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레이저 빔을 생성하는 광원;상기 레이저 빔을 제1 레이저 빔 및 제2 레이저 빔으로 분리하여 출력하는 빔 스플리터;기준 검사체 및 피검사체를 수용하며, 상기 제1 레이저 빔이 입사한 위치에서 테라헤르츠 전자기파를 생성하고, 생성된 상기 테라헤르츠 전자기파를 상기 기준 검사체 및 상기 피검사체 중 어느 하나로 방사하는 테라헤르츠 전자기파 생성부;상기 빔 스플리터로부터 출력되는 상기 제1 레이저 빔의 조사 위치를 조정하여 상기 테라헤르츠 전자기파 생성부로 진행시키는 레이저 빔 변조부;상기 기준 검사체 또는 상기 피검사체를 투과한 상기 테라헤르츠 전자기파를 검출하는 검출부;상기 검출부에서 검출된 상기 테라헤르츠 전자기파와 상기 제2 레이저 빔을 기초로 상기 기준 검사체 및 상기 피검사체 중 적어도 하나의 영상 신호를 획득하는 영상 획득부; 및상기 제1 레이저 빔이 상기 테라헤르츠 전자기파 생성부의 상기 기준 검사체 및 상기 피검사체 중의 어느 하나에 대응하는 위치로 진행하도록 상기 레이저 빔 변조부의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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제1항에 있어서,상기 레이저 빔은 펨토초 레이저 빔을 포함하는 것인 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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3
제1항에 있어서,상기 기준 검사체는 크리스탈을 포함하는 것인 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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4
제1항에 있어서,상기 기준 검사체는 석영을 포함하는 것인 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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제1항에 있어서,상기 레이저 빔 변조부에 의해서 조사 위치가 조정된 상기 제1 레이저 빔을 상기 테라헤르츠 전자기파 생성부로 진행시키는 제1 광학계를 더 포함하는 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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6
제1항에 있어서, 상기 기준 검사체 또는 상기 피검사체를 투과한 상기 테라헤르츠 전자기파를 상기 검출부로 진행시키는 제2 광학계를 더 포함하는 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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7
제1항에 있어서,상기 제2 레이저 빔을 상기 검출부로 지연 진행시키는 제3 광학계를 더 포함하는 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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8
제1항에 있어서,상기 테라헤르츠 전자기파 생성부는 테라헤르츠 에미터(emitter)를 포함하는 것인 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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9
제1항에 있어서,상기 레이저 빔 변조부는 상기 제1 레이저 빔을 라인 스캔 형태로 진행시키는 갈바노미터를 포함하는 것인 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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10
제1항에 있어서,상기 영상 획득부는 상기 기준 검사체를 투과한 테라헤르츠 전자기파와 상기 피검사체를 투과한 테라헤르츠 전자기파를 비교하여 상기 피검사체의 영상 신호를 보정하는 것인 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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11
제10항에 있어서,상기 제어부는 상기 제1 레이저 빔이 상기 테라헤르츠 전자기파 생성부의 상기 기준 검사체에 대응하는 위치 및 상기 피검사체에 대응하는 위치에 번갈아가며 진행하도록 상기 레이저 빔 변조부의 동작을 제어하는 것인 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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12
레이저 빔을 생성하는 광원;상기 레이저 빔을 제1 레이저 빔 및 제2 레이저 빔으로 분리하여 출력하는 빔 스플리터;기준 검사체 및 피검사체를 수용하며, 상기 제1 레이저 빔이 입사한 위치에서 테라헤르츠 전자기파를 생성하고, 생성된 상기 테라헤르츠 전자기파를 상기 기준 검사체 및 상기 피검사체 중 어느 하나로 방사하는 테라헤르츠 전자기파 생성부;상기 빔 스플리터로부터 출력되는 상기 제1 레이저 빔의 조사 위치를 조정하여 상기 테라헤르츠 전자기파 생성부로 진행시키는 레이저 빔 변조부;상기 기준 검사체 또는 상기 피검사체에서 반사된 상기 테라헤르츠 전자기파를 검출하는 검출부;상기 검출부에서 검출된 상기 테라헤르츠 전자기파와 상기 제2 레이저 빔을 기초로 상기 기준 검사체 및 상기 피검사체 중 적어도 하나의 영상 신호를 획득하는 영상 획득부; 및상기 제1 레이저 빔이 상기 테라헤르츠 전자기파 생성부의 상기 기준 검사체 및 상기 피검사체 중의 어느 하나에 대응하는 위치로 진행하도록 상기 레이저 빔 변조부의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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13
제12항에 있어서,상기 레이저 빔은 펨토초 레이저 빔을 포함하는 것인 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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14
