| 1 |
1
일면에 유연한 재질로 이루어진 마이크로 사이즈의 복수 개의 구조체들을 가지는 유연한 기판;상기 복수 개의 구조체들이 있는 상기 유연한 기판의 일면 상에 증착되고, 비정질 금속으로 이루어진 전도층; 및상기 전도층의 상부에 위치하는 상대 전극을 포함하는 유연한 압력 센서이며,여기서, 상기 유연한 압력 센서는, 외부에서 전달받은 압력에 따라 상기 상대 전극과 상기 전도층 사이의 접촉 면적이 변하여 발생된 저항 값을 상기 전도층 및 상기 상대 전극을 통해 측정하여 상기 전달받은 압력에 대한 정보를 감지하도록 구성된 것을 특징으로 하며, 상기 상대 전극은,전체가 비정질 금속으로 구성되거나, 유연한 절연 기판 및 상기 절연 기판의 일면에 비정질 금속으로 이루어진 금속층이 적층된 구조를 가지어 상기 금속층이 상기 전도층과 마주보도록 상기 전도층의 상부에 위치하는 것을 특징으로 하는 유연한 압력 센서
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제1 항에 있어서,상기 마이크로 사이즈의 복수 개의 구조체들은, 피라미드, 원기둥, 원추, 및 다각 기둥의 형상들 중 어느 하나의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 유연한 압력 센서
|
| 4 |
4
제1 항에 있어서,상기 비정질 금속은,FeZr, CoNi, La-Al_Cu, Al-Sc, ZrTiCuNiBe, AuSi, CuZr, CuPd, CuCo, CuPdCoP, PdAgSi, PdAgSiP, PdAgSiGe, PtCuAgPBSi, CuZrTi, CuZrTiNi, 및CuZrTiAlBe 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유연한 압력 센서
|
| 5 |
5
제1 항에 있어서,상기 전도층의 전도도를 높이고 산화를 방지하기 위해서 저저항금속, 결정질 금속 및 내산화 금속 중 어느 하나로 이루어진 보호막이 상기 전도층 상에 추가 증착되는 것을 특징으로 하는 압력 센서
|
| 6 |
6
일면에 유연한 재질로 이루어진 마이크로 사이즈의 복수 개의 구조체들을 가지는 유연한 기판;상기 복수 개의 구조체들이 있는 상기 유연한 기판의 일면의 반대면에 증착되고, 비정질 금속으로 이루어진 전도층; 및상기 유연한 기판에 있는 복수 개의 구조체들의 상부에 위치하며, 비정질 금속으로 구성된 상대 전극을 포함하는 유연한 압력 센서이며,여기서, 상기 유연한 압력 센서는, 외부에서 전달받은 압력에 따라 상기 전도층과 상기 상대 전극 사이의 거리가 변화하고, 그로 인해 변화된 상기 전도층 및 상기 상대 전극 사이의 정전용량 값을 측정하여 상기 전달받은 압력에 대한 정보를 감지하도록 구성된 것을 특징으로 하는, 유연한 압력 센서
|
| 7 |
7
제6 항에 있어서,상기 비정질 금속은,FeZr, CoNi, La-Al_Cu, Al-Sc, ZrTiCuNiBe, AuSi, CuZr, CuPd, CuCo, CuPdCoP, PdAgSi, PdAgSiP, PdAgSiGe, PtCuAgPBSi, CuZrTi, CuZrTiNi, 및CuZrTiAlBe 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유연한 압력 센서
|
| 8 |
8
제6 항에 있어서,비정질 금속으로 이루어진 상기 전도층 및 상기 상대전극의 표면에 전도도를 높이고 산화를 방지하기 위해서 저저항금속, 결정질 금속 및 내산화 금속 중 어느 하나로 이루어진 보호막이 추가 증착되는 것을 특징으로 하는 압력 센서
|
| 9 |
9
일면에 유연한 재질로 이루어진 마이크로 사이즈의 복수 개의 구조체들을 가지는 유연한 기판;상기 복수 개의 구조체들이 있는 상기 유연한 기판의 일면 상에 증착되고, 비정질 금속으로 이루어진 전도층; 상기 전도층의 상부에 위치하고, 비정질 금속으로 구성된 상대 전극; 상기 상대 전극의 상부 면에 위치한 유연한 절연 기판; 및상기 절연 기판의 상부 면에 일정 간격을 갖으며 반복하여 지그재그로 배열된 비정질 금속으로 구성된 도선을 포함하는 유연한 이중모드 센서이며,여기서, 상기 유연한 이중모드 센서는,외부에서 전달받은 압력에 따라 상기 상대 전극와 상기 전도층 사이의 접촉 면적이 변하고 그로 인해 변화된 상기 상대 전극과 상기 전도층 간의 저항 값을 측정하여 상기 전달받은 압력에 대한 정보를 감지하고,외부에서 전달받은 온도에 따라 상기 도선의 변화된 저항 값을 측정하여 상기 전달받은 온도에 대한 정보를 감지하는 유연한 이중모드 센서
|
| 10 |
10
제9 항에 있어서,상기 비정질 금속은,FeZr, CoNi, La-Al_Cu, Al-Sc, ZrTiCuNiBe, AuSi, CuZr, CuPd, CuCo, CuPdCoP, PdAgSi, PdAgSiP, PdAgSiGe, PtCuAgPBSi, CuZrTi, CuZrTiNi, 및CuZrTiAlBe 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유연한 이중모드 센서
|
| 11 |
11
제9 항에 있어서,비정질 금속으로 이루어진 상기 전도층, 상기 상대전극, 및 상기 도선의 표면에 전도도를 높이고 산화를 방지하기 위해서 저저항금속, 결정질 금속 및 내산화 금속 중 어느 하나로 이루어진 보호막이 추가 증착되는 것을 특징으로 하는 유연한 이중모드 센서
|
