1 |
1
롤투롤(roll-to-roll)방식으로 금속 박막상에 그래핀을 합성하는 공간을 정의하는 합성 챔버;상기 합성 챔버의 양 측에 각각 형성되는, 제1 롤챔버 및 제2 롤챔버; 및상기 합성 챔버와 상기 제1 롤챔버 및 제2 롤챔버 사이를 각각 구분하는 제1 게이트 및 제2 게이트를 포함하고,상기 제1 롤챔버는, 그래핀이 합성될 기판이 되는 금속 박막을 공급하는 제1 회전롤을 포함하고,상기 제2 롤챔버는, 그래핀이 합성된 후의 금속 박막을 롤 형태로 회수하는 제2 회전롤 및 상기 제2 회전롤에서 그래핀이 합성된 후의 금속 박막을 롤 형태로 회수할 때, 이형지를 삽입하는 제3 회전롤을 포함하는 것을 특징으로 하고,상기 이형지는 종이 또는 폴리머류 필름이고,상기 이형지는 표면에 파라핀 또는 왁스가 코팅된 것인 그래핀 보호 포장 장치
|
2 |
2
제1항에 있어서, 상기 이형지는 상기 그래핀이 합성된 후의 금속 박막과 포개져서 롤 형태로 상기 제2 회전롤에 함께 감기게 되는 것을 특징으로 하는 그래핀 보호 포장 장치
|
3 |
3
제1항에 있어서, 상기 합성 챔버는, 상기 제1 게이트의 측부에 위치하고, 탄소원을 공급하는 탄소원 공급부;상기 탄소원 공급부로부터 주입된 탄소원을 탄소 소스 가스 형태로 변화시키는 전처리부;상기 전처리부의 측부에 위치하고, 상기 금속 박막에서 그래핀이 합성될 때 필요한 열을 가하는 히팅부; 및상기 히팅부의 측부에 위치하고, 상기 그래핀을 결정화시키는 냉각부를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 보호 포장 장치
|
4 |
4
제3항에 있어서,상기 탄소원은 기체, 액체 또는 고체 상태인 것을 특징으로 하는 그래핀 보호 포장 장치
|
5 |
5
삭제
|
6 |
6
금속 박막 상에 그래핀을 합성하는 단계; 및상기 금속 박막 상에 합성된 그래핀 위에 이형지를 부착하는 단계를 포함하고,상기 이형지는 종이 또는 폴리머류 필름이고,상기 이형지는 표면에 파라핀 또는 왁스가 코팅된 것인 그래핀 보호 포장 방법
|
7 |
7
제6항에 있어서,상기 금속 박막은 시트 형태이고,상기 금속 박막 상에 그래핀을 합성하는 단계 이후에, 상기 그래핀이 합성된 금속 박막을 다량으로 적층하는 단계를 더 포함하고,상기 금속 박막 상에 합성된 그래핀 위에 이형지를 부착하는 단계는, 그래핀이 합성된 금속 박막이 다량으로 적층될 때, 적층되는 금속 박막의 사이마다 이형지를 끼우는 것을 특징으로 하는 그래핀 보호 포장 방법
|
8 |
8
제7항에 있어서,상기 금속 박막 상에 그래핀을 합성하는 단계 및 상기 금속 박막 상에 합성된 그래핀 위에 이형지를 부착하는 단계는, 롤투롤 그래핀 합성 화학 기상 증착 장치를 이용하는 것을 특징으로 하는 그래핀 보호 포장 방법
|
9 |
9
제7항에 있어서,상기 금속 박막 상에 합성된 그래핀 위에 이형지를 부착하는 단계는, 상기 그래핀이 합성된 후의 금속 박막이 롤 형태로 회수될 때, 이형지를 삽입하는 것을 특징으로 하는 그래핀 보호 포장 방법
|
10 |
10
제6항에 있어서,상기 이형지는 상기 그래핀이 합성된 후의 금속 박막과 포개져서 롤 형태로 함께 감기게 되는 것을 특징으로 하는 그래핀 보호 포장 방법
|
11 |
11
삭제
|
12 |
12
금속 박막 상에 합성된 그래핀 위에 이형지가 부착된, 포장된 그래핀을 준비하는 단계; 및상기 이형지 및 상기 금속 박막을 제거하는 단계를 포함하고,상기 이형지는 종이 또는 폴리머류 필름이고,상기 이형지는, 표면에 파라핀 또는 왁스가 코팅된 것이고,상기 이형지는, 상기 파라핀 또는 왁스가 상변화에 의하여,상기 그래핀을 공기에 의한 손상없이 이동 및 저장이 가능하도록 하는 것을 특징으로 하는 그래핀 회수 방법
|
13 |
13
제12항에 있어서,상기 이형지 및 상기 금속 박막을 제거하는 단계에서,상기 금속 박막은 식각용액에 의해 제거되는 것을 특징으로 하는 그래핀 회수 방법
|
14 |
14
삭제
|
15 |
15
제12항에 있어서,상기 이형지 및 상기 금속 박막을 제거하는 단계에서,상기 이형지는 파라핀 또는 왁스의 온도를 올려서 제거하는 것을 특징으로 하는 그래핀 회수 방법
|
16 |
16
제12항에 있어서,상기 이형지 및 상기 금속 박막을 제거하는 단계에서,상기 파라핀 또는 왁스는 파라핀 오일에 녹여서 제거하는 것을 특징으로 하는 그래핀 회수 방법
|
17 |
17
제16항에 있어서,상기 파라핀 오일은 등유 또는 자일렌을 포함하는 유기용매인 것을 특징으로 하는 그래핀 회수 방법
|