제12항에 있어서,상기 기준 검사체는 크리스탈을 포함하는 것인 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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15
제12항에 있어서,상기 기준 검사체는 석영을 포함하는 것인 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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16
제12항에 있어서,상기 레이저 빔 변조부에 의해서 조사 위치가 조정된 상기 제1 레이저 빔을 상기 테라헤르츠 전자기파 생성부로 진행시키는 제1 광학계를 더 포함하는 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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17
제12항에 있어서, 상기 기준 검사체 또는 상기 피검사체에서 반사된 상기 테라헤르츠 전자기파를 상기 검출부로 진행시키는 제2 광학계를 더 포함하는 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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18
제17항에 있어서,상기 제2 광학계는, 테라헤르츠 전자기파 생성부의 하단에 배치되며 상기 기준 검사체 또는 상기 피검사체에서 반사된 상기 테라헤르츠 전자기파를 반사하는 테라헤르츠 리플렉터를 포함하는 것인 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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19
제12항에 있어서,상기 제2 레이저 빔을 상기 검출부로 지연 진행시키는 제3 광학계를 더 포함하는 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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20
제12항에 있어서,상기 테라헤르츠 전자기파 생성부는 테라헤르츠 에미터(emitter)를 포함하는 것인 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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제12항에 있어서,상기 레이저 빔 변조부는 상기 제1 레이저 빔을 라인 스캔 형태로 진행시키는 갈바노미터를 포함하는 것인 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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22
제12항에 있어서,상기 영상 획득부는 상기 기준 검사체에서 반사된 테라헤르츠 전자기파와 상기 피검사체에서 반사된 테라헤르츠 전자기파를 비교하여 상기 피검사체의 영상 신호를 보정하는 것인 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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제22항에 있어서,상기 제어부는 상기 제1 레이저 빔이 상기 테라헤르츠 전자기파 생성부의 상기 기준 검사체에 대응하는 위치 및 상기 피검사체에 대응하는 위치에 번갈아가며 진행하도록 상기 레이저 빔 변조부의 동작을 제어하는 것인 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 장치
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(a) 기준 검사체 및 피검사체를 테라헤르츠 전자기파 생성부에 재치하는 단계;(b) 레이저 빔을 상기 테라헤르츠 전자기파 생성부의 상기 기준 검사체에 대응하는 위치 및 상기 피검사체에 대응하는 위치 중 어느 하나로 진행시켜서 테라헤르츠 전자기파를 생성하고, 생성된 상기 테라헤르츠 전자기파를 상기 기준 검사체 및 상기 피검사체 중 어느 하나로 방사하는 단계;(c) 상기 기준 검사체 및 상기 피검사체 중 적어도 하나를 투과하거나 상기 기준 검사체 및 상기 피검사체 중 적어도 하나로부터 반사된 상기 테라헤르츠 전자기파를 검출하는 단계; 및(d) 상기 단계 (c)에서 검출된 테라헤르츠 전자기파로부터 상기 기준 검사체 및 상기 피검사체 중 적어도 하나의 영상 신호를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 방법
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제24항에 있어서,상기 기준 검사체는 크리스탈을 포함하는 것인 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 방법
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제24항에 있어서,상기 기준 검사체는 석영을 포함하는 것인 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 방법
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제24항에 있어서,상기 레이저 빔은 펨토초 레이저 빔을 포함하는 것인 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 방법
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제24항에 있어서,상기 단계 (b)는,상기 레이저 빔이 상기 테라헤르츠 전자기파 생성부의 상기 기준 검사체에 대응하는 위치 및 상기 피검사체에 대응하는 위치로 번갈아가며 진행하도록 상기 레이저 빔을 진행시키는 단계를 포함하는 것인 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 방법
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제24항에 있어서,상기 단계 (d)는,상기 기준 검사체를 투과한 또는 상기 기준 검사체에서 반사된 상기 테라헤르츠 전자기파와 상기 피검사체를 투과한 또는 상기 피검사체에서 반사된 상기 테라헤르츠 전자기파를 비교하여 상기 피검사체의 영상 신호를 보정하는 단계를 포함하는 것인 테라헤르츠 전자기파를 이용한 고해상도 영상 생성 방법
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