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물체와 대향하는 대물렌즈와, 레이저 다이오드에서 출사되는 빔을 상기 대물렌즈로 반사하고 상기 대물렌즈로 입사된 다음 상기 물체의 면에서 다시 반사된 빔을 통과시키는 편광 빔 스플릿터와, 상기 스플릿터에서 통과된 빔이 입사되는 실린더형 렌즈와, 4개 포토 다이오드로 구현되어 상기 실린더형 렌즈에서 출사되는 빔이 결상하는 위치감지검출기를 구비한 센서부;상기 위치감지검출기에 결상된 빔에 의해 상기 4개 포토 다이오드에서 출사되는 전압을 이용하여 상기 물체의 z축 방향 병진운동 값(VT')을 계산하여 출력하는 측정부를 포함하되, 이고,여기서, Va, Vb, Vc, Vd는 상기 4개 포토 다이오드 각각의 출력전압인 것을 특징으로 하는 변위센서
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제1항에 있어서,상기 측정부는 상기 물체의 회전운동에 의한 상기 z축에 수직한 x축 방향 변위(Vx'), 회전운동에 의한 상기 z축과 x축에 수직한 y축 방향 변위(Vy') 값을 계산하여 출력하되,인 것을 특징으로 하는 변위센서
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물체와 대향하는 대물렌즈와, 레이저 다이오드에서 출사되는 빔을 상기 대물렌즈로 반사하고 상기 대물렌즈로 입사된 다음 상기 물체의 면에서 다시 반사된 빔을 통과시키는 편광 빔 스플릿터와, 상기 스플릿터에서 통과된 빔이 입사되는 실린더형 렌즈와, 상기 실린더형 렌즈에서 출사되는 빔이 결상하는 위치감지검출기를 구비한 센서부를 구비한 변위센서의 변위 측정방법에 있어서,상기 위치감지검출기의 4개 포토 다이오드에서 출사되는 전압을 이용하여 상기 물체의 z축 방향 병진운동 값(VT')을 계산하는 단계를 포함하되, 이고,여기서, Va, Vb, Vc, Vd는 상기 4개 포토 다이오드 각각의 출력전압인 것을 특징으로 하는 변위 측정방법
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제3항에 있어서,상기 물체의 회전운동에 의한 상기 z축에 수직한 x축 방향 변위(Vx'), 회전운동에 의한 상기 z축과 x축에 수직한 y축 방향 변위(Vy') 값을 계산하여 출력하는 단계를 더 포함하되,인 것을 특징으로 하는 변위 측정방법
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