유리, 석영, 사파이어, 그래파이트, 그래핀, 폴리이미드 공중합체, 폴리이미드, 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN), 플루오르폴리머(FEP) 및 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET)에서 선택되는 것인 금속 칼코게나이드 필름을 제조하는 방법
6 6
제 1항에 있어서,상기 금속 칼코게나이드 필름은 25 내지 600 ℃ 범위의 기판 온도에서 제조되는 것인 금속 칼코게나이드 필름을 제조하는 방법
7 7
제 6항에 있어서,상기 금속 칼코게나이드 필름은 추가로 200 내지 600 ℃ 범위에서 열처리가 수행되는 것인 금속 칼코게나이드 필름을 제조하는 방법
8 8
기판; 광활성층; 버퍼층; 윈도우층; 및 후면 전극; 을 포함하고, 제 1항에 따른 방법으로 제조된 금속 칼코게나이드 필름을 상기 광활성층에 포함하는 태양전지의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국화학연구원 기관고유사업 정보전자 산업용 전구체 개발