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약물의 주입량을 정량 가능한 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름의 제조방법 및 약물전달시스템용 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름의 제조장치(Method for preparing porous silicon film having rugate structure capable of calculating injection volume of medicine and apparatus for preparing porous silicon film having rugate structure with medicine for drug delivery system)

  • 기술번호 : KST2016020218
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 (a) 실리콘 웨이퍼를 전기·화학적 방법으로 1차 에칭(etching)하여 주름진(rugate) 구조의 다공성 실리콘 층을 형성하는 단계, (b) 상기 단계(a)에서 형성한 주름진 구조의 다공성 실리콘 층을 2차 에칭을 통해 상기 실리콘 웨이퍼로부터 분리해 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름을 제조하는 단계, (c) 상기 단계(b)에서 제조한 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름에 빛을 조사하고 반사되는 빛의 반사파장을 측정하는 단계, (d) 상기 단계(b)에서 제조한 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름 상에 약물을 담지한 산화철 나노입자(Fe3O4 nanoparticles)를 도포하고, 상기 기판의 하부에 연결된 진공 펌프를 이용해 압력을 낮추어 상기 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름 내부에 상기 약물을 담지한 산화철 나노입자를 주입하는 단계, (e) 상기 단계 (d)에서 약물을 담지한 산화철 나노입자가 주입된 상기 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름에 빛을 조사하고 반사되는 빛의 반사파장을 측정하여 상기 약물의 주입량을 정량하는 단계 및 (f) 상기 약물을 담지한 산화철 나노입자가 주입된 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름을 수득하는 단계를 포함하는 약물의 주입량을 정량 가능한 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름의 제조방법을 제공한다.
Int. CL A61K 47/02 (2006.01) A61K 9/70 (2006.01) G01N 21/47 (2006.01) C01B 33/02 (2006.01)
CPC A61J 3/00(2013.01) A61J 3/00(2013.01) A61J 3/00(2013.01)
출원번호/일자 1020150074887 (2015.05.28)
출원인 공주대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0139641 (2016.12.07) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.05.28)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 공주대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 공주시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이기원 대한민국 충청남도 공주시 공주대학로
2 이주현 대한민국 경상북도 상주시 공검면

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김정수 대한민국 서울시 송파구 올림픽로 ***(방이동) *층(이수국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 공주대학교 산학협력단 충청남도 공주시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2015-0514223-52
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.12.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0079327-17
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0074613-72
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2017-0312915-25
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.03.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0312916-71
7 등록결정서
Decision to grant		 2017.06.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0457325-55
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.02.18 수리 (Accepted) 4-1-2020-5036312-87
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136814-18
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번호 청구항
1 1
(a) 실리콘 웨이퍼를 전기·화학적 방법으로 1차 에칭(etching)하여 주름진(rugate) 구조의 다공성 실리콘 층을 형성하는 단계; (b) 상기 단계(a)에서 형성한 주름진 구조의 다공성 실리콘 층을 2차 에칭을 통해 상기 실리콘 웨이퍼로부터 분리해 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름을 제조하는 단계; (c) 상기 단계(b)에서 제조한 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름에 빛을 조사하고 반사되는 빛의 반사파장을 측정하는 단계;(d) 상기 단계(b)에서 제조한 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름 상에 약물을 담지한 산화철 나노입자(Fe3O4 nanoparticles)를 도포하고, 지지 기판의 하부에 연결된 진공 펌프를 이용해 압력을 낮추어 상기 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름 내부에 상기 약물을 담지한 산화철 나노입자를 주입하는 단계; (e) 상기 단계 (d)에서 약물을 담지한 산화철 나노입자가 주입된 상기 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름에 빛을 조사하고 반사되는 빛의 반사파장을 측정하여 상기 약물의 주입량을 정량하는 단계; 및 (f) 상기 약물을 담지한 산화철 나노입자가 주입된 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름을 수득하는 단계를 포함하는 약물의 주입량을 정량 가능한 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 단계 (a)에서 상기 1차 에칭은 1:2의 비율로 불산(HF) 및 에탄올을 포함하는 에칭용액을 사용하고, 10 내지 50 mA/cm2 밀도의 사인파형 전류를 7초 주기로 125회 반복 공급하여 수행하는 것을 특징으로 하는 다공성 실리콘 필름의 제조방법
3 3
제 1항에 있어서,상기 단계 (b)에서 상기 2차 에칭은 1:10 내지 1:20의 비율로 불산(HF) 및 에탄올을 포함하는 에칭용액을 사용하고, 10 내지 30 mA/cm2 밀도의 전류를 80 내지 100초 동안 공급하여 상기 주름진 구조의 다공성 실리콘 층을 상기 실리콘 웨이퍼로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 다공성 실리콘 필름의 제조방법
4 4
제 1항에 있어서,상기 단계 (b)의 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름은 400 내지 2000 nm에서 단일 반사 피크를 갖는 것을 특징으로 하는 다공성 실리콘 필름의 제조방법
5 5
에칭(etching) 용액을 공급하고, 전류를 인가해 실리콘 웨이퍼를 전기·화학적 방법으로 에칭하여 주름진(rugate) 구조의 다공성 실리콘 층 및 주름진(rugate) 구조의 다공성 실리콘 필름을 제조하는 전해조;상기 전해조에 연결되어 전류를 공급할 수 있는 전원부;상기 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름을 위치시킬 수 있는 지지 기판;상기 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름에 약물을 담지한 산화철 나노입자를 공급할 수 있는 공급부;상기 지지 기판의 하면에 연결되어 상기 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름에 상기 약물을 담지한 산화철 나노입자를 주입할 수 있도록 압력을 형성하는 진공 펌프부;400 내지 2000 nm 파장의 빛을 생성하는 광원부;상기 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름으로부터 반사되는 빛의 파장을 검출할 수 있는 광검출부; 및상기 광원부와 연결되어 상기 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름에 빛을 공급하고, 상기 주름진 구조의 다공성 실리콘 필름으로부터 반사되는 빛을 흡수하여 상기 검출부로 전달하는 광섬유를 포함하는 다공성 실리콘 필름의 제조장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 공주대학교 대학생창의융합형연구과제 약물전달체의 실현을 위해 다공성실리콘 내에 주입된 산화철나노입자의 정량화에 대한 특허 출원
2 교육부 공주대학교 일반연구자지원사업 FPSI rugate 필터의 능동적 이용을 통한 다기능 센서 개발