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패턴형성 조명광학계를 이용한 검사광학계(INSPECTION OPTICAL SYSTEM USING ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM CAPABLE OF FORMING PATTERN)
- 기술번호 : KST2016019586
- 담당센터 : 인천기술혁신센터
- 전화번호 : 032-420-3580
| 요약 | 본 발명은 검사광학계에 관한 것으로서, 대물렌즈와, 광원과 상기 광원이 통과하는 조명렌즈와, 상기 조명렌즈로부터 입사된 광을 복수개의 이미지로 분할하는 광분할기를 갖는 조명광학계를 포함하여 구성되며, 상기 조명광학계는 상기 조명렌즈와 상기 광분할기 사이에 배치되며 상기 대물렌즈의 동공에 패턴을 형성하기 위한 패턴형성부재를 구비하여, 검사광학계에 많은 부피를 차지하는 릴레이렌즈를 사용하지 않으면서도 해상력을 높일 수 있기 때문에 콤팩트하면서도 해상력을 향상시킬 수 있는 검사광학계를 제공할 수 있고, 대물렌즈의 외측에서 패턴형성부재를 설치할 수 있기 때문에 설치작업이 용이할 뿐만 아니라, 기구 어퍼쳐나 회절광학소자를 이용하여 패턴형상에 제약이 없이 다양한 형상의 패턴을 대물렌즈의 동공에 직접 형성할 수 있다. |
|---|---|
| Int. CL | G01N 21/956 (2006.01) G01N 21/88 (2006.01) |
| CPC | G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020150067934 (2015.05.15) |
| 출원인 | 한국산업기술대학교산학협력단, 오앤아이(주) |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2016-0134224 (2016.11.23) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 공개 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2015.05.15) |
| 심사청구항수 | 4 |