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적층 커패시터 및 이의 제조 방법(MULTI-LAYER CAPACITOR AND METHOD OF MANUFACTURING THE MULTI-LAYER CAPACITOR)

  • 기술번호 : KST2016019707
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 적층 커패시터 및 이의 제조 방법에서, 적층 커패시터는제1 방향으로 서로 중첩되어 적층되되, 제1 방향과 교차하는 제2 방향의 일단부인 제1 측부에서 서로 연결된 적어도 n+1개(이때, n은 2 이상의 자연수) 이상의 커패시터 전극들을 포함하는 제1 그룹 전극과, 서로 마주하는 2개의 제1 그룹 전극의 커패시터 전극들 사이에 각각 배치되되, 제1 측부와 제2 방향으로 마주하는 제2 측부에서 서로 연결된 n개의 커패시터 전극들을 포함하는 제2 그룹 전극과, 제1 그룹 전극과 제2 그룹 전극이 마주하는 모든 이격 영역을 채우도록 형성된 유전층을 포함한다.
Int. CL H01G 4/12 (2006.01) H01G 4/30 (2006.01) H01G 4/005 (2006.01)
CPC H01G 4/005(2013.01) H01G 4/005(2013.01) H01G 4/005(2013.01)
출원번호/일자 1020150069533 (2015.05.19)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0136504 (2016.11.30) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.05.19)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서수정 대한민국 경기도 수원시 권선구
2 김태유 대한민국 경기도 수원시 장안구
3 나영일 대한민국 경기도 수원시 장안구
4 박정갑 대한민국 경기도 수원시 장안구
5 박정호 대한민국 서울특별시 송파구
6 박화선 대한민국 경기도 수원시 영통구
7 백승빈 대한민국 경기도 수원시 영통구
8 송영일 대한민국 경기도 수원시 영통구
9 신진하 대한민국 경기도 시흥시 역전로*
10 안병욱 대한민국 경기도 수원시 장안구
11 윤숙영 대한민국 경기도 성남시 분당구
12 이정우 대한민국 경기도 수원시 팔달구
13 조영래 대한민국 경기도 수원시 장안구
14 홍두표 대한민국 대전광역시 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.05.19 수리 (Accepted) 1-1-2015-0477526-78
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.02.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.04.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0042310-93
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.05.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0326859-40
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.07.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0644519-66
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.07.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0644520-13
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2016.11.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0852913-67
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.01.24 수리 (Accepted) 1-1-2017-0084135-92
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.01.24 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0084150-77
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
11 등록결정서
Decision to grant
2017.05.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0364926-26
