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기판의 접합 방법, 및 이로부터 제조되는 접합 기판(Method of bonding substrate, and bonding substrate from the same)

  • 기술번호 : KST2016019563
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 기판의 접합 방법이 제공된다. 상기 기판의 접합 방법은, 제1 플라스틱 기판을 준비하는 단계, 상기 제1 플라스틱 기판 상에 제1 산화물층을 포함하는 제1 결합막(bonding layer)을 형성하는 단계, 상기 제1 결합막 상에 용액을 제공하여, 상기 제1 산화물층을 포함하는 상기 제1 결합막의 적어도 일부분을 용해하는 단계, 및 적어도 일부분이 용해된 상기 제1 결합막 상에 제2 플라스틱 기판을 배치시켜, 상기 제1 플라스틱 기판 및 상기 제2 플라스틱 기판을 결합시키는 단계를 포함한다.
Int. CL B32B 37/12 (2006.01) B32B 37/00 (2006.01) B32B 27/08 (2006.01)
CPC B32B 37/0038(2013.01) B32B 37/0038(2013.01) B32B 37/0038(2013.01) B32B 37/0038(2013.01) B32B 37/0038(2013.01)
출원번호/일자 1020150065921 (2015.05.12)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0133594 (2016.11.23) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.05.12)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조보람 대한민국 경기도 부천시 오정구
2 성명모 대한민국 서울 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2015-0453257-39
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.04.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.06.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0074879-32
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.06.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0447758-97
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2016-0811568-66
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.09.21 수리 (Accepted) 1-1-2016-0916526-33
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.09.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0916545-01
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0941830-31
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.01.31 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0100599-28
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0100580-62
11 등록결정서
Decision to Grant Registration
2017.02.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0129449-58
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
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번호 청구항
1 1
제1 플라스틱 기판을 준비하는 단계;상기 제1 플라스틱 기판 상에 제1 산화물층을 포함하는 제1 결합막(bonding layer)을 형성하는 단계;상기 제1 결합막 상에 용액을 제공하여, 상기 제1 산화물층의 제1 부분을 용해하고, 상기 제1 부분과 상기 제1 플라스틱 기판 사이의 상기 제1 산화물층의 제2 부분을 잔존시키는 단계; 및상기 제1 부분이 용해된 상기 제1 결합막 상에 제2 플라스틱 기판을 배치시키고, 용해된 상기 제1 부분이 건조되어, 건조된 상기 제1 부분에 의해, 상기 제1 플라스틱 기판 및 상기 제2 플라스틱 기판이 결합되는 단계를 포함하는 기판의 접합 방법
2 2
제1 항에 있어서, 상기 제2 플라스틱 기판 및 상기 제1 결합막은 서로 공유 결합되는 것을 포함하는 기판의 접합 방법
3 3
제1 항에 있어서, 상기 제1 플라스틱 기판 상에 상기 제1 산화물층을 포함하는 상기 제1 결합막을 형성하는 단계는, 상기 제1 플라스틱 기판 상에 물질층(material layer)을 형성하는 단계; 및상기 물질층의 적어도 일부분이 산화되어, 상기 제1 산화물층이 형성되는 단계를 포함하는 기판의 접합 방법
4 4
제3 항에 있어서, 상기 물질층은 자연 산화되는 것을 포함하는 기판의 접합 방법
5 5
제1 항에 있어서, 상기 제2 플라스틱 기판 상에 제2 산화물층을 포함하는 제2 결합막을 형성하는 단계; 및상기 제2 결합막 상에 용액을 제공하여, 상기 제2 산화물층을 포함하는 상기 제2 결합막의 적어도 일부분을 용해하는 단계를 더 포함하되, 상기 제1 플라스틱 기판 및 상기 제2 플라스틱 기판을 결합시키는 단계는, 적어도 일부분이 용해된, 상기 제1 및 제2 결합막들을 서로 접합시키는 것을 포함하는 기판의 접합 방법
6 6
제5 항에 있어서, 상기 제1 결합막의 상기 제1 산화물층 및 상기 제2 결합막의 상기 제2 산화물층이 상기 용액에 의해 용해되고, 상기 제1 산화물층 및 상기 제2 산화물층은 서로 공유 결합되는 것을 포함하는 기판의 접합 방법
7 7
제1 항에 있어서, 상기 용액은, 물, 불화 수소, 암모니아 수, 메탄올, 에탄올, 이소프로필알코올, 또는 아세톤 중에서 적어도 어느 하나를 포함하고, 상기 제1 산화물층은, 실리콘, 또는 금속을 포함하는 기판의 접합 방법
8 8
제1 항에 있어서, 상기 제1 산화물층은 알루미늄 산화물을 포함하고, 상기 용액은 물을 포함하거나, 상기 제1 산화물층은 실리콘 산화물을 포함하고, 상기 용액은 불화수소를 포함하는 기판의 접합 방법
9 9
제1 항 내지 제8 항 중에서 어느 한 항에 따른 기판의 접합 방법에 따라 상기 제1 플라스틱 기판, 상기 결합막, 및 상기 제2 플라스틱 기판이 차례로 적층된 접합 기판을 지지 기판(support substrate) 상에 준비하는 단계;상기 접합 기판 상에 박막 트랜지스터층을 형성하는 단계; 및상기 접합 기판으로부터 상기 지지 기판을 제거하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법
10 10
제1 플라스틱 기판;상기 제1 플라스틱 기판 상의 제2 플라스틱 기판; 및상기 제1 및 제2 플라스틱 기판들 사이에 배치되고, 상기 제1 및 제2 플라스틱 기판들 중에서 적어도 어느 하나와 공유 결합되어, 상기 제1 및 제2 플라스틱 기판들을 접합하는 결합막을 포함하되, 상기 결합막은 산화물층을 포함하는 접합 기판
11 11
제10 항에 있어서, 상기 제1 플라스틱 기판 및 상기 제2 플라스틱 기판은 PET를 포함하는 접합 기판
12 12
제10 항에 있어서, 상기 결합막은 금속 산화물 또는 실리콘 산화물을 포함하는 접합 기판
13 13
제12 항에 있어서, 상기 결합막은, 상기 제1 플라스틱 기판과 접촉하고 비산화물로 형성된 물질층; 및상기 물질층 상에 배치되고, 상기 제2 플라스틱 기판과 접촉하고, 상기 물질층이 산화된 산화물층을 포함하는 접합 기판
14 14
제10 항에 있어서, 상기 결합막은, 실리콘 산화물, 알루미늄 산화물, 아연 산화물, 티타늄 산화물, 은 산화물, 또는, 니켈 산화물 중에서 적어도 어느 하나를 포함하는 접합 기판
15 15
제10 항 내지 제14 항 중에서 어느 한 항에 따른 접합 기판; 및상기 접합 기판 상의 박막 트랜지스터층을 포함하는 표시 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한양대학교 산학협력단 이공분야 기초연구사업 / 중견연구자지원사업 / 도약연구(전략-연구분야지정) 유연 나노집적소자 제작을 위한 잉크젯 나노프린팅 기술 개발
2 미래창조과학부 한양대학교 산학협력단 원천기술개발사업 / 나노소재 기술개발사업 / 나노소재 원천기술개발사업 유기-무기 나노복합 계면 제어 기술 개발 및 이종접합 전자소자 응용 연구