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화학적 및 기계적 입자 유동 베드 가공 시스템의 세부적인 모듈은,피삭재(10)에 산화층 또는 수화층 생성 반응이 일어나고 연마 입자(20)의 기계적 제거력으로 상기 피삭재(10)의 표면 가공 작업이 이루어지며, 하부에 화학액 및 공기를 투과시키는 여과판(110)이 형성된 챔버 모듈(100);화학액(30)을 마이크로/나노 크기 입자의 화학액 미스트(31)로 변조하고 상기 챔버 모듈(100)로 주입하는 화학액 미스트 공급 모듈(200);상기 챔버 모듈(100) 내 상기 연마 입자(20) 및 상기 화학액 미스트(31)가 동시에 부유 및 유동하도록 압축 공기(40)를 주입하는 공압 펌핑 모듈(300);상기 피삭재(10)의 가공 정밀도 향상을 위하여 상기 챔버 모듈(100) 내에서 축을 중심으로 상기 피삭재(10)를 회전시키고 상기 피삭재(10)의 기울기를 조절하며 상기 피삭재(10)의 높이 조절이 가능한 회전 레일 모듈(400);상기 챔버 모듈(100) 내 상기 연마 입자(20)를 수거하여 재사용이 가능하도록 하고 상기 화학액 미스트(31)를 외부로 배출하는 집진 배출 모듈(500);로 구성되고,상기 챔버 모듈(100)의 일측에는 상기 화학액 미스트 공급 모듈(200)및 상기 공압 펌핑 모듈(300)과 연통할 수 있는 연결로가 구비되며, 상기 연결로는 내화학성 정밀 밸브가 장착되어 개폐 조작이 용이하도록 하고 상기 화학액 미스트(31)와 상기 압축 공기(40) 주입량의 정밀 조절이 가능하되,상기 챔버 모듈(100)의 상부 일측에는 상기 피삭재(10)의 회전 운동 전달, 기울임 및 높이 조절을 위한 상기 회전 레일 모듈(400)이 장착되는 체결부가 구비되며, 상기 체결부는 회전, 기울임 및 높이 조절이 모두 이루어지도록 볼 조인트 결합으로 형성되며, 상기 챔버 모듈(100)과 상기 회전 레일 모듈(400)은 강성의 재료 구조물(600)에 장착하여 회전 및 진동에 의한 구조적 변형이 발생하지 않도록 하고,상기 화학액 미스트 공급 모듈(200)에는 상기 화학액(30)의 저장 공간(210);과 상기 저장 공간(210) 내에서 상기 화학액(30)을 미스트화 하기 위한 초음파 트랜스듀서(220); 상기 화학액 미스트(31)을 상기 챔버 모듈(100)로 이송하기 위한 미스트 화학액 수송 장치(230)가 구비되고,상기 공압 펌핑 모듈(300)에는 상기 챔버 모듈(100)과 연통할 수 있는 연결로가 구비되며, 상기 챔버 모듈(100)로부터의 역류 방지를 위하여 일방향 체크 밸브가 장착되며,상기 회전 레일 모듈(400)은 상기 피삭재(10)를 회전시키기 위한 회전 모터(410); 상기 피삭재(10)의 기울기를 조정하는 기울기 암(420); 상기 피삭재(10)의 높이 조절을 위한 승강판(430)이 구비되고,상기 집진 배출 모듈(500)의 일측에 구비된 미스트 화학액 배출부(510)는 화학 물질 정화 및 처리 장치에 연결되는 것을 특징으로 하는 화학적 및 기계적 입자 유동 베드 가공 시스템
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