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 방향으로 서로 중첩되어 적층되되, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향의 일단부인 제1 측부에서 서로 연결된 적어도 n+1개(이때, n은 2 이상의 자연수) 이상의 커패시터 전극들을 포함하는 제1 그룹 전극;서로 마주하는 2개의 제1 그룹 전극의 커패시터 전극들 사이에 각각 배치되되, 상기 제1 측부와 상기 제2 방향으로 마주하는 제2 측부에서 서로 연결된 n개의 커패시터 전극들을 포함하는 제2 그룹 전극; 및상기 제1 그룹 전극과 상기 제2 그룹 전극이 마주하는 모든 이격 영역을 채우도록 형성된 유전층을 포함하되,상기 유전층은 상기 제1 그룹 전극과 상기 제2 그룹 전극을 구성하는 금속의 양극산화층이고,상기 제1 그룹 전극은제1 두께로 형성된 전극부와, 상기 제1 두께보다 두꺼운 제2 두께를 갖는 연결부를 포함하는 제1 커패시터 전극;상기 제1 커패시터 전극과 상기 제1 측부에서 상기 연결부를 통해 연결되고 상기 제1 커패시터 전극의 상부에 배치된 제2 커패시터 전극; 및상기 제1 커패시터 전극과 상기 제1 측부에서 상기 연결부를 통해 연결되고 상기 제1 커패시터 전극의 하부에 배치된 제3 커패시터 전극을 포함하며,상기 제1 커패시터 전극의 상기 전극부는 상기 제2 및 제3 커패시터 전극들과 중첩되도록 배치되고, 상기 연결부는 상기 제1 측부에 배치되는 것을 특징으로 하는,적층 커패시터
2 2
제1항에 있어서,상기 제2 그룹 전극은상기 제1 및 제2 커패시터 전극들 사이에 배치된 제4 커패시터 전극; 및상기 제1 및 제3 커패시터 전극 사이에 배치되며 상기 제4 커패시터 전극과 상기 제2 측부에서 연결된 제5 커패시터 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는,적층 커패시터
3 3
제2항에 있어서,상기 제1 커패시터 전극의 상기 연결부가 제1 외부 단자와 연결되고,상기 제4 및 제5 커패시터 전극을 연결하는 부분이 제2 외부 단자와 연결되는 것을 특징으로 하는,적층 커패시터
4 4
제1항에 있어서,상기 유전층은상기 제1 측부에서는 상기 제1 그룹 전극에 의해 커버되고, 상기 제2 측부에서는 외부로 노출되는 것을 특징으로 하는,적층 커패시터
5 5
제1항에 있어서,상기 제1 및 제2 그룹 전극들은 알루미늄을 포함하고,상기 유전층은 산화알루미늄을 포함하는 것을 특징으로 하는,적층 커패시터
6 6
제1 측부의 제1 금속층은 보호된 상태에서 상기 제1 금속층을 양극산화하여, 제1 커패시터 전극과, 상기 제1 커패시터 전극의 양면 각각과 상기 제1 측부의 반대측인 제2 측부의 상기 제1 커패시터 전극을 커버하는 제1 서브 유전층을 형성하되, 상기 제1 커패시터 전극에서 상기 제1 측부의 보호된 제1 금속층이 연결부가 되고 상기 제1 금속층이 양극산화되어 잔류하는 부분이 전극부가 되어 상기 전극부가 상기 제1 서브 유전층에 의해 둘러싸이도록 상기 제1 커패시터 전극과 상기 제1 서브 유전층을 형성하는 단계;상기 제1 서브 유전층 상에, 상기 제1 측부의 상기 제1 커패시터 전극의 상기 연결부는 노출되도록 제2 금속층을 형성하는 단계;상기 제2 측부의 상기 제2 금속층을 보호한 상태에서 상기 제2 금속층의 일부를 양극산화하여, 상기 제1 커패시터 전극의 양면에 각각 배치되되 상기 제2 금속층의 노출된 표면을 따라 형성된 제2 서브 유전층과, 상기 제2 서브 유전층과 상기 제1 서브 유전층 사이에 배치되어 서로 연결된 제4 커패시터 전극 및 제5 커패시터 전극을 형성하는 단계; 및상기 제1 측부의 상기 제1 커패시터 전극의 상기 연결부와 연결되고 상기 제2 서브 유전층의 노출된 표면을 따라 배치된 제2 커패시터 전극 및 제3 커패시터 전극을 형성하는 단계를 포함하는,적층 커패시터의 제조 방법
7 7
제6항에 있어서,상기 제4 커패시터 전극 및 제5 커패시터 전극을 형성하는 단계는상기 제2 서브 유전층의 일부가 상기 제1 서브 유전층과 연결되고,상기 제2 측부에서 상기 제4 및 제5 커패시터 전극들을 연결하는 부분과 상기 제2 서브 유전층이 외부로 노출되는 것을 특징으로 하는,적층 커패시터의 제조 방법
8 8
제6항에 있어서,상기 제2 및 제3 커패시터 전극들을 형성하는 단계에서,상기 제2 및 제3 커패시터 전극들은 상기 제1 측부에서 상기 제1 커패시터 전극과 연결되고 상기 제1 측부의 제2 서브 유전층을 감싸도록 형성되는 것을 특징으로 하는,적층 커패시터의 제조 방법
9 9
제6항에 있어서,상기 제2 금속층을 형성하는 단계는상기 제1 측부의 상기 제1 커패시터 전극의 상부 및 하부 각각에 마스크를 형성하는 단계;상기 마스크가 배치된 상태에서 상기 제1 커패시터 전극의 제1 면 상에 배치된 상기 제1 서브 유전층 상에 알루미늄을 스퍼터링하는 단계; 및상기 마스크가 배치된 상태에서 상기 제1 커패시터 전극의 제2 면 상에 배치된 상기 제1 서브 유전층 상에 알루미늄을 스퍼터링하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는,적층 커패시터의 제조 방법
10 10
제6항에 있어서,상기 제4 커패시터 전극과 제5 커패시터 전극을 형성하는 단계는상기 제2 측부의 상기 제2 금속층 상에 마스크를 배치시키는 단계; 및상기 마스크가 배치된 상태에서 상기 제2 금속층을 양극산화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는,적층 커패시터의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 성균관대학교(자연과학캠퍼스) 기초연구사업-기본연구 리서치 펠로우 Al/Al2O3 다적층 및 병렬회로 구조를 갖는 고신뢰성 알루미늄 고체 박막 캐패시터의 전기적특성에 관한 